Способ рентгеноструктурного контроля детали

Авторы патента:

Яблокова Наталья Александровна (RU)

Семенова Ирина Викторовна (RU)

Коваленко Ольга Владимировна (RU)

Кочетков Владимир Андреевич (RU)

Виноградов Александр Иванович (RU)

Яблоков Алексей Владимирович (RU)

Портер Александр Маркович (RU)

G01N23/20 - с помощью дифракции, например для исследования структуры кристаллов; с помощью отраженного излучения

Владельцы патента RU 2488099:

Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "Сатурн" (RU)

Использование: для рентгеноструктурного контроля детали. Сущность: заключается в том, что осуществляют снятие рентгенограммы с контролируемой детали, выполняют определение параметра, зависящего от наработки детали, при этом снятие рентгенограммы с контролируемой детали на предполагаемой поверхности разрушения происходит от отражающей плоскости (11.0) без фона при использовании титанового излучения Ti-K_α и от отражающей плоскости (01.3) без фона при использовании титанового излучения Ti-K_β, при этом в качестве параметра, зависящего от наработки, используют интегрированный структурный параметр Δ, определяемый как произведение параметра ширины В дифракционной линии без фона и параметра профиля Р дифракционной линии без фона: Δ=В·Р, причем деталь является годной, если интегрированный структурный параметр будет больше 1:Δ>1. Технический результат: сокращение времени контроля детали, как в процессе эксплуатации, так и на этапе ресурсных испытаний детали, а также мобильность процесса. 2 з.п. ф-лы, 2 табл., 10 ил.

Изобретение относится к области материаловедения, в частности к области неразрушающего рентгеноструктурного контроля, и может быть использовано для контроля структурных изменений и оценки остаточного ресурса деталей преимущественно из титановых сплавов в лабораторных и заводских условиях в производстве и в эксплуатации газотурбинных двигателей.

Известен способ количественного рентгеноструктурного фазового анализа, включающий облучение в дифрактометре образца и стандарта сравнения, измерение с использованием β - фильтра относительных интенсивностей аналитических дифракционных пиков и фона под углами, расчет содержания определяемой фазы (Авторское свидетельство №1376015 G01N 23/20 опубл. 23.02.1988 Бюл. №7).

Недостатком данного способа является то, что необходимо использовать эталонные порошковые образцы, и то, что в ходе осуществления способа получается большая погрешность определения интенсивности фона.

Известен способ определения остаточных включающий снятие рентгенограммы с контролируемой детали, определение интегральной интенсивности линии с малыми индексами и линии с большими индексами и сравнение полученных значений со значениями интегральной интенсивности идеальной мозаичной структуры (Металловедение и термическая обработка стали: Справ, изд. в 3-х томах. T.1. Методы испытаний и исследования Под ред. Бернштейна М. Л., Рахштабта А.Г., М.: Металлургия, 1983, 352 с., стр.138-140).

Недостатками данного способа является то, что способ не дает объективной закономерности в текстурированных и сильно деформированных материалах, так как текстура в идеальном мозаичном деформированном образце, как правило, не совпадает с текстурой в отожженных образцах.

Наиболее близким является способ рентгеноструктурного контроля детали, включающий в себя снятие рентгенограммы с контролируемой детали, определение параметра, зависящего от наработки детали (Патент на изобретение №2072514 от 28.01.1994 G01N 23/20 опубл. 27.01.1997).

Недостатком данного способа является то, что способ является относительным и требует выдержки одинаковых условий рентгеносъемки, а также требует использования эталонных образцов.

Техническим результатом, на достижение которого направленно предлагаемое решение, является сокращение времени контроля детали, как в процессе эксплуатации, так и на этапе ресурсных испытаний детали, а так же мобильность процесса, так как не требуется использования эталонных образцов.

Указанный технический результат достигается тем, что, в способе рентгеноструктурного контроля детали происходит снятие рентгенограммы с контролируемой детали, определение параметра, зависящего от наработки детали.

Новым в изобретении является то, что снятие рентгенограммы с контролируемой детали на предполагаемой поверхности разрушения происходит от отражающей плоскости (11.0) без фона при использовании титанового излучения Ti-K_α и от отражающей плоскости (01.3) без фона при использовании титанового излучения Ti-K_β, при этом в качестве параметра, зависящего от наработки, используют интегрированный структурный параметр Δ, определяемый как произведение параметра ширины В дифракционной без и параметра профиля Р дифракционной линии без Δ=В·Р, при этом деталь является -годной, если интегрированный структурный параметр будет больше 1:Δ>1.

Параметр ширины В дифракционной линии без может быть равен отношению ширины дифракционной от плоскости (11.0) при использовании титанового излучения Ti-K_α к ширине дифракционной линии от отражающей плоскости (01.3) при использовании титанового излучения $T i - K_{β} : B = \frac{β_{(11.0) K_{λ α}}}{β_{(01.3) K_{λ β}}}$ .

Параметр профиля Р дифракционной линии без фона может быть определен отношением интегральной интенсивности (площади профиля) дифракционной линии без фона от отражающих плоскостей (11.0) $J_{(11.0) K_{α}}$ к интегральной интенсивности (площади профиля) дифракционной линии без фона от отражающих плоскостей (01.3) $J_{(11.0) K_{β}} : P_{J} = \frac{J_{(11.0) K_{α}}}{J_{(01.3) K_{β}}}$ или отношением к максимальной интенсивности (высот пика) дифракционной линии без фона от отражающих плоскостей (11.0) $I_{\max}_{(11.0) K_{α}}$ максимальной интенсивности (высот пика) дифракционной линии без фона от отражающих плоскостей (01.3) $I_{\max}_{(01.3) K_{β}} : P_{I} = \frac{I_{\max (11.0) K_{α}}}{I_{\max (01.3) K_{β}}}$ .

На фигурах показаны:

фиг.1 - Рентгенограмма дисков компрессора низкого давления (КНД) с наработкой 500 часов в эксплуатации;

фиг.2 - Рентгенограмма дисков компрессора низкого давления (КНД) с наработкой 12000 часов в эксплуатации;

фиг.3 - Рентгенограмма дисков компрессора низкого (КНД) с наработкой 15000 часов в эксплуатации;

фиг.4 - Рентгенограмма дисков компрессора низкого давления (КНД) с наработкой 21000 часов в эксплуатации;

фиг.5 - Рентгенограмма дисков компрессора низкого (КНД) с наработкой 15000 часов в эксплуатации и 2000 циклов в испытаниях;

фиг.6 - Рентгенограмма дисков компрессора низкого (КНД) с наработкой 20000 часов в эксплуатации и 18000 циклов в испытаниях;

фиг.7 - Рентгенограмма дисков компрессора низкого давления (КНД) из сплава ВТ3-1 после протягивания радиуса паза;

фиг.8 - Рентгенограмма дисков компрессора низкого давления (КНД) из сплава ВТ3-1 после протягивания и с последующим упрочнением дробеструйной обработкой радиуса паза;

фиг.9 - Рентгенограмма дисков компрессора низкого давления (КНД) из сплава ВТ3-1 после протягивания с последующей операцией полирования радиуса паза;

фиг.10 - Рентгенограмма дисков компрессора низкого давления (КНД) из сплава ВТ3-1 после протягивания с последующей операцией полирования и упрочнения дробеструйной обработкой радиуса паза.

Способ осуществляется следующим образом.

Контролируемую деталь на предполагаемой поверхности разрушения подвергают рентгеновскому излучению. Излучение происходит от отражающей плоскости (11.0) без фона при использовании титанового излучения Ti-К_α и от отражающей плоскости (01.3) без фона при использовании титанового излучения Ti-K_β, при этом в качестве параметра, зависящего от наработки, используют интегрированный структурный параметр Δ.

Интегрированный структурный параметр Δ определяют как произведение параметра ширины В дифракционной линии без и параметра профиля Р дифракционной без фона: Δ=B·P.

При этом параметр В дифракционной линии без определяют как отношение дифракционной линии от отражающей плоскости (11.0) $β_{(11.0) K_{λ α}}$ при использовании титанового излучения Ti-K_α к ширине дифракционной линии от отражающей плоскости (01,3) $β_{(01.3) K}_{λ β}$ при использовании титанового излучения Ti-K_β:

$B = \frac{β_{(11.0) K_{λ α}}}{β_{(01.3) K_{λ β}}}$ .

Параметр профиля Р дифракционной линии без фона определяют как отношение интегральной интенсивности (площади профиля) дифракционной линии без фона от отражающих плоскостей (11.0) $J_{(11.0) K_{α}}$ к интегральной интенсивности (площади профиля) дифракционной линии без фона от отражающих плоскостей (01.3) $J_{(01.3) K_{β}}$ :

$P_{J} = \frac{J_{(11.0) K_{α}}}{J_{(01.3) K_{β}}}$ ,

или как отношение максимальной интенсивности (высот пика) дифракционной линии без фона от отражающих плоскостей (11.0) $I_{\max (11.0) K_{α}}$ к максимальной интенсивности (высот пика) дифракционной линии без фона от отражающих плоскостей (01.3) $I_{\max (01.3) K_{β}}$ :

$P_{I} = \frac{I_{\max (11.0) K_{α}}}{I_{\max (01.3) K_{β}}}$ .

Годность детали определяют из условия, что интегрированный структурный параметр Δ на предполагаемой поверхности разрушения будет больше 1:Δ>1, если это условие не выполняется, то деталь считается не годной.

При этом с увеличением наработки деталей в процессе эксплуатации и ресурсных испытаний интегрированного структурного параметра уменьшается (Пример 1).

Для повышения интегрированного структурного параметра и, как следствие, увеличение срока службы детали используют различные обработки поверхности детали (Пример 2).

Интегрированный структурный параметр Δ позволяет определить степень текстурированности материала детали и характер микродеформаций кристаллической решетки материала детали.

Пример 1.

Пример влияния наработки на интегрированный структурный параметр Δ.

На фиг.1-6 показаны рентгенограмма дисков компрессора низкого давления (КНД) из сплава ВТ3-1 с различной наработкой в эксплуатации.

Исследование структурных изменений в материале деталей в зонах максимальных концентраторов напряжений проводится по изменению профиля рентгеновского спектра (Фиг.1-6) и с помощью численных соотношений, определенных взаимосвязью ширины и интегральной интенсивности дифракционной линии от отражающих плоскостей (1.1.0) и (01.3). Результаты представлены в таблице 1, при этом параметр калибровки t измерительного оборудования в данном исследовании был равен t=0.98 для обеспечения требуемой точности определения интегрированного структурного параметра.

Таблица 1
Результаты определения структурных параметров на торцах обода дисков КНД с различной наработкой в эксплуатации.
Параметр Наработка, ч (циклов)	Параметр калибровки t	Параметр ширины B	Параметр профиля P_I	Параметр профиля P_J	Интегрированный структурный параметр Δ=BP_J	Интегрированный структурный параметр Δ=BP_I
500(Э)	0,98	1,50	1,73	2,58	3,86	2,58
12000(Э)	0,98	1,15	2,03	2,35	2,70	2,33
15000(Э)	0,98	1,38	^r^48	4,73	6,51	4,79
15000 (Э) + 2000 циклов (И)	0,98	1,31	2,33	3,00	3,93	3,06
21000 (Э)+установка лопаток с натягом	0,98	1,12	1,62	1,86	2,09	1,82
20000(Э) + обработка поверхности 2 + 18000 циклов (И)	0,98	1,05	2,13	2,27	2,37	2,23

Из таблицы 1 видно, что с увеличением наработки диска в эксплуатации (включая последующие ресурсные испытания на установке УИР) величина интегрированного структурного параметра уменьшается. Увеличение величины указанного интегрированного структурного можно обеспечить технологическими процессами изготовления детали и обработки поверхности (пример 2) или же в процессе автофретирования.

Поэтому создание оптимальной величины интегрированного структурного параметра на поверхности новых (и ремонтных) деталей в процессе обработки поверхности в зонах концентраторов напряжений, является фактором, увеличивающим ресурс дисков КНД.

Пример 2.

Пример влияние технологических операций обработки поверхности на величину интегрированного структурного параметра.

На фиг.7-10 показаны рентгенограммы дисков КНД из сплава ВТ3-1 при различных способах обработки поверхности.

Из таблицы 2 следует, что на поверхности дисков КНД из сплава ВТ3-1 после различных видов обработки величина интегрированного структурного параметра Δ изменяется в диапазоне от 4,56 до 8,03. Виду обработки поверхности 2 соответствует наибольшая величина параметра (Δ), что является фактором, увеличивающим ресурс детали в эксплуатации.

Таблица 2
Результаты определения интегрированных структурных параметров на образцах дисков КНД после различных видов обработки.
Параметр Вид обработки	Параметр калибровки t	Параметр ширины B	Параметр профиля P_I	Параметр профиля P_J	Интегрированный структурный параметр Δ=BP_J	Интегрированный структурный параметр Δ=BP_I
1. протягивание	0,98	1,03	7,35	7,66	7,92	7,60
2. протягивание и
упрочнение дробеструйной обработкой	0,97	1,23	5,29	6,54	8,03	6,49
3. протягивание и полирование	0,98	0,94	7,80	7,35	6,94	7,36
4. протягивание, полирование и
упрочнение дробеструйной обработкой	0,98	1,04	4,25	4,37	4,56	4,43

Таким образом, для увеличения ресурса работы детали необходимо применять обработку поверхности совместно с упрочнением.

1. Способ рентгеноструктурного контроля детали, включающий снятие рентгенограммы с контролируемой детали, определение параметра, зависящего от наработки детали, отличающийся тем, что снятие рентгенограммы с контролируемой детали на предполагаемой поверхности разрушения происходит от отражающей плоскости (11.0) без фона при использовании титанового излучения Ti-K_α и от отражающей плоскости (01.3) без фона при использовании титанового излучения Ti-K_β, при этом в качестве параметра, зависящего от наработки, используют интегрированный структурный параметр Δ, определяемый как произведение параметра ширины В дифракционной линии без фона и параметра профиля Р дифракционной линии без фона: Δ=В·Р, при этом деталь является годной, если интегрированный структурный параметр будет больше 1:Δ>1.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что параметр В дифракционной линии без фона может быть равен отношению дифракционной линии от отражающей плоскости (11.0) $β_{(11.0) K_{λ α}}$ при использовании титанового излучения Ti-K_α к ширине дифракционной линии от отражающей плоскости (01.3) $β_{(01.3) K}_{λ β}$ при использовании титанового излучения $T i - K_{β} : B = \frac{β_{(11.0) K_{λ α}}}{β_{(01.3) K_{λ β}}}$

3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что параметр профиля Р дифракционной линии без фона может быть определен отношением интегральной интенсивности (площади профиля) дифракционной линии без фона от отражающих плоскостей (11.0) $J_{(11.0) K_{α}}$ к интегральной интенсивности (площади профиля) дифракционной линии без фона от отражающих плоскостей (01.3) $J_{(01.3) K_{β}} : P_{J} = \frac{J_{(11.0) K_{α}}}{J_{(01.3) K_{β}}}$ или отношением максимальной интенсивности (высоты пика) дифракционной линии без фона от отражающих плоскостей (11.0) $I_{\max (11.0) K_{α}}$ к максимальной интенсивности (высоте пика) дифракционной линии без фона от отражающих плоскостей (01.3) $I_{\max (01.3) K_{β}} : P_{I} = \frac{I_{\max (11.0) K_{α}}}{I_{\max (01.3) K_{β}}}$

Способ и устройство для регистрации кривых дифракционного отражения // 2466384

Способ количественного определения фазового состава портландцементных клинкеров // 2461817

Изобретение относится к области строительства, в частности к цементной промышленности, и может быть использовано для контроля фазового состава, определяющего качество широко используемых портландцементных материалов.

Рентгенодифракционный способ идентификации партий фармацевтической продукции // 2452939

Изобретение относится к области физики, а именно к исследованию и анализу материалов, и может быть использовано преимущественно в целях производственного контроля, а также выявления поддельных и/или фальсифицированных фармацевтических средств.

Прибор для рентгеновского анализа // 2450261

Рентгеновская установка для формирования изображения исследуемого объекта и ее применение // 2449729

Изобретение относится к медицинской технике, а именно к устройствам для формирования изображений исследуемого объекта. .

Рентгенодифракционная установка и способ рентгеновской дифракции // 2449262

Устройство и способ досмотра объектов // 2444723

Способ структурной диагностики полупроводниковых многослойных структур (варианты) // 2442145

Способ контроля дефектности и упругой деформации в слоях полупроводниковых гетероструктур // 2436076

Способ и устройство для выполнения рентгеновского анализа образца // 2506570

Использование: для выполнения рентгеновского анализа образца. Сущность изобретения заключается в том, что выполняют облучение образца рентгеновскими лучами из полихромного источника рентгеновского излучения; используют комбинированное приспособление для регистрации XRD и XRF, содержащее сканирующий селектор длины волны и по меньшей мере один детектор рентгеновского излучения, предназначенный для регистрации рентгеновских лучей, выбранных селектором длины волны; и выполняют XRD-анализ образца путем выбора по меньшей мере одной фиксированной длины волны рентгеновских лучей, дифрагированных образцом, с использованием сканирующего селектора длины волны и регистрации рентгеновских лучей с выбранной фиксированной длиной волны (длинами волн) на одном или нескольких значениях угла φ дифракции на образце с использованием детектора (детекторов) рентгеновского излучения; и/или выполняют XRF-анализ образца путем сканирования длин волн рентгеновских лучей, испускаемых образцом, с использованием сканирующего селектора длины волны и регистрации рентгеновских лучей со сканированными длинами волн с использованием детектора (детекторов) рентгеновского излучения. Технический результат: повышение чувствительности при рентгеновском анализе образца. 2 н. и 22 з.п. ф-лы, 16 ил.

Сканирующее устройство с использованием пучка излучения для формирования изображения в режиме обратного рассеяния и способ его осуществления // 2507507

Использование: для формирования изображения в режиме обратного рассеяния. Сущность заключается в том, что сканирующее устройство включает в себя источник излучения, стационарную экранную пластину и вращающееся экранное тело, расположенные соответственно между источником излучения и сканируемым объектом, причем стационарная экранная пластина зафиксирована относительно источника излучения, а вращающееся экранное тело поворачивается относительно стационарной экранной пластины. Область прохождения луча, позволяющая лучам из источника излучения проходить сквозь стационарную экранную пластину, обеспечена на стационарной экранной пластине, а область падения луча и область выхода луча обеспечены соответственно на вращающемся экранном теле. В ходе процесса вращения и сканирования вращающегося экранного тела область прохождения луча стационарной экранной пластины последовательно пересекается с областью падения луча и областью выхода луча вращающегося экранного тела с формированием коллимационных отверстий для сканирования. Кроме того, также обеспечен способ сканирования с использованием пучка излучения для формирования изображения в режиме обратного рассеяния. Технический результат: обеспечение возможности использования нового механизма образования «бегущею пятна» для достижения улучшенного сканирования бегущим пятном в режиме обратного рассеяния. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 3 ил.

Способ рентгенометрической оценки температурных условий эксплуатации трубных элементов котлов // 2509298

Использование: для неразрушающего исследуемую поверхность контроля температурных условий эксплуатации и разрушения трубных элементов паровых и водогрейных котлов. Сущность заключается в том, что подготавливают образец трубного элемента и эталон из не работавшего в котле участка трубы, имеющей аналогичный состав и способ изготовления, осуществляют рентгеносъемку эталона в режиме термоциклирования в цикле «нагрев - охлаждение до комнатной температуры», строят на ее основе зависимость отношений интегральных интенсивностей, полученных при комнатной температуре для двух наиболее сильных дифракционных линий, не имеющих наложений с дифракционными линиями других фаз, от температуры термоцикла, производят рентгеносъемку образца трубного элемента при комнатной температуре, для которого определяют отношение интегральных интенсивностей тех же двух дифракционных линий, сравнивают отношения интегральных интенсивностей дифракционных линий образца и эталона и определяют температуру эксплуатации участка трубного элемента, принимая ее равной температуре эталона при данной величине отношения интегральных интенсивностей. Технический результат: обеспечение возможности реализации способа определения температурных условий эксплуатации трубных элементов котлов, распространяющегося на все виды стали, независимо от водного режима работы котла, без разрушения поверхности образца. 1 ил., 4 табл.

Способ определения зарядового состояния атомов в субнанослойных пленках на поверхности металлов и полупроводников // 2509299

Использование: для определения зарядового состояния атомов в субнанослойных пленках на поверхности металлов и полупроводников. Сущность: заключается в том, что поверхность анализируемого объекта облучают ионами инертных газов низких энергий, регистрируют энергетический спектр отраженных ионов от поверхности, измеряют энергетическое положение и величины пиков адатомов субнанослойной пленки и пиков атомов адсорбента (подложки) в энергетическом спектре отраженных ионов, по энергетическому положению пиков в спектре определяют типы адатомов и атомов подложки, затем такие измерения проводят на тест-объекте с различными концентрациями адатомов в пределах от чистой поверхности адсорбента (подложки) до одного моноатомного слоя, далее определяют зависимости величин пиков тест-подложки и адатомов от концентрации адатомов, по отношениям величин пиков адатомов и подложки анализируемого объекта и тест-объекта соответственно определяют концентрацию адатомов на поверхности анализируемого объекта, затем с использованием спектров для чистых массивных материалов подложки и адатомов по линейной экстраполяции определяют величины пиков для найденных концентраций, затем по отношениям измеренных пиков адатомов и подложки анализируемого объекта к линейно-экстраполированным величинам пиков определяют зарядовое состояние адатомов и атомов подложки (адсорбента). Технический результат: уменьшение глубины анализируемого слоя и повышение достоверности результатов анализа. 4 ил.

Способ контроля и управления непрерывной термообработкой // 2518039

Изобретение относится к области металлургии и машиностроения. Для предотвращения брака по механическим свойствам непрерывно отожженной металлической заготовки и обеспечения максимального выхода годного осуществляют управление непрерывной термообработкой металлических заготовок, которое включает неразрушающий непрерывный контроль получаемой в результате термообработки характеристики механических свойств, при этом в качестве контрольной характеристики используют значение удельных энергозатрат, проводят сравнение значений текущих энергозатрат со значениями энергозатрат, полученными из предварительно установленных регрессионных зависимостей механических свойств от удельных энергозатрат, обеспечивающими получение необходимых механических свойств, и регулируют режим термообработки заготовки, обеспечивая попадание величины удельных энергозатрат в интервал допустимых значений. 5 з.п. ф-лы, 1 табл., 1 ил.

Способ определения термостойкости изделий из сверхтвердой керамики на основе кубического нитрида бора // 2522762

Использование: для определения термостойкости изделий из сверхтвердой керамики на основе кубического нитрида бора. Сущность изобретения заключается в том, что осуществляют термообработку испытуемых образцов в вакууме или в инертном газе с последующим анализом, при котором определяют степень превращения алмазоподобных форм нитрида бора в графитоподобную фазу с гексагональной структурой и по ней судят о величине термостойкости изделий, при этом перед термической обработкой образцы дробят до величины фракций размером 100÷500 мкм, а анализ образцов производят рентгенофазовым методом. Технический результат: обеспечение возможности получения достоверного результата термостойкости изделий. 1 табл., 1 ил.

Усовершенствованная система безопасности для досмотра людей // 2523771

Использование: для досмотра людей. Сущность изобретения заключается в том, что система для осуществления сканирования имеет два сканирующих модуля, которые размещены параллельно друг другу, кроме того, в противостоящем положении друг относительно друга. Эти два модуля находятся на расстоянии друг от друга, чтобы позволить субъекту, такому как человек, стоять и проходить между двумя сканирующими модулями. Как первый модуль, так и второй модуль включают в себя источник излучения (такое как рентгеновское излучение) и детекторную матрицу. Человек, проходящий досмотр, стоит между этими двумя модулями таким образом, что передняя сторона человека обращена к одному модулю, а задняя сторона человека обращена к другому модулю. Технический результат: обеспечение возможности быстро и достоверно осуществлять рентгеноскопический досмотр людей. 2 н. и 17 з.п. ф-лы, 6 ил.

Способ определения концентрации элемента в веществе сложного химического состава // 2524454

Использование: для определения концентрации элемента в веществе сложного химического состава. Сущность изобретения заключается в том, что выполняют облучение пробы анализируемого вещества монохроматическим гамма- или рентгеновским излучением с одновременной регистрацией интенсивностей характеристического излучения и некогерентно рассеянного этой же пробой первичного излучения, при этом установление концентрации определяемого элемента проводят по аналитическому параметру, учитывающему влияние фона характеристического излучения. Технический результат: обеспечение возможности определения концентрации элементов в пробах различного химического и вещественного состава, имеющих различную структуру и плотность, без идентификации фазового состава, но с предварительной коррекцией фона. 9 ил.

Устройство для осуществления контроля шероховатости поверхности // 2524792

Изобретение относится к использованию мягкого рентгеновского излучения для исследования сверхгладких оптических поверхностей и многослойных элементов, в частности для аттестации оптических элементов дифракционного качества. Устройство содержит установленные на плите трехкоординатный прецизионный стол с размещенными на нем рентгеновской трубкой, излучающей в мягком рентгеновском диапазоне, и ионным источником для чистки мишени, камеру монохроматора с установленными в ней монохроматором и монитором интенсивности зондирующего пучка, и камеру для исследуемых образцов с размещенным в ней пятиосным гониометром. Камера монохроматора и камера для исследуемых образцов соединены между собой через первый шибер, в качестве монохроматора использован сферический объектив Шварцшильда, камера монохроматора соединена с магниторазрядным насосом, а камера для исследуемых образцов через второй шибер последовательно соединена с турбомолекулярным и форвакуумным безмасляным насосами, соответственно. Технический результат - повышение интенсивности квазипараллельного пучка мягкого рентгеновского излучения на исследуемом образце и возможность изучения шероховатости образцов с криволинейной формой поверхности. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Сканирующее устройство и способ визуализации с обратнорассеянным пучком излучения // 2532495

Использование: для недеструктивного исследования тела человека. Сущность изобретения заключается в том, что сканирующее устройство для визуализации с обратнорассеянным пучком излучения содержит источник излучения, фиксированную экранирующую плиту и вращающееся экранирующее тело, расположенное между источником излучения и сканируемым объектом соответственно, в котором фиксированная экранирующая плита является стационарной относительно источника излучения, а вращающееся экранирующее тело выполнено с возможностью вращения относительно фиксированной экранирующей плиты. Фиксированная экранирующая плита имеет область пропускания луча, которая позволяет пучку излучения от источника излучения проходить сквозь фиксированную экранирующую плиту, а на вращающемся экранирующем теле имеются области падения луча и выхода луча соответственно. Во время вращения вращающегося экранирующего тела область пропускания луча фиксированной экранирующей плиты непрерывно пересекает область падения луча и область выхода луча вращающегося экранирующего тела для генерирования коллимированных отверстий для сканирования. Область пропускания луча фиксированной экранирующей плиты является прямолинейной щелью, вращающееся экранирующее тело является цилиндром, а области падения и выхода пучка излучения сконфигурированы как последовательность небольших дискретных отверстий, расположенных по спиральной линии соответственно. Дополнительно раскрывается способ сканирования для визуализации с обратнорассеянным пучком излучения. Технический результат: обеспечение возможности создания равномерного бегущего луча при визуализации объекта посредством обратнорассеянного пучка излучения. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 5 ил.