Зеркальный электронный микроскоп

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

255430

Сама Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 09.XI.1966 (№ 1112105/26-25) 1(л. 21О, 37/01 с присоединением заявки №

Приоритет

Комитет ло делам иэобретений и аткрытий лри Совете Министров

СССР

МПК Н 041

УДК 621.385,833(088 8) Опубликовано 28.Х.1969. Бюллетень ¹ 33

Дата опубликования описания ЗI.I I I.1970

Авторы изобретения

О. М. Артамонов и Г. Н. Бродский

Научно-исследовательский физический институт

Заявитель

ЗЕРКАЛЬНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП

Зеркальные электронные микроскопы,известных конструкций содержат источник электронов, люминесцентный экран, выполненный из электропроводящего материала, и средство для формирования изображения, включающее высококачественную сложную электронную оптику.

Зеркальный электронный микроскоп предназначен для получения увеличенных изображений распределения электрических потенциалов на поверхности или электрически и магнитных полей вблизи поверхности образца посредством модуляции отражающегося электронного пучка поверхностными микрополями.

Предлагаемый зеркальный электронный микроскоп прост в изготовлении и эксплуатации, имеет небольшие габариты и позволяет отказаться от применения сложной электронной оптики.

Предлагаемый зеркальный электронный микроскоп отличается от,известных конструкций тем, что с целью упрощения конструкции средство для формирования;изображения выполнено в виде двух концентрично расположенных сферических электродов, один из которых укреплен на держателе и служит мишенью, а другой электрод частично покрыт люминесцентным экраном, причем экран и мишень соединены с источником постоянного электрического напряжения, На чертеже схематически изображен предлагаемый микроскоп.

Он состоит из токопроводящей полусферы 1 (непрозрачной или полупрозрачной), люмине5 сцентного экрана 2, токопроводящей прозрачной полусферы 8, источника электронов 4, мишени 5, держателя б мишени.

Предлагаемый зеркальный электронный микроскоп представляет собой сферический

10 конденсатор, часть внешней полусферы 1 которого покрывается с внуреннней стороны люминесцентным экраном 2; противоположная полусфера 8.делается прозрачной, например из металлической сетки. В середине экрана 2

15 на полусфере 1 имеется отверстие 7 для влета пучка электронов пз источника электронов 4.

Внутренней сферой служит поверхность мишени 5, укрепленной на держателе б.

Все устройство помещается в вакуум. Воз20 можен также вариант, когда внешняя сфера изготовляется из стекла и является одновременно вакуумным объемом.

Принцип действия предлагаемого устройства состоит в следующем.

25 Из источника электронов 4 пучок электронов через отверстие 7 попадает в сферический конденсатор, где электроны движутся по гиперболическим траекториям. Потенциалы на электродах подбираются так, что электроны

30 не попадают на мишень 5, а поворачивают вблизи нее. Электроны около точки поворота

255430

Составитель Т. М. Горчакова

Редактор П. Метельский Текред Л. В. Куклина

Корректоры: Е. Ласточкина и А. Абрамова

Заказ 5.1/10 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва Я(-35, Раушская наб., д. 4,5

Типография, пр. Сапунова, И (вершины траектории) и спытыв ают воздействие поверхностных мик1ополей, которые возмущают траектории электронов, вследствие этого происходит перер аспределение плотности отраженного пучка, и на экране 2 формируется увеличенное изображение исследуемых микрополей. Увеличение пропорционально отношению радиусов сфер и может быть достаточно большим. Из-за простоты .поля в сферическом электронном зеркале возможно построение математической модели его, с помощью которой по изображению можно количественно восстановить картину распределения потенциалов или полей нз поверхности образца. Изображение наблк тается и фотографируется через прозрачнук> полусферу 3 либо с внешней стороны полусферы 1, если она сделана полупрозрачной.

Предлагаемый зеркальный электронный микроскоп позволяет получить разрешение около 1000 А и значительные увеличения, по5 рядка 1000 "".

Предмет изобретения

Зеркальный электронный микроскоп, содерiKBIIIHH источник электронов, люминесцентный экран, выполненный из электропроводящего

10 материала, средство для формирования изображения, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, средство для формирования изображения выполнено в виде двух концентрично расположенных сферических

15 электродов, один из которых укреплен на держателе и служит мишенью, а другой электрод частично покрыт люминесцентным экраном, причем экран и мишень соединены с источником постоянного электрического напряжения.