Устройство для совмещения заготовок твердых

 

ОП ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик.а„-оо >о-, ->. с.

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 21а4, 75

Заявлено 19.XI.1966 (№ 1113099 26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

МПК Н 05k

УД К 621.3.049.75:774 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете тлинистрое

СССР

Опубликовано 22.XII 1969 Бюллетень № 3 за 1970

Дата опубликования описания 4.V.1970

Авторы изобретения

В. М. Пастухов, В. И. Лобов, А. М, Лутченков, Е. А. Чумаков, С. А. Сиянов, М. П. Шеходанов и Н. П. Лесковская

Научно-исследовательский институт технологии и организации производства

3 аявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ ЗАГОТОВОК ТВЕРДЫХ

СХЕМ ИЛИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

С ФОТОШАБЛОНАМИ

Известные устройства для совмещения заготовок твердых схем или полупроводниковых приборов с фотошаблонами и экспонирования заготовок, содержащие .стол совмещения заготовки с фотошаблоном, осветитель, блок управления, блок питания и скафандр, характеризуются недостаточно высокой точностью совмещения.

В предлагаемом устройстве повышение точности совмещения достигается тем, что стол совмещения снабжен полусферическим присосом, укрепленным на поворотной колонке и соединенным через шток поршня; подвижную гильзу, цилиндр, опорную скобу и подвижную каретку, перемещающуюся в призматических направляющих, с неподвижной плитой, служащей для крепления фотошаблона.

Описываемое устройство приведено на чертеже.

Заготовку твердой схемы или полупроводникового прибора (на чертеже не показана) укладывают на полусферический присос 1 стола совмещения (на чертеже не показан), укрепленный на поворотной колонке 2. Фотошаблон 8, установленный в рамке 4, располагают над полусферическим присосом на неподвижной плите б. Под давлением сжатого воздуха шток б поршня, перемещаясь вверх, выбирает зазор между головками болтов 7 и плитой 8 штока. Далее болты увлекают за собой подвижную гильзу 9. Таким ооразом вся система движется до упора заготовки в фотошаблон 8. Полусферический шаблон выравнивает заготовку н плотно прижимается всей поверхностью к фотошаблону. Сжатый воздух подается в тормозную камеру 10, фиксируя подвижную гильзу в верхнем положении.

Подвижная гильза перемещается вдоль образующей внутренней полости цилиндра 11, который посредством опорной скооы 12 и подвижной каретки 18 соединен с неподвижной плитой. Каретка перемещается в призматических направляющих И. Полость цилиндра 11 соединяется с атмосферой, шток спускается вниз на величину зазора, образующегося между верхним торцом подвижной гильзы и штоком в процессе первоначального подъема. Таким образом создается рабочий зазор между заготовкой твердой схемы и фотошаблоном.

Затем совмещают рисунок схемы фотошаблона с заготовкой твердой схемы в горизонтальной плоскости в двух взаимно перпендикулярных направлениях и по углу.

Следить за процессом совмещения можно по изображению на телевизионном экране 15, переданному телевизионной камерой 1б.

После совмещения шток под действием сжатого воздуха прижимает заготовку к фото30 шаблону. Далее отводят передающую телеви259975

Составитель Н, Давыдов

Техред T. П. Курилко Корректор Г. П. Шильман

Редактор 3. Хухрыгина

Заказ 941(7 Тираж 499 Подписное

ЦНИИПИ Комитета llo делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва K-35, Раушская наб., д. 4, 5

Типография, пр. Сапунова, 2 зонную камеру и подводят лампу экспонирования 17, засвечивая совмещенную пару. После этого все механизмы приводят в исходное положение и начинают следующий цикл совмещения.

Предмет изобретения

Устройство для совмещения заготовок твердых схем или полупроводниковых приборов с фотошаолонами и экспонирования заготовок, содержащее, стол совмещения заготовки с фотошаблоном, осветитель, блок управления, блок питания и скафандр, отличающееся тем, что, с целью повышения точности .совмещения, стол совмещения снаб кен полусферическим присосом, укрепленным на поворотной колонке и соединенным через шток поршня; подвижную гильзу, цилиндр, опорную скобу и подвижную каретку, неремешающуюся в призматических направляющих, с неподвижной плитой, служащей для крепления фотошаолона,