Патент ссср 173606
Союз Советских
Социалистических
Республик (> 1=1 И С А Н И Е !73606
И3ОБРЕТЕН И Я
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства М
Заявлено 11,VI I.1963 (№ 846759/28-12) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 21 VII.1965. Бюллетень М 15
Дата опубликования описания 21.VIII.1965
Кл. 57d, 1 г
Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР
МПК G 031
УДК 778.644(088.8) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОФОТОШАБЛОНОВ
Предмет изобретения г7одписная группа Ло 235
Известны способы изготовления микрофотошаблонов, используемых при фотографической разметке, например при производстве полупроводниковых приборов. В этих способах на повторяющийся элемент воспроизводимого на микрофотошаблоне изображения изготовляют промежуточный фотошаблон, с которого изображение многократно фотографически переносят на микрофотошаблоны посредством координатно-поворотной копировальной рамки.
В предлагаемом способе для снижения трудоемкости процесса воспроизведения повторяющихся изображений простейшей геометрической формы их получают на промежуточном фотошаблоне многократным засвечиванием через соответствующую щель диафрагмы координатно-поворотной копировальной рамки.
Сначала фотографически изготовляют промежуточный шаблон на повторяющееся элементарное изображение простейшей геометрической формы, например квадрата, используя координатно-поворотную копировальную рамку. Для этого соответственным образом подготавливают прозрачную подложку, например стеклянную пластинку, и наносят на нее металлическое непрозрачное покрытие.
Затем приготовляют эмульсию из светочувствительных полимеров, светочувствительной хромированной желатины или шеллака и наносят ее на пластинку. С помощью координатно-поворотной копировальной рамки через щель в диафрагме пластинку многократно засвечивают, образуя на ней методом фотомаскирования скрытое требуемое элементарное изображение. Последнее проявляют затем растворителем, вымывающим незадубленные незасвеченные участки светочувствительного слоя, фиксируют невымытые участки его соответствующей термообработкой и травят непокрытые незадубленным слоем эмульсии участки металлопокрытия, сообщая им прозрачность. Этим заканчивается процесс изготовления микрофотошаблона.
Способ изготовления микрофотошаблонов, заключающийся в том, что на повторяющийся элемент воспроизводимого на них изобра20 жения изготовляют промежуточный фотошаблон, с которого это изображение многократн > фотографически переносят,на микрофотошаблоны посредством .координатно-поворотной копировальной рамки, отличаюигийся тем, что, с
25 целью снижения трудоемкости процесса воспроизведения повторяющихся изображений простейшей геометрической формы, эти изображения получают на промежуточном фотошаблоне путем их многократного засвечива30 ния через соответствующую щель диафрагмы координатно-поворотной копировальной рамки.
