Способ фотогравировки пленок свинца

 

О П И С А Н И Е 261498

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистические

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Кл. 21а4, 75

48di, 1/02

Заявлено 15.Ч11.1968 (№ 1256011/26-9) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 13.1.1970. Бюллетень № 5

Дата опубликования описания 27Х.1970

МПК Н 05к

С 23f

УДК 621.794,443 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Микистров

СССР

Авторы изобретения

H. Т. Васина, Б. Е. Раснецова и Г. Я. Колмакова

Заявитель

СПОСОБ ФОТОГРАВИРОВКИ ПЛЕНОК СВИНЦА

Изобретение относится к области технологии изгоговлеиия приборов электронной техники, в частности к способу фотогравировки пленок свинца, нанесенных на стекло, и может быть применено при изготовлении тонкопленочных криотронных схем.

Известные способы фотогравировки тонких свинцовых пленок, нанесенных на стекло, используют процесс фотолитического травления, который происходит при одновременном воздействии на свинец нитрометана и ультрафиолетовых лучей.

Однако этот процесс очень сложен, мало изучен, требует особых условий, трудно воспроизвод им, .не поддается регулированию, нетехнологичен и в силу перечисленных выше факторов непригоден для промышленного использования.

Известен также способ фотогравировки пленок свинца, использующий в качестве травителя уксусную кислоту 5 — 10% концентрации с добавкой нескольких капель перекиси водорода.

Однако при таком способе процесс травления очень критичен во времени, элементы рельефа всегда оказываются подтравленными не менее чем на 5 мк от заданной ширины, передержка в травителе на несколько секунд приводит к увеличению подтрава и, разрешающая способность способа невелика.

Предлагаемый способ отличается от известного тем, что для травления при фотогравировке свинцовых пленок на стекле применяется муравьиная кислота 65 — 85% концентрации с окислением поверхности свинцовой пленки кислородом воздуха при обдуве ее, причем обрабатываемая поверхность подвергается периодическому воздействию воздуха и травителя, располагается параллельно и вблизи

10 зеркала раствора, что увеличивает плотность компоновки и улучшает качество схемы.

На электрическую подложку, покрытую пленкой свинца, наносят фоторезист с образованием копировального слоя. После сушки, 15 экспонирования ко пировального слоя, проявления и терм|ического закрепления защитного слоя свинцовую пленку на подложке помещают в ванну с травителем так, чтобы раствор покрывал поверхность свинцовой пленки на

20 3 — 4 мм. В качестве травителя используется раствор муравьиной кислоты 65 — 85% концентрации. Подложку, находящуюся в растворе, обдувают с поверхности очищенным сжатым воздухом давлением до 1 атм с регулировкой

25 скорости подачи. Обдув поверхности свинцовой пленки производится с помощью сопла, которое устанавливается таким образом, чтобы без разбрызгивания можно было обдуть всю поверхность подложки до образования

30 окисла свинца. После этого подача воздуха прекращена, раствор кислоты затекает на под261498

Составитель Э. Фридолина

Редактор Т. И. Морозова Техред А. А, Камышникова Корректор С. М. Сигал

Заказ 1164/14 Тираж 500 Подписпо"

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Ложку и стравливает образовавшийся окисел.

Чередование циклов воздействия воздуха и раствора проводится до тех пор, пока весь свинец не стравится.

Продолжительность одного цикла составляет 20 — 30 сек, общее время травления свинцовой пленки толщиной 0,5 — 0,6 мк — 6 — 7 мин.

Травление проводят при температуре 18 — 25 С.

Предмет изобретения

Способ фотогравировки пленок свинца, нанесенных на диэлектрическую подложку, основанный на покрытии пленки свинца фоторезистом, образовании копировального слоя с его последующим травлением, отличающийся тем, что, с целью увеличения плотности ком5 лоновки и улучшения качества схем, подложку размещают в среде травителя, в качестве которого используют раствор муравьиной кислоты, на расстоянии 3 — 4 мм от зеркала травителя и обдувают поверхность подложки че10 рез слой травителя сжатым воздухом, чередуя его с действием травителя.