Способ изготовления полупроводникового прибора

Авторы патента:

H01L21/26566 - Способы и устройства для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей (способы и устройства, специально предназначенные для изготовления и обработки приборов, относящихся к группам H01L 31/00- H01L 49/00, или их частей, см. эти группы; одноступенчатые способы изготовления, содержащиеся в других подклассах, см. соответствующие подклассы, например C23C,C30B; фотомеханическое изготовление текстурированных поверхностей или поверхностей с рисунком, материалы или оригиналы для этой цели; устройства, специально предназначенные для этой цели вообще G03F)[2]

H01L21/265 - с внедрением ионов (трубки с ионным пучком для локальной обработки H01J 37/30)

Владельцы патента RU 2671294:

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Чеченский государственный университет" (RU)

Изобретение относится к области технологии производства полупроводниковых приборов, в частности к технологии изготовления полевого транзистора с пониженной плотностью дефектов. Предложен способ изготовления полупроводникового прибора, включающий формирование поверх слоя оксида кремния нелегированного поликремния со скоростью 10 нм/мин при температуре 650°С, при расходе силана 10 см³/мин и водорода 22 л/мин, толщиной 400 нм и проведением ионного внедрения азота с энергией 1215 кэВ, дозой 5*1016-2*10¹⁷ см^-2 при температуре подложки 100°С, с последующей термообработкой при температуре 450°С в течение 30 мин в форминг-газе. Технология способа состоит в следующем: на пластинах кремния р-типа проводимости с удельным сопротивлением 4,5 Ом*см, ориентацией (100) выращивают слой оксида кремния, поверх нее с применением пиролиза выращивали слой нелегированного поликремния со скоростью 10 нм/мин при температуре 650°С, при расходе силана 10 см³/мин и водорода 22 л/мин, толщиной 400 нм, с последующим проведением ионного внедрения азота с энергией 12-15 кэВ, дозой 5*10¹⁶-2*10¹⁷ см^-2, при температуре подложки 100°С. Затем проводили термообработку при температуре 450°С в течение 30 мин в форминг-газе и далее изготовление приборов по стандартной технологии. Технический результат - снижение плотности дефектов, обеспечение технологичности, улучшение параметров приборов, повышение качества и увеличение процента выхода годных. 1 табл.

Известен способ изготовления полупроводникового прибора [Пат. 5296398 США, МКИ HO1L 21/338] с улучшенной управляемостью в котором структура затвора на легированной канальной области покрывается слоем оксинитрида кремния. Затем проводится ионная имплантация с образованием глубокой области стока и мелкой стоковой области с относительно меньшим уровнем легирования и отделенным от электрода затвора участком канала. В таких полупроводниковых приборах из-за не технологичности процесса создания активных областей образуется большое количество дефектов, которые ухудшают параметры приборов.

Известен способ изготовления полупроводникового прибора [Пат. 5323046 США, МКИ HO1L 29/04] обеспечивающий малое влияние технологических операций на качество подзатворного оксидного слоя путем формирования изолированного электрода затвора созданием р+ области стока с использованием электрода затвора в качестве маски, удаленная от затвора и перекрывающаяся со стоком и затем формируется контакт стока.

Недостатками способа являются:

- повышенная плотность дефектов;

- повышенные значения токов утечек;

- низкая технологичность.

Задача, решаемая изобретением: снижение плотности дефектов, обеспечение технологичности, улучшение параметров приборов, повышение качества и увеличение процента выхода годных.

Задача решается путем формирования поверх слоя оксида кремния нелегированного поликремния со скоростью 10 нм/мин при температуре 650°С, при расходе силана 10 см³/мин и водорода 22 л/мин, толщиной 400 нм и проведением ионного внедрения азота с энергией 1215 кэВ, дозой 5*1016-2*10¹⁷ см^-2 при температуре подложки 100°С, с последующей термообработкой при температуре 450°С в течение 30 мин в форминг-газе.

Технология способа состоит в следующем: на пластинах кремния р-типа проводимости с удельным сопротивлением 4,5 Ом*см, ориентацией (100) выращивают слой оксида кремния, поверх нее с применением пиролиза выращивали слой нелегированного поликремния со скоростью 10 нм/мин при температуре 650°С, при расходе силана 10 см³/мин и водорода 22 л/мин, толщиной 400 нм, с последующим проведением ионного внедрения азота с энергией 12-15 кэВ, дозой 5*10¹⁶-2*10¹⁷ см^-2, при температуре подложки 100°С. Затем проводили термообработку при температуре 450°С в течение 30 мин в форминг-газе и далее изготовление приборов по стандартной технологии.

По предлагаемому способу были изготовлены и исследованы приборы. Результаты обработки представлены в таблице.

Экспериментальные исследования показали, что выход годных полупроводниковых приборов на партии пластин сформированных в оптимальном режиме увеличился на 16,1%.

Технический результат: снижение плотности дефектов, обеспечение технологичности, улучшение параметров приборов, повышение качества и увеличения процента выхода годных.

Стабильность параметров во всем эксплуатационном интервале температур была нормальной и соответствовала требованиям.

Предложенный способ изготовления полупроводникового прибора путем формирования поверх слоя оксида кремния нелегированного поликремния со скоростью 10 нм/мин при температуре 650°С, при расходе силана 10 см³/мин и водорода 22 л/мин, проведением ионного внедрения азота с энергией 12-15 кэВ, дозой 5*10¹⁶-2*10¹⁷ см^-2, при температуре подложки 100°С с последующей термообработкой при температуре 450°С в течение 30 мин в форминг-газе, позволяет повысить процент выхода годных приборов и улучшить их надежность.

Способ изготовления полупроводникового прибора, включающий подложку, процессы формирования областей истока, стока, затвора, подзатворного слоя оксида кремния, отличающийся тем, что над слоем оксида кремния выращивают слой нелегированного поликремния со скоростью 10 нм/мин при температуре 650°С, при расходе силана 10 см³/мин и водорода 22 л/мин, толщиной 400 нм, с последующим проведением ионного внедрения азота с энергией 12-15 кэВ, дозой 5*10¹⁶-2*10¹⁷ см^-2, при температуре подложки 100°С и термообработкой при температуре 450°С в течение 30 мин в форминг-газе.

Изобретение относится к области нагревательных устройств и может быть использовано для регулирования температуры обработки полупроводниковой пластины в процессе выращивания полупроводникового слоя.

Датчик, фильтрующий элемент с датчиком и применение такого фильтрующего элемента // 2665341

Использование: для создания фильтрующего элемента с датчиком измерения перепадов давления. Сущность изобретения заключается в том, что фильтрующий элемент содержит основное тело, причем на основном теле размещен датчик для измерения перепадов давления, причем указанный датчик содержит электронный чип и сенсорный чип, расположенные внутри функционального объема, который имеет длину максимум 4-5 мм, ширину максимум 2-3 мм и высоту максимум 0,5-0,8 мм.

Способ контроля конструкции с мдп-структурой в тонкопленочных транзисторах и система для осуществления контроля // 2665263

Изобретение относится к области техники жидкокристаллических дисплеев, в частности к контролю конструкции с МДП-структурой (структурой металл - диэлектрик - полупроводник) в ТПТ (тонкопленочных транзисторах) и его системе.

Устройство для термической обработки подложки, носитель и элемент для поддержки подложки для этого устройства // 2664559

Изобретение относится к устройству для термической обработки подложки, причем устройство имеет нагревательный узел и носитель, снабженный опорной поверхностью для поддержания подложки.

Способ получения эпитаксиальной пленки многослойного силицена, интеркалированного европием // 2663041

Изобретение относится к способам получения эпитаксиальных тонкопленочных материалов, а именно EuSi2 кристаллической модификации hP3 (пространственная группа N164, ) со структурой интеркалированных европием слоев силицена, которые могут быть использованы для проведения экспериментов по исследованию силиценовой решетки.

Тонкопленочный транзистор с низким контактным сопротивлением // 2662945

Изобретение относится к тонкопленочному транзистору (TFT), содержащему подложку (100) со слоем (101) электрода затвора, наложенным и структурированным на ней, и изолирующим слоем (102) затвора, наложенным на слой электрода затвора и подложку.

Способ монтажа микросборок в корпус модуля // 2661337

Изобретение относится к способам монтажа микросборок в корпусах электронных модулей и может быть использовано при осуществлении сборки сверхвысокочастотных (СВЧ) модулей активных фазированных антенных решеток (АФАР).

Композиция химического механического полирования для полирования поверхности сапфира и способы ее применения // 2661219

Изобретение относится к композиции химического механического полирования для обработки наружной сапфировой поверхности и способу полирования сапфировой подложки.

Составы для получения содержащих оксид индия слоев, способы получения указанных слоев и их применение // 2659030

Настоящее изобретение относится к жидкому составу для получения содержащих оксид индия слоев. Состав получают путем растворения по меньшей мере одного соединения алкоксида индия, которое может быть получено при помощи реакции тригалогенида индия InX3, где X=F, Cl, Br, I, с вторичным амином формулы R'2NH, где R'=C1-C10-алкил в молярном соотношении от 8:1 до 20:1 к тригалогениду индия в присутствии спирта общей формулы ROH, где R=C1-C10-алкил, по меньшей мере в одном растворителе, выбранном из группы, состоящей из первичных, вторичных, третичных и ароматических спиртов.

Устройство для формовки и обрезки выводов микросхем // 2657519

Изобретение относится к производству радиоаппаратуры с использованием микросхем. Устройство для формовки и обрубки выводов микросхем содержит основание, на котором смонтирована часть привода, обеспечивающая перемещение по направляющей в вертикальном направлении пуансона, несущего элемент для изгибания выводов микросхемы и элемент для обрезки концов выводов микросхемы, а также закрепленную на основании матрицу, несущую гнездо для установки микросхемы с размещением ее выводов поперек направления перемещения пуансона, имеющее элемент, повторяющий контур изгиба выводов микросхемы, а также пружины для регулирования усилий, реализуемых на пуансоне для изгибания и обрезки выводов микросхемы.

Способ изготовления интегральных элементов микросхем на эпитаксиальных структурах арсенида галлия // 2665368

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологии полупроводниковых приборов на эпитаксиальных структурах арсенида галлия. Техническим результатом предлагаемого способа изготовления интегральных элементов микросхемы на эпитаксиальных структурах арсенида галлия является обеспечение равенства слоевых сопротивлений для различных интегральных элементов, рабочая область которых формируется в эпитаксиальных структурах арсенида галлия при помощи жидкостного травления.

Способ изготовления полупроводникового прибора // 2660296

Изобретение относитья к области технологии производства полупроводниковых приборов, в частности к технологии изготовления полевого транзистора с пониженными токами утечки.

Способ изготовления диэлектрической изоляции // 2660212

Изобретение относится к области технологии производства полупроводниковых приборов, в частности к технологии изготовления диэлектрической изоляции с низкими токами утечек.

Способ изготовления полупроводникового прибора // 2659328

Изобретение относится к области технологии производства полупроводниковых приборов, в частности к технологии изготовления биполярных транзисторов с высоким коэффициентом усиления.

Способ изготовления легированных областей // 2654984

Изобретение относится к области технологии производства полупроводниковых приборов, в частности к технологии изготовления легированных областей с пониженной дефектностью.

Способ изготовления электрически изолированных резисторов микросхем // 2648295

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способу изготовления электрически изолированных резисторов микросхем на арсениде галлия с высокой термостабильностью.

Способ изготовления полупроводникового прибора // 2641617

Изобретение относится к области технологии производства полупроводниковых приборов, в частности к технологии изготовления полевого транзистора с пониженным контактным сопротивлением.

Способ изготовления полупроводникового прибора // 2633799

Изобретение относится к области технологии производства полупроводниковых приборов, в частности к технологии изготовления полевого транзистора с пониженными токами утечки.

Способ изготовления полупроводниковой структуры // 2629655

Изобретение относиться к области технологии производства полупроводниковых приборов, в частности к технологии изготовления полупроводниковой структуры кремний на диэлектрике с низкой плотностью дефектов.

Способ изготовления полупроводникового прибора // 2626292