Патент ссср 272455

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 21g, 37/20

Заявлено 05.VI I.1968 (№ 1253205/26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано ОЗХ1.1970. Бюллетень ¹ 19

Дата опубликования описания 8.IX.1970

МПК G 02Ь

УДК 535.317.61 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения гт; Li, . Æ JiL у

Т. Я. Фишкова, Е. В, Шпак и С. Я, Явор

Физико-технический институт имени А. Ф. Иоффе

1,.

11.Т НТН01! у, ЩЧЕС1 л и

I;.,Ö0ÒÅÅA

Заявитель

ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ ДУБЛЕТ СО СКОМПЕНСИРОВАННОЙ

СФЕРИЧЕСКОЙ АБЕРРАЦИЕЙ ШИРИНЫ ИЗОБРАЖЕНИЯ

ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ

Изобретение относится к электронно-оптическим приборам для коррекции сферической аберрации при фокусировке широких пучков заряженных частиц.

Известные электростатические системы со скомпенсированной сферической аберрацией, состоящие из квадрупольно-октупольных линз, очень сложных, так как каждая линза содержит не менее восьми электродов. Изготовление и юстировка таких систем черезвычайно затруднены. В случае неточности юстировки возникают дополнительные аберрации, ухудшающие положительный эффект от коррекции сферической аберрации.

Изобретение упрощает конструкцию дублета и улучшает качество создаваемого дублетом изображения.

Предложенный дублет отличается тем, что он составлен из двух пятиэлектродных квадрупольно-октупольных линз, причем каждая линза содержит четыре внутренних электрода и пятый наружный, охватывающий внутренние. Такие линзы имеют четыре плоскости геометрической симметрии и две плоскости электрической симметрии.

На фиг. 1 показана схема дублета; на фиг.

2 — поперечное сечение линзы.

В предложенном дублете а — расстояние от источника О до центра первой линзы, S — расстояние между центрами линз дублета, г -1,2— эффективная длина квадрупольного поля (соз5 даваемого напряжением +- U), !, U и Л вЂ” напряжения на электродах.

Величина напряжения +- U определяется параксиальными фокусирующими свойствами системы, величина w+- U — условиями коррекции

lo сферической аберрации, величина Л вЂ” требованиями к потенциалу на оси линзы. Форма электродов может быть произвольной. однако должна соблюдаться симметрия.

15 Предмет изобретения

Электростатический дублет со скомпенсированной сферической аберрацией ширины изображения для фокусировки заряженных ча2Q стиц, от,гичаюигийся тем, что, с целью улучшения качества изображения, упрощения конструкции и юстировки дублета, он составлен из двух пятиэлектродных квадрупольно-окту,польных линз, каждая из которых образована

25 четырьмя внутренними электродами и пятым, охватывающим их, и имеет четыре плоскости геометрической симметрии и две плоскости электрической симметрии.

Фиг.!

Составитель В. Андрюков

Редактор Т. 3. Орловская Техред 3. Н. Тараненко Корректор А. И. Зимина

Заказ 2394(10 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2