Манипулятор, работающий в герметизированном объеме

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано в манипуляторах и промышленных роботах, работающих в герметизированном объеме. Манипулятор, работающий в герметизированном объеме, содержит крышку вакуумной камеры, на которой смонтированы винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движений и исполнительный орган. Манипулятор снабжен пятью шарнирными многократными параллелограммами, связывающими винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движения с исполнительным органом, выполненным в виде радиально-упорного подшипника, внутреннее кольцо которого является предметным столиком, соединенным посредством универсального шарнира винтового толкателя с центральным шарнирным многократным параллелограммом. Вакуумное кольцо указанного подшипника кинематически связано с четырех диаметрально расположенных сторон с остальными четырьмя шарнирными многократными параллелограммами. Обеспечивается расширение зоны обслуживания. 3 ил.

 

Изобретение относится к машиностроению, в частности к манипуляторам и промышленным роботам.

Техническим результатом настоящего изобретения является расширение зоны обслуживания исполнительным органом герметизированного объема вакуумной камеры и точности позиционирования манипулятора.

Манипулятор, работающий в герметизированном объеме, содержит крышку вакуумной камеры, на которой смонтированы винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движений и исполнительный орган. Манипулятор снабжен пятью шарнирными многократными параллелограммами, связывающими винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движения с исполнительным органом, выполненным в виде радиально-упорного подшипника, внутреннее кольцо которого является предметным столиком, соединенным посредством универсального шарнира винтового толкателя с центральным шарнирным многократным параллелограммом. Вакуумное кольцо указанного подшипника кинематически связано с четырех диаметрально расположенных сторон с остальными четырьмя шарнирными многократными параллелограммами.

На фиг. 1 изображен общий вид манипулятора, работающего в герметизированном объеме. На Фиг. 2 показан Вид А на фиг. 1, на Фиг. З показан Вид Б на фиг. 1.

Манипулятор содержит крышку 1 вакуумной камеры, на которой смонтированы винтовые механизмы приводов сильфонного ввода поступательно-качательного 2 и вращательного 3 движений исполнительного органа 4 и пять шарнирных многократных параллелограмма 5, связывающих винтовые механизмы приводов сильфонного ввода поступательно-качательного 2 и вращательного 3 движений с исполнительным органом 4, выполненным в виде радиально-упорного шарикоподшипника, внутреннее кольцо которого является предметным столиком 6 и соединено универсальным шарниром 7 винтового толкателя 8 вращательного движения столика.

Манипулятор работает следующим образом.

При поступательно-качательном движении исполнительный орган 4 получает поступательное (вертикальное) или качательное перемещение от винтовых механизмов приводов сильфонного ввода поступательно-качательного 2 движения, через четыре шарнирных многократных параллелограмма, установленных с четырех, диаметрально расположенных, сторон.

При вращательном движении исполнительный орган 4 получает вращательное движение предметного столика 6 от винтового механизма привода сильфонного ввода вращательного движения 3, через центральный шарнирный многократный параллелограмм 5, далее универсальному шарниру 7 винтового толкателя 8 вращательного движения столика.

Все устройство смонтировано на крышке 1 вакуумной камеры.

Источники информации

1. М.И. Медников, «Вводы движения в вакуум», М., 1974 г., с. 172-173.

2. Ав. свид. №1184669 «Манипулятор, работающий в герметизированном объеме» автор: А.А. Никитин - прототип.

Манипулятор, работающий в герметизированном объеме, содержащий крышку вакуумной камеры, на которой смонтированы винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движений и исполнительный орган, отличающийся тем, что он снабжен пятью шарнирными многократными параллелограммами, связывающими винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движения с исполнительным органом, при этом исполнительный орган выполнен в виде радиально-упорного подшипника, внутреннее кольцо которого является предметным столиком, соединенным посредством универсального шарнира винтового толкателя с центральным шарнирным многократным параллелограммом, причем вакуумное кольцо указанного подшипника кинематически связано с четырех диаметрально расположенных сторон с остальными четырьмя шарнирными многократными параллелограммами.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области машиностроения, в частности к устройству для управления роботом-манипулятором с силомоментной обратной связью, установленным на подвижной опоре в радиационно-защитной камере и способу управления посредством такого устройства.

Изобретение относится к области ядерной и биологической техники и может быть использовано при производстве манипуляторов для работы с радиоактивными и биологическими веществами.

Настоящая группа изобретений относится к очистительным установкам и способам очистки металлических деталей, в частности компонентов автомобильных двигателей или компонентов передачи.

Изобретение относится к лазерной технике, а именно к лазерным технологическим установкам, предназначенным для молекулярно-лучевой эпитаксии при выращивании полупроводниковых структур в условиях сверхвысокого вакуума.

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в конструкциях манипуляторов с вакуумной камерой, предназначенных для выполнения технологических операций в вакууме.

Изобретение относится к манипуляторам, используемым в технологических процессах изготовления электронных приборов, обработке радиоактивных, токсичных, взрывчатых веществ.

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано в конструкциях манипуляторов, работающих в сверхвысоком вакууме с особо чистыми материалами.

Изобретение относится к манипулятору, работающему в герметизированном объеме, и может быть использовано в качестве манипулятора подложки электронографа. Манипулятор снабжен эластичным герметизирующим элементом, расположенным внутри компенсирующей герметичной полости, образованной двумя наружными гибкими диафрагмами, установленными со смещением относительно внутренней гибкой диафрагмы упруго-деформируемой трубы и герметично соединенными с ней и со стенкой герметизированного объема, образуя при этом эластичную перегородку, отделяющую рабочее пространство манипулятора от нерабочего.

Баллистический манипулятор относится к манипуляторам, работающим в герметизированном объеме, и может быть использован в боевой космической технике, а именно в механическом оружии, предназначенном для метания снарядов без применения боевых зарядов.

Изобретение относится к лазерной технике, а именно к лазерным технологическим установкам, предназначенным для обработки изделий в условиях глубокого вакуума. Устройство содержит источник лазерного излучения, вакуумную камеру, герметичный ввод излучения в нее, координатный стол и систему программного управления.

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано в манипуляторах и промышленных роботах, работающих в герметизированном объеме. Манипулятор содержит крышку вакуумной камеры, на которой смонтированы винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движений и исполнительный орган. Четыре шарнирных многократных параллелограмма связывают винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движения с исполнительным органом, который выполнен в виде радиально-упорного подшипника, внутреннее кольцо которого является предметным столиком, соединенного посредством универсального шарнира винтового толкателя с центральным шарнирным многократным параллелограммом. Вакуумное кольцо указанного подшипника кинематически связано с трех диаметрально расположенных сторон с остальными тремя шарнирными многократными параллелограммами. Обеспечивается расширение зоны обслуживания. 2 ил.

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано в манипуляторах и промышленных роботах, работающих в герметизированном объеме. Манипулятор, работающий в герметизированном объеме, содержит крышку вакуумной камеры, на которой смонтированы винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движений и исполнительный орган. Манипулятор снабжен пятью шарнирными многократными параллелограммами, связывающими винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движения с исполнительным органом, выполненным в виде радиально-упорного подшипника, внутреннее кольцо которого является предметным столиком, соединенным посредством универсального шарнира винтового толкателя с центральным шарнирным многократным параллелограммом. Вакуумное кольцо указанного подшипника кинематически связано с четырех диаметрально расположенных сторон с остальными четырьмя шарнирными многократными параллелограммами. Обеспечивается расширение зоны обслуживания. 3 ил.

Наверх