Патент ссср 280682

Авторы патента:

H01L21/02 - изготовление или обработка полупроводниковых приборов или их частей (отличающиеся использованием органических материалов H01L 51/40)

flQl< б.о, о, 280682

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВМДЕТЕДЬСТВУ

Союз Советскив

Социалистическив

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 20.VI.1968 (№ 1248880/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 03.1Х.1970. Бюллетень № 28

Дата опубликования описания 10.XII.1970

Кл. 21@, 11/02

МПК Н Olt 7/68

УДК 621,382(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

Г. П. Сергиенко и А. Н. Вивчар

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БЕЗЛИНЗОВЫХ РАСТРОВ

Изобретение относится к полупроводниковой промышленности, в частности к способам изготовления фотошаблонов в процессе фотол итогр а фи и.

Известны лучевые и электроэрозионные способы изготовления безлинзовых растров из фольги с:круглыми микроотверстиями диаметром порядка 5 вЂ” 20 як.

Эти .способы не ооеспечивают правильной геометрии и идентичности отверстий, а для осуществления их необходимо уникальное оборудование. Кроме того, технологический процесс при этом способе изготовления растров сложен.

Целью изобретения является получение безлинзовых растров,из фольги с идентичными микроотверстиями правильной геометрии .и с ровными краями диаметром 5 вЂ” 20 як без применения сложного оборудования, Сущность предлагаемого способа заключается в получении растров путем прошивки от верстий в предварительно натянутой фольге стеклянной иглой конической формы.

Способ позволяет значительно упростить технологию изготовления безлинзовых растров, исключить применение уникального дорогостоящего оборудования и повысить качество изготовляемых растров.

Отверстия в натянутой фольге прошиваются последовательно на координатном столе, при этом игла опускается микрометрическим винтом. По окончании прошивки отверстий

10 фольгу освобождают от натяжного приспособления, Напряженное состояние фольги снимается, что способствует стягиванию краев прошитых в фольге отверстий и повышению пх качества .и чистоты.

Пр едм ет .изобретения

Способ изготовления безлинзовых растров путем прошивки отверстий в фольге, отлипаюитийся тем, что, с целью получения качест20 венпых микроотверстий, фольгу предварительно натягивают, а прошивку микроотверстий осуществляют стеклянной иглой конической формы.

Способ присоединения выводов к полупроводниковым приборам // 208134

Способ получения рельефов на поверхности полупроводника // 165837

Патент 153975 // 153975

Способ получения изображения p-n переходов // 148154

Способ изготовления детекторов // 10891

Способ изготовления чувствительных элементов для полупроводниковых детекторов импульсного ионизирующего излучения на основе теллурида кадмия // 2103765

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано при исследовании спектрального состава и плотности потока высокоинтенсивного излучения электрофизических установок, в частности линейных ускорителей, импульсных реакторов, где требуются детекторы с высоким временным разрешением, высокой радиационной стойкостью и высокой избирательностью детектора к жесткой части спектра излучения

Фотошаблон для фотолитографии // 2114485

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к устройствам для фотолитографических процессов, и может быть использовано при изготовлении микросхем

Емкостной акселерометр и способ его изготовления // 2114489

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при разработке и изготовлении малогабаритных полупроводниковых емкостных акселерометров

Способ создания монолитной интегральной свч схемы // 2130215

Изобретение относится к полупроводниковой электронике и может быть использовано при создании монолитных интегральных схем СВЧ и прежде всего схем миллиметрового диапазона длин волн, монтируемых в волноводный узел

Способ изготовления двусторонней печатной платы и двусторонняя печатная плата // 2138931

Изобретение относится к технологии изготовления печатных плат и их конструкции и может быть использовано в приборостроении, радиоэлектронике и других областях техники

Полупроводниковый газовый сенсор и способ его изготовления // 2143678

Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к технологии изготовления полупроводниковых структур, являющихся элементной базой функциональной микроэлектроники и может быть использовано в технологии изготовления интегральных газовых сенсоров с тонкими диэлектрическими мембранами (1-5 мкм)

Линия фотолитографии // 2201012

Изобретение относится к области микроэлектроники

Способ изготовления микромеханического инерциального чувствительного элемента емкостного типа // 2207658

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при изготовлении малогабаритных микромеханических датчиков: акселерометров, гироскопов и др

Способ формирования электропроводящих и/или полупроводниковых трехмерных структур, способ уничтожения этих структур и генератор/модулятор электрического поля для использования в способе формирования // 2210834

Изобретение относится к микроэлектронной технологии, а именно к технологии получения тонкопленочных электронных схем

Устройство для формирования рисунков // 2257603