Фотоэлектрический микроскоп для наведения на штрих объекта

 

О П И C А Н И Е 290l65

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Ссветсттнв

Сонналистичесттиз

Ресттуолик

Зависимое от авт. свидетельства №

МПК Ст 01b 9/04

УДК 535.854 (088.8) Заявлено 21.Х1.1968 (№ 1283960/25-28) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Комитет оо аелзм изобрвтеииА и стирытиА ори Совете Министров

СССР

Опубликовано 22.XI!1.1970. Бюллетень № 2 за 1971

Дата опубликования описания 12.П.1971

Авторы изобретения

Московский станкоинструментальный институт и Бктро""взаимозаменяемости Министерства станкостроения и инструментальной промышленности СССР

Заявители

ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МИКРОСКОП ДЛЧ НАВЕДЕНИЯ

НА ШТРИХ ОБЪЕКТА

Известны фотоэлектрические микроскопы для наведения на штрих объекта, например штриховой меры, содержащие источник света. оптическую систему для получения изобоажения штриха, позиционно чувствительный с1тотоприемник, на чувствительную поверхность которого проецируется изображение штриха объекта, и электронный блок обработки сигнала с фотоприемника.

С целью повышения точности наведения на штрих объекта в предлагаемом митст)остсопе оптическая система выполнена в виде микроинтерферометра, одним из зеркал котооого является сам объект со штрихом. а позиционно чувствительной фотоприемник установлен на выходе втикроинтерс1)ерометра. в плоскости локализации интерференционного изобра)кения штриха.

На чертеже показан предлагаемый фотоэлектрический микроскоп.

Фотоэлектрический микроскоп состоит из микроинтерферометра 1, представляющего собой двухлучевой интерферометр, одним из зеркал которого является штрих — объект 2.

Интерференционная картина, создаваемая микроинтерферометром, проецируется на рабочую поверхность позиционно чувствительного фотоприемника 8. В качестве фотоприемника используются фотоэлементы с продольным фотоэффектом. Фотоприемник включен в балансную электрическую схему, с выхода тсоторотт сигнал поступает в электронный блок 4 и далее ITа стрелочтп-.тй индикатор 5.

Наведетттте на штрих объекта IIpoHBBoiHTcII

СЛЕдтгтОПттт Хт О бра ЗОМ. ЕСЛИ Пр Оф ПЛЬ HI Tp Hi a и.теет ось симметрии. то его интерференционпое изображение пмсет вид полос с симметрпчнт.тми искривлениями. Тогда при совпадении осп симметрии искривлений с н левой лттнис.й с1тотопрттемтттттса сигнал на вт.т.соде ба:таттсной схе ттт станет равным н лю. Если простттт,чь ITITDII B и изображения по,чос, ем соответствчотттие. т сспммт TDH тHBT„Hvлевая литп Я CnB TCITIастСЯ С За ЛаННОй ХаРат<тЕРНОй то ткотт пттосттттлч. Момент сств тетттснття также оппе;е нется по и..левому вт.тходттсот напря)т. енито.

Предмет изобретения

20 &nTns e«TDH Te< I IIII микпоскоп для ттавеления на ттттоих объетста. напопмео штриховой тЕПтт. CDBCDæBITIHé ИСТОЧНИК СВЕта. ОПтИ тЕстс ю систем; для поч чения изобпажения штпиха. позипионно т вствительнътй сттотопртт25 емник, на чувствтттельнт ю поверхность которого ппоецттттуется изображение штриха объекта. и электпонный блок обработки сигнала с фотоприемника, отличпюппшся тем, что, с целью повышения точности наведения на

30 штрих объекта, оптическая система выполне290165

Составитель Л. Кениг

Редактор В. П. Новоселова Техред А. A. Камышиикова Корректор Л. А. Царькова

Изд. ¹ 135 Заказ 243/11 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4!5

Типография, пр. Сапунова, 2 на в виде микроинтерферометра, одним из зеркал которого является сам объект со штрихом, а позиционно чувствительный фотоприем4 ник установлен на выходе микроинтерферо. метра, в плоскости локализации интерференционного изображения штриха.

1

I !

«