Способ получения покрытий
О П И-C A Н И Е 307090
Согоэ Советских
Социалистических
Республик
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЪСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 06.1У.1970 (¹ 141992?/23-5) .ЧПК С 09d 3/82 с присоединением заявки ¹
Приоритет
Комитет по делам иэобретеиий и открытий при Совете Министров
СССР
Опубликовано 21.У1.1971. Бюллетень № 20
Дата опубликования описагшя ЗОХ111.1971
УДК 678.026.3 (088.8) Авторы изобретения T. T. Хакуринов, Л. М. Чудесова, Т. Н. Попкова, В. И. Бобылева, В. H. Воронина и Э. Я. Озол
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ
Изобретение относится к способу получения покрытий из кремнийорганических соединений на подложке.
Известен способ получения покрытий — тонких пленок па подложке — путем введения в зону тлеющего разряда паров силана SiH<, аммиака и подложки.
Получают покрытия с диэлектрической ироницаемостью 7 — 11.
Согласно предлагаемому способу с целью получения покрытий с повышенной диэлектрической проницаемостью в зону тлеющего разряда подают пары аминосилана общей формулы Я„Ь|(МК ;)<, где n=0 — 3, R — алкил, арил, К вЂ” алкил, в смеси с инертным газом.
В качестве инертного газа используют, например, аргон.
Общее давление в рабочей камере при постоянной откачке поддерживают напуском смеси силана и газа-носителя (аргона) в пределах 0,2 — 0,5 .чл рт. ст. Параметры разряда (напряжение и плотность тока) поддерживают такими, чтобы в зоне между электродами было видно равномерное свечение.
Пример. В зону разряда подают пары диметилбис-(диэтиламино)-силана в смеси с аргоном в объемном отношении 1: 1.
Общее давление поддерживают на уровне
0,23 лгхг рт. ст. Параметры разряда следующие: частота, гц 5000 плотность тока, ага/с.и- 1,42 напряжение, в 710 — -730.
Расстояние между электродами-подложками
5 12 — 13 игл. Пленки, полученные полимеризацией в тлеющем разряде при дапных условиях на стальных полированных подложках, имеют диэлектрическую постоянную 6 — 8,8; тангенс угла диэлектрических потерь 3,10
10 удельное объемное сопротивление 1-10 - ол с.и, пробивное напряжение 15 в. Толщина пленки при времени включения разряда 20 — 40 сек составляет 0,127 — 0,148 .ик,я.
Предмет изобретения
1. Способ получения покрытий из кремнийорганических соединений на подложке путем введения подложки и паров исходного кремнийорганического соединения в зону тлеющего
20 разряда, отличаюгиийся тем, что, с целью получения покрытий с повышенной диэлектрической проницаемостью, в качестве кремнийорганического соединения берут органоаминосиланы общей формулы
R, S i (NR2 ) „,„, где n=0 — 3, R — алкил, арил, R — алкил, в смеси с инертным газом.
2. Способ по п. 1, от.гичаюгцийся тем, что
30 в качестве инертного газа берут аргон.
