Устройство для зондового исследования пучков заряженных частиц

 

О П

ИЗОБРЕТЕНИЯ

307345

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 21.ill.1969 (№ 1316264/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 21. е 1.1971. Бюллетсиь № 20

Дата опубликования описания 7.Х.1971

МПК G 01г 19/00

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.384.6(088.8) Авторы изобретения А. В. Герасименко, В. Б. Фролов, В. В. Жаров и С. В. Андреев

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗОНДОВОГО ИССЛЕДОВАНИЯ

ПУЧКОВ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ

Изобретение относится к технике зондового измерения пучков заряженных частиц и может найти применение при разработке электронных приборов и контроле параметров пучков, используемых в технологических целях.

Целью изобретения является определение пульсаций плотности тока, например, в концентрированных электронных пучках, а также повышение точности и расширение области измерения их параметров с помощью электро- lo проводящего проволочного зонда, перемещаемого в направлении его оси в зоне измерений.

Это достигается тем, что зонд, имеющий большую длину, намотан на барабан в один ряд и переброшен на одном из витков через систему опор, направляющих его в зону измерений.

При вращении барабана зонд перемещается между направляющими опорами в направ- 20 лении своей оси, благодаря чему выделяющееся в нем при бомбардировке электронами тепло непрерывно уносится. В пучок вводятся все время новые, не нагретые участки зонда.

На чертеже показано предлагаемое устрой- 2s ство.

Оно включает электронный пучок 1, зонд 2, барабан 3, вал 4, винт 5, направляющие валы б, станину 7, электродвигатель 8, каретку 9, обрабатываемый материал 10 (экран), на- зо правляющие опоры 11, натяжной ролик 12 и изолирующую вставку 13.

Проволочный зонд 2 намотан в один ряд на барабан 3 и на одном из витков переброшен через направляющие опоры 11 и натяжной ролик 12. Все перечисленные элементы электрически изолированы от других частей устройства и соединены с прибором для измерения зондового тока. Барабан жестко прикреплен к валу 4, установленному в подшипниковых опорах каретки 9, и связан зубчатой передачей с электроприводом. Внутри вала 4 закреплена гайка, которой барабан соединяется с винтом 5. Направляющие валы б, по которым перемещается каретка, и винт 5 жестко связаны со станиной 7.

При вращении барабана зонд передвигается между направляющими опорами, где расположена зона измерений. Пройдя эту зону, зонд снова наматывается на тот же барабан, перемещающийся при своем вращении по винту относительно направляющих опор. Это обеспечивает равномерную намотку зонда, стабильность его движения в зоне исследований и увеличение точности измерения пучка.

С той же целью зонд натянут при помощи подпружиненного ролика 12, а направляющие опоры выполнены в виде роликов с клиновидными канавками, 307345

Составитель Е, Шульгин

Редактор 11. П. Корченко Тскред Л. Л. Евдонов Корректор А. П. Васильева

Заказ 2339!1 Изд. ¹ 981 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4,5

Типография, пр. Сапунова, 2

Чтобы пресечь зондом электронный пучок в заданном сечении, предлагаемое устройство устанавливают на движущийся стол электронно-лучевой машины, обеспечивающей перемещение зонда в плоскости исследования перпендикулярно его оси в зоне измерений, либо перемещают пучок относительно зонда посредством отклоняющей системы. При определении пульсации плотности тока в пучке движение зонда в этом направлении временно прекращают для проведения необходимых измерений.

При исследовании пучок направляют на образец 10 из обрабатываемого материала, установленный на заданном режимом (или конструкцией разрабатываемого прибора) расстоянии от электронно-лучевой трубки. При этом создается соответствие условий измерения условиям процесса, реально осуществляемого при помощи электронного пучка.

В образце, отделенном от элементов зондовой цепи изолирующей вставкой 18, для экра5 нировки устройства от воздействия вторичных электронов выполнен паз, в котором перемещается исследуемый пучок.

Предмет изобретения

10:: Устройство для зондового исследования пучков заряженных частиц, состоящее из электропроводящего проволочного зонда и системы его перемещения, от,гичающееся тем, что, с целью увеличения точности и диапазо15 на измерений и обеспечения их непрерывности, зонд выполнен в виде проволоки, намотанной на барабан в один ряд, и переброшен на одном из витков через систему опор.