Патент ссср 318808

 

|1 ;!

О П И=С", А Н И Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимо",. от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено O.V.1970 (№ 1441051/25-28) МПК G 01Ь 11/02 с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Оупблгткова но 28.Х.1971. Бюллетень № 32

Дата опубликования описастия 30.1Ч.1972

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 531.715(088.8) Авторы изобретения

А. И. Карташев и С. H. Ивашевский

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЪ|Х ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Изобретение относится к области приборостроения и может найти применение в машиностроении, метрологии и в других областях, связанных с точным измерением длин.

Известно устройство для измерения малых перемещений, содержащее двухлучевой интерферометр Майкельсона, имеющий источник света — лампу накаливания, и зеркало, жестко связанное с подвижным измерительным стержнем. Недостатком известного устройства является наличие ошибок, связанных с визуальной оценкой смещения ахроматической полосы, что приводит к снижению точности измерения, а также невысокая производительность.

Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что, с целью повышения производительности и точности измерения, в качестве источника света интерферометра применена электроннолучевая трубка, а устройство снабжено фотоэлектрическим приемником, на который проецируется световой поток, выходящий из интерферометра, и блоком регистрации, связанным с фотоэлектрическим приемником и отклоняющими пластинами электроннолучевой трубки.

На чертеже изображена принципиальная схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит двухлучевой интерферометр, имеющий источник света — электроннолучевую трубку 1, неподвижное зеркало 2, подвижное зеркало 3, связанное с измерительным стержнем 4, разделительную и компенсирующую пластины 5, объектив б, проектирующий световое пятно с экрана трубки 1 через пластины 5 на зеркала 2 и 3, объектив 7, фотоприемник 8, на который объектив 7 проецирует световой поток, блок регистрации 9.

l0 Предлагаемое работает следующим образом.

Источником света является сфокусированное светящееся пятно на экране трубки 1.

Объектив б проецирует световое пятно через

15 пластины 5 на поверхности зеркал 2 и 8. Благодаря этому из всего интерференционного поля образуется только та часть, которая засвечивается этим пятном. Подвижное зеркало

8 укреплено на измерительном стержне 4 и

2О вместе с ним может перемещаться вдоль оси стержня. Объектив 7 собирает световой поток на фотоприемник 8. Устройство работает в сходящихся пучках и отъюстировано так, что из всей интерференционной картины высвечивается только та часть, которая соответствует краю ахроматической полосы. При перемещении стержня 4 происходит изменение положспия ахроматической полосы, что вызывает изменение сигнала на выходе фотоприемника 8.

Сигнал подается через усилитель на отклоняю318808

Предмет изобретения

Составитель Л. Лобзова

Техред Л. Евдонов

Редактор К. Шанаурова

Корректор Е. Усова

Заказ 2363 Изд. ¹ 1507 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва,,Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография Главмосстроя щие пластины трубки 1 и фактически является сигналом обратной связи, так как смещает световое пятно на экране трубки до тех пор, пока не наступает равновесие между изменением освещенности, вызванным смещением ахроматической полосы, и изменением положения изображения пятна в проекционной системе. Таким образом, световой поток, попадающий на фотоприемник 8, остается неизменным по величине. Величина напряжения сигнала обратной связи соответствует смещению ахроматической полосы. Измерение величины напряжения выполняется с высокой точностью регистрирующим устройством, например потенциометром, что позволяет произвести относительное измерение длины с повышенной точностью. Указанное устройство позволяет выполнять автоматические измерения длин методом сравнения с образцовыми деталями.

Устройство для измерения малых перемещений, содержащее двухлучевой интерферометр Майкельсона, имеющий источник света и зеркало, жестко связанное с подвижным измеIp рительным стержнем, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и точности измерения, в качестве источника света интерферометра применена электроннолучевая трубка, а устройство снабжено фотоэлек16 трическим приемником, на который проецируется световой поток, выходящий из интерферометра, и блоком регистрации, связанным с фотоэлектрическим приемником и отклоняющими пластинами электроннолучевой трубки.