Способ изготовления пьезопреобразователей
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советснлл
Социалистическна
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 23Х11.1969 (№ 1350101/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 04.XI.1971. Бюллетень № 34
Дата опубликования описания 12.1.1972
МПК Н 04r 31/00
Комитет по делам иаооретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.383.811(088.8) Авторы изобретения Я. А. Обуховский, Л. А. Сысоев, М. Ш. Файнер и В. Б. Гайсинский
3 аявитель
@ QKh3HA
БИБ!тИ
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ
Изобретение относится к технологии производства элементов радиоаппаратуры и может быть использовано при изготовлении пьезопреобразователей.
Известен способ изготовления пьезопреобразователей, основанный на создании высокоомного диффузионного слоя на поверхности низкоомных монокристаллов сульфида кадмия путем фотохимического осаждения пленок металла.
Недостаток пьезопреобразователей, изготовленных известным способом, состоит в плохой воспроизводимости их характеристик.
Целью изобретения является получение стабильных характеристик пьезопреобразователей.
Для этого по предлагаемому способу на ориентированные низкоомные пластинки или столбики сульфида кадмия наносят дозированное количество металла-акцептора или его сульфида из растворов солей меди, серебра, лития.
Способ состоит в следующем.
Ориентированные низкоомные пластинки или столбики сульфида кадмия погружают в
0,5 — 5%-ный водный раствор сернокислой меди или азотнокислого серебра и выдерживают на солнечном свете или облучают ультрафиолетовыми лучами. Дозированное нанесение меди или серебра регулируется временем облучения.
После фотохимического осаждения пленки меди или серебра пластинки промывают дп5 стиллированпой водой и высушивают, а затем помещают в печь и выдерживают (в случае осаждения меди) при температуре
350 — 500 С в течение 1 — 10 иин или (в случае осаждения серебра) при температуре 400—
10 650 С в течение 0,5 — 10 иин. После остывания на пластинках выполняют электрические коптакты и определяют параметры пьезопреобразователя.
Металлический литий или его сульфид
15 нельзя осаждать на поверхность сульфида кадмия из водорастворимых солей, поэтому используется насыщенный р аствор хлористого лития в этиловом эфире или другом органическом растворителе. Термообработка пла20 стин производится при температуре 750—
850 С в течение 0,5 — 5 вин.
В результате технологической обработки па поверхности и в глубине низкоомного монокристалла сульфида кадмия образуется в до25 зированном количестве акцепторная примесь в виде металла или сульфида металла, т, е создается высокоомный диффузионный слой в объеме низкоомного кристалла, являющегося пьезопреобразователем. Дозированное вве30 дение акцепторной примеси способствует до320952
Предмет изобретения
Составитель Г. Челей
Техред Л. Евдонов
Корректоры: Н. Шевченко и T. Бабакина
Редактор T. Орловская
Заказ 3927/12 Изд. № 1706 Тираж 473 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Я(-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 стияению стабильных во времени и воспроизводимых характеристик пьезопреобразователя.
Способ изготовления пьезопреобразователей, основанный на создании высокоомного диффузионного слоя на поверхности низкоомных монокристаллов сульфида кадмия путем фотохимического осаждения пленок металла, отличающийся тем, что, с целью получения стабильных характеристик преобразователей, 5 на ориентированные низкоомные пластинки или столбики сульфида кадмия наносят дозированное количество металла-акцептора или его сульфида из растворов солей меди, серебра, лития.
