Способ изготовления подложки сурьмяио-щелочного фотокатода
32I877
О П И СА Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 20. I I I.1970 (№ 1418761/26-25) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет
Опубликовано 19.XI.1971. Бюллетень ¹ 35
Дата опублш<овапня описания 31.1.1972
МПК Н 0lj 31/50
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УД1(621.383.535 (088.8) Авторы изооретения
И. Н. Зайдель и И. Г. Твердохлеб
Московский завод электровакуумных приборов
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОДЛО)ККИ
СУРЪМЯНО-ЩЕЛОЧНОГО ФОТОКАТОДА
Изобретение относится к электровакуумной технике, а именно к способам изготовления фотоэлектронных приборов.
При изготовлении фотоэлектронного прибора, например ЭОП, ФЭУ, передающей трубки, с входом, выполненным из стекловолоконного диска, служащего подложкой полупрозрачного сурьмяно-щелочного фотокатода и содержащего компоненты (например, окись свинца), взаимодействующие с парами щелочных металлов, необходимо наносить на подложку защитный слой, устраняющий это взаимодействие.
Известен способ изготовления подложки, заключающийся в нанесении на подложку пленки двуокиси кремния методами термического или катодното распыления, Однако методы распыления технологически сложны, особенно при защите подложек большого размера и сложной формы, и не дают возможности получить оплошную стекловидную пленку, что приводит к частичному взаимодействию щелочных металлов с материалом подложки и к снижению чувствительности фотокатода.
Предлагаемый способ изготовления подложки:полупрозрачного сурьмяно-щелочного фотокатода с нанесением защитного слоя отличается тем, что на поверхность подложки после ее промывки и сушки известным способом (обливом, пульверизацией, кисточкой, перлами и т. д.) наносят один или нескольких тонких слоев растворимого силиката щелочного металла с обязательной сушкой и прогревом каждого слоя. Это позволяет, повысить
5 надежность защиты. Сплошная пленка образуется на подложке только в случае очень малой толщины нанесенного жидкого слоя (меньше 1 як), В случае сушки и прокалки более толстого жидкого слоя образуется пори10 стая пленка,,проницаемая для паров щелочных металлов, Защитная пленка является гигроскопичной, однако для предохранения ее от влаги воздуха достаточны обычные меры предосторожно15 сти, Небольшое количество влаги, поглощенной из воздуха, удаляется прогревом, например, в вакууме при темпер атуре 380 — 450 С в процессе обезгаживания собрансного электровакуумного прибора. В вакууме пленка
20 остается стабильной, Образующаяся стекловидная прозрачная пленка, состоящая из нескольких слоев, не взаимодействует с парами щелочных металлов и надежно защищает материал подложки от
25 взаимодействия с ними. Термическая стойкость пленки определяется ее составом. Например для пленки состава КсО - 4SiO> температура плавления равна 765 С. Полная толщи на пленки составляет от десятых долей микрона
30 до нескольких микрон и зависит от концентра321877
Предмет изобретения
Составитель Я, Герчиков
Редактор Н. Корченко Текред А. Камышникова Корректор Н, Рождественская
Заказ 3948/10 Изд .№ 1755 Тираж 473 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, г,р, Сапунова, 2 цни и модуля силиката, вязкости раствора и кратности нанесения слоев. Кроме того, силикатная пленка, нанесенная одним или несколькими слоями на стекловолоконный диск, в котором имеются микрорасслоения, надежно 5 герметпзирует его.
Фотоэлектронный прибор, герметичныйприбор с высокоэффективным фотокатодом может быть изготовлен, на пример, при однократном обливе стекловолоконного диска, в котором содержится окись свинца, 20%-ным водным раствором силиката .калия состава
КзО 4SiO> с последующей сушкой на воздухе в течение около омин при температуре 80 С и прокалкой на воздуке или в вакууме при температуре не ниже 300 С.
Способ изготовления подложки сурьмянощелочного фотокатода, включающий нанесенные на внутреннюю поверкность подложки защитного слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности защиты, защитный слой наносят из водного раствора силиката щелочного металла.
