Способ очистки поверхности металлических пленок

Авторы патента:

B05D3 - Предварительная обработка поверхностей для нанесения на них жидкостей или других текучих материалов; последующая обработка нанесенных покрытий, например промежуточная обработка нанесенного покрытия, осуществляемая перед последующим нанесением жидкостей или других текучих веществ на поверхность (последовательное нанесение жидкостей или других текучих веществ B05D 1/36; сушильные печи F26B)

322420 и е

ТЕНИЯ

Союз Саеетских

Социалистическик

Республик

ИДИ П ДЬ СТВУ льства №

М. Кл. С 23с 13, 02

377840. 26-9) ¹

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министрое

СССР

УДК 62! .9.416(088.8) Бюллетень № 36 ния 9.11.1972

Авторы изобретения

И. Д. Войтович, А. С. Полищук и В. Н. Сосницкий

Институт кибернетики АН Украинской ССР

Заявитель

СПОСОБ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК

Изобретение относится к области вычислительной техники и криогенной электроники и, в частности, может быть использовано при изготовлении пленочных криотронных устройств.

Основной недостаток известного способа в том, что для обеспечения надежного сверхпроводящего контакта необходима большая площадь соприкосновения пленок, это увеличивает размеры схемы, Цель изобретения вЂ” гарантирование надежного сверхпроводящего контакта на малой площади. Для этого окислы и загрязнения снимают бомбардировкой пленки ионами инертного газа в тлеющем разряде.

Предлагаемый способ очистки поверхности металлических пленок поясняется чертежом.

Подложку 1 с подвергшейся фотолитографированию нижней металлической пленкой и изоляцией помещают в вакуумную камеру 2.

Подложку прикрепляют к охлаждаемому держателю 8. В испаритель 4 загружают исходный материал для следующей пленки. Перед напылением последней удаляют загрязнения и окислы с предыдущей пленки, бомбардируя ее ионами инертного газа в тлеющем разряде. Для этого вакуумная камера оснащена электродами, которые выполнены из плохо распыляемых материалов, иначе пленка будет загрязняться материалом электродов.

Анод 5 представляет собой диск с отверстием, которое не должно ограничивать диаграмму направленности испарителя. Катодом служит держатель 8 подложки.

Держатель сделан так, что существует надежный электрический контакт между ним и очищаемой пленкой. Для того, чтобы заряды не скапливались на подложке и эффективно шла очистка, пленка обязана быть катодом, 10 поэтому полученный на подложке рисунок не должен содержать участков, не связанных с катодом. Если по схеме такие участки необходимы, то предусматривают временные связи их с выводными контактами. При фотолп15 тографировании следующего слоя эти связи вытравливают. Перед очисткой вакуумную камеру 2 обезгаживают и откачивают диффузионным насосом с азотной ловушкой до максимального вакуума (10 вЂ” мм рт. ст.). Затем

20 промывают инертным газом и снова откачивают до предельного вакуума. Тщательная предварительная очистка вакуумной установки необходима для того, чтобы избавиться от водорода, азота, углерода и, особенно, кисло25 рода, иначе вместо очистки на поверхности пленки будет происходить образование гидридов, нитридов, карбидов и окислов металлов.

После обезгаживания, промывки и откачки в камеру подают инертный газ. При давле30 нии (5 вЂ” 1) 10 вЂ” лтм рт. ст. зажигают разряд

322420

Составитель Л. Рубинчик

Техред Л. Богданова Корректор 3. Тарасова

Редактор Л. Речицкий

Заказ 124/9 Изд. № 1780 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Пленки в тлеющем разряде обрабатывают с интервалами, так как низкотемпературные пленки свинца и олова нагреваются в разряде и интенсивно испаряются, иногда полностью. В результате плохой теплопроводности стеклянной подложки 1 охлаждение держателя 8 жидким азотом не предотвращает испарения. Кроме того, в перерывах происходит стекание зарядов с изоляционных пленок, накопленных за время бомбардировки.

Режим бомбардировки пленки ионами инертного газа подбирают так, что за время обработки происходит снятие верхнего слоя пленки на толщину несколькО десятков ангстрем. Таким образом, удаляют окислы и загрязнения и нХ очищенную поверхность напыляют следующий слой.

Предмет изобретения

Способ очистки поверхности металлических пленок посредством бомбардировки ионами инертного газа, отличающийся тем, что, с

lo целью обеспечения надежного сверхпроводящего контакта на малой площади, бомбардировку производят в постоянном тлеющем разряде.

Способ радиационной сушки лакокрасочныхпокрытий // 315886

Способ нанесения на трубы покрытия из порошкообразного материала // 305087

Устройство для охлаждения труб с полимернымпокрытием // 300355

Способ отделки полиграфической продукции // 299135

Патент 291079 // 291079

Способ отделки изделий из древесины // 289951

Способ отделки изделий из древесины // 279379

Патент 274715 // 274715

Способ получения полиэфирных отделочных покрытий на древесине // 259661

Способ изготовления защитных и декоративных покрытий // 2101096

Способы обработки изделия, способ обработки поверхности изделия и изделие, имеющее защитный материал // 2106916

Изобретение относится к технологическим процессам и способам обеспечения защиты металлических и деревянных поверхностей, в частности к способам и технологическим процессам, при исполнении которых создаются или абсорбируются защитные материалы на указанных выше поверхностях, чтобы обеспечить защиту от воздействия абразивного истирания, коррозии, тепла и огня

Способ нанесения полифторуглеродного покрытия на режущий край лезвия бритвы и покрытый полифторуглеродом режущий край лезвия бритвы // 2107556

Изобретение относится к способу нанесения полифторуглеродного покрытия на режущий край лезвия бритвы путем покрытия края лезвия водной дисперсией полифторуглерода, а также к покрытому полифторуглеродом режущему краю лезвия бритвы

Способ художественно-декоративной модификации поверхностей изделий // 2111126

Изобретение относится к производству товаров народного потребления, в частности к технологическим процессам художественно-декоративной модификации поверхностей изделий

Способ получения алмазоподобных покрытий // 2111292

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для создания изолирующих, защитных и маскирующих покрытий, а также в других областях техники для создания механически прочных и износостойких покрытий

Способ нанесения декоративного покрытия на кухонную посуду // 2112605

Изобретение относится к способу нанесения декоративного покрытия на основе фторуглеродного полимера и цветного пигмента на часть одной стороны металлической кухонной посуды

Способ получения легированных алмазоподобных покрытий // 2118206

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для создания проводящих покрытий с уникальными механическими и термическими свойствами, высокой устойчивостью к химическим, электрохимическим воздействиям и воздействию окружающей среды, а также в других областях техники для создания механически прочных, износостойких и химически стойких функциональных и защитных покрытий

Способ очистки и защиты твердых поверхностей (его варианты), устройство и материалы для его осуществления // 2118917

Изобретение относится к области строительства и может быть использовано, например, в качестве способов очистки и защиты твердых поверхностей, устройства и материалов для его осуществления

Способ изготовления бритвенного лезвия с покрытием из полимерного материала // 2119425

Изобретение относится к производству бритвенных лезвий, а точнее - к производству бритвенных лезвий с покрытием из полимерного материала, нанесенного на поверхность их кромок