Столик микроскопа
ОПИСАНИЙ
ИЗОЬЕЕТ ЕНИЯ
322750
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
М. Кл. G 02b 21/26
Заявлено 16Л1!.1970 (№ 1415084/18-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 30.Х1.1971. Бюллетень ¹ 36
Дата опубликования описания 9.II.1972
Комитет ао делам изобретений и открытий ори Совете Министров
СССР
УДК 535.823.6(088.8) Авторы изобретения
И. М. Долинский и Г. А. Матвеева
Заявитель
СТОЛИК МИКРОСКОПА
Изобретение относится к приборостроению и может быть ис пользовано, например в измерительных приборах, микроскопах или микроманипуляторах, для точного совмещения фотошаблонов при изготовлении микроэлектронных схем на полупроводникоBbIx пластинках методом фотолитографии .с двухсторонним экспонированием.
Известны столики микроскопа, содержащие привод, кинематически связанный с основанием, установленным на вертикальной напра вляющей корпуса микроскопа.
Предлагаемый столик отличается от известных тем, что направляющая вертикального перемещения выполнена в виде сильфона, одним торцом укрепленного в корпусе микроскопа, а другим жестко связанного,с подпружиненным основанием, опирающимся через шариковые опоры на ведомое звено привода.
Такие отличия позволяют уменьшить поперечные смещения и развороты основания при его вертикальном перемещении.
На чертеже изображен вариант конструкции предлагаемого столика. Функции ведомого звена привода выполняет пластина 1, жестко связанная с ползуном 2 вертикальных направляющих 8 обычной конструкции, например шариковых. На пластине 1 по окружности под углом 120 один к другому установлены три шарика 4. К шарика м цилиндрическими пружинами 5, шарнирно присоединенными на основании б корпуса микроскопа, прижи5 мают основание столика. В центре основания
7 жестко закреплен конец вертикального сильфона 8, нижний конец сильфона закреплен на основании б. Ползун 2 взаимодействует с ведущими элементами механизма (схематично
10 изображены на чертеже в виде рычага 9).
Механизм работает следующим образом.
Рычаг 9 сообщает промежуточному звену (ползуну 2 с пластиной 1) вертикальное пе15 ремещение, которое через, шарики 4 передается основанию 7. Сильфон 8 удерживает основание 7 от поперечных смещений и разворотов вокруг вертикальной оси ;при движении пластины 1 вдоль на правляющих. Благо20 даря тому, что основание 7 покоится на шариках, поперечные перемещения пластины i и ее развороты не воздействуют на основание столика, так как сила трения качения не в состоянии преодолеть силы упругости сильфо25 на 8, удерживающего основание IB |строго ориентированном,положении в пространстве, позволяя ему перемещаться прямолинейно вдоль вертикальной оси за счет упругих деформаций сильфона, возникающих при перемещении пла30 стины 1 вдоль своих направляющих 8, 322È0
С оста витель Г. А итви и
Техред Л. Богданова
Корректор E. Усовй
Редактор Р. Киселева
Заказ 1)G/12 Изд. № 1773 Тираж 473 Подписное
Ц)11)ИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, )К-35. Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Возможны и другие конструктивные варианты столика. В частности, пружины 5 могут быть заменены другими известными элементамп для осуществления силового замыкания, в некоторых случаях весом, ведомого звена или установленных на нем элементов. Вместо ползуна 2, взаимодействующего с вертикальными направляющими 3, в качестве промежуточного звена может быть использован клин, перемещающийся по поверхности второго, неподвижного клина; сильфон может быть установлен нс под ведомым звеном, а над ним.
Предмет изобретений
Столик микроскопа, содержащий привод, кинематически связанный с основанием, установленным на вертикальной направляющей корпуса микроскопа, отли1чпюш, шся тем, что, с целью уменьшения поперечных смещений и разворота основания при его вертикальном перемещении, HBIIlpBBJIBIolll,àÿ вертикального перемещения выполнена в виде сильфона, одним торцом укрепленного в корпусе микроскопа, а другим жестко связанного с подпружиненным основанием, опирающимся через шариковые опоры на ведомое звено привода.
