Библиотека ,

 

344354

О П И С А Н И Е

ИЗОЬЕВтИНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сома Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства № 245515

Заявлено 01 IX.1970 (№ 1476058/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 07.VII.1972. Бюллетень ¹ 21

Дата опубликования описания 25.VII.1972

М. Кл. G 01р 1/00

Комитет по делам иаббретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.793.12:681. .118.4(088.8) Авторы изобретения

В. В. Устинов, О. П. Синалеев и C. М. Мустафин

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ НАНЕСЕНИЯ

ПЛЕНОК

Изобретение относится к области технологии.

Известно устройство для измерения скорости нанесения пленок по авт. св. № 245515.

Это устройство имеет сложную конструкцию, недостаточно высокую точность и надежность.

В предлагаемом устройстве с целью упрощения конструкции, повышения точности и надежноости работы датчик выполнен двухсекционным; при этом каждая секция снабжена коллектором ионного тока, размещенным концентрично относительно общего анода-модулятора.

На чертеже схематически изображен предлагаемый датчик.

Датчик состоит из прямонакального катода 1, ток эмиссии которого поддерживается стабилизатором 2 постоянным. Вокруг катода, являющегося осью коаксиальной системы, помещена спиральная цилиндрическая сеткаанод 3, к которой подключены источники 4 постоянного и модулирующего переменного напряжения. На определенном расстоянии от анода помещены два коллектора 5 и б в совокупности своей образующие поверхность полого цилиндра. Переменное электрическое поле между катодом 1 и анодом 8 модулирует электронный поток. В зависимости от знака полуволны переменного напряжения на аноде

8 анодный ток изменяет свою величину от нуля до максимума.

В момент времени, когда анодный ток не равен нулю, часть электронов пролетает через спиральный анод 8, в пространство между анодом 8 и коллекторами 5 и б. Это пространство с помощью экранов 7 разделено на две равных секции 8 и 9. Каждая нз секций содержит один из коллекторов.

10 Например, в положительную полуволну напряжения, приложенного между катодом 1 и анодом 8, электроны, эмитированные катодом, под воздействием поля будут двигаться к аноду. Часть их, пролетев анод по инерции, 15 будет снова возвращена полем к аноду и таким образом электроны совершают колебательное движение в пространстве секций.

В отрицательный полупериод поле препятствует движению электронов в направлении

20 анода и анодный ток прекращается.

Совершая колебательное движение в секциях 8 и 9, электроны производят ионизацию.

Коллекторы 5 и б соединены со входом дифференциального усилителя 16, к выходу кото25 рого подключен регистрирующий прибор 11.

Секция 8 закрыта от потока молекул испаряемого вещества, в то время как в секцию 9 этот поток проникает. Таким образом, в секции 8 находятся молекулы только остаЗ0 точных газов, а в секции 9 — молекулы как

344354

Составитель А. Горбачев

Техред Т. Ускова

Корректор Е. Зимина

Редактор Е. Гончар

Заказ 2277/11 Изд. № 956 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 остаточных газов, так и испаряемого материала.

В положительную полуволну напряжения, в результате неупругих соударений электронов, пронизывающих секцию 8, с молекулами остаточных газов в этой секции образуются положительные ионы, которые собираются коллектором б. В то же время электроны, пронизывающие секцию 9, вызывают ионизацию молекул как остаточных газов, так и испаряемого материала. Положительные ионы, полученные в результате этого, будут собраны коллектором 5.

В отрицательную полуволну напряжения ионизация отсутствует.

Следствием описанного процесса является .«,.появление переменного тока во входной цепи дифференциального усилителя 10. При этом, поскольку коллектор 5 подключен к одной из клемм симметричного входа усилителя, а коллектор б — к другой, то ток на входе усилителя будет представлять разность между суммарным током, обусловленным ионизацией остаточных газов и испаряемого материала в цепи коллектора 5, и током, обусловленным ионизацией только остаточных газов в цепи коллектора б.

Это положение можно выразить следующим равенством

1 х. — (Io.г. + I».ì) 1о.г.

5 где 1„— результирующий ток на входе усилителя, I,,— переменная составляющая ионного тока, вызванная ионизацией молекул остаточных газов, 10 1„„— переменная составляющая ионного тока, вызванная ионизацией молекул испаряемого материала.

Таким образом, напряжение на входе электронного усилителя 10 представляет собой

15 разностный сигнал, в котором исключена составляющая напряжения, обусловленная ионизацией остаточных газов.

Предмет изобретения

Устройство для измерения скорости нанесения пленок по авт. св. № 245515, отличаюи ееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения точности и надежНости работы, датчик выполнен двухсекционным, каждая секция которого снабжена коллектором ионного тока, размещенными концентрично относительно общего анода-модулятора.