Датчик температуры•:ут~нд

Авторы патента:

В. Ф. Карманов, А. В. Сандулова, А. И. Кривоносов, И. А. Кругликов,

G01K7/22 - с резисторами, имеющими нелинейную характеристику, например с терморезисторами (G01K 7/26 имеет преимущество)

347594

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскнл

Социалистнческик

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 04.111.1970 (№ 1407445/18-10) М. Кл. G 01k 7/22 с присоединением заявки №

Приоритет

Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров

СССР

Опубликовано 10.VI I I.1972. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 04.IX.1972

УДК 536.531(088.8) Авторы изобретения В. Ф. Карманов, А. В. Сандулова, А. И. Кривоносов, И. А. Кругликов, И. П. Богоявленская и Э. А. Спичак

Заявитель Опытно-экспериментальный школьный завод

ДАТЧИК ТЕМПЕРАТУРЫ

Изобретение относится к тепловым измерениям.

Известные приборы для измерения температуры, содержащие поликристаллические полупроводниковые чувствительные элементы на основе окислов, характеризуются недостаточными чувствительностью, воспроизводимостью, стабильностью, точностью и ограниченным температурным диапазоном.

Предлагаемый датчик не имеет этих недостатков и отличается от известных тем, что его чувствительный элемент выполнен в виде монокристалла кремния нитевидной и игольчатой формы с концентрацией примесей 3 10>звЂ”

5 10т ато»к/ с.»з.

Монокристаллические иглы и нити кремния получают по методу газотранспортных реакций (крпсталлизацией из газовой фазы с помощью компонента вЂ” растворителя) . Этот метод позволяет получить монокристаллы кремния более высокой чистоты по сравнению с исходным материалом, и в зависимости от технологических условий монокристаллы кремния различных диаметров и длин. Монокристаллы

«рсмния, полученные этим методом, имеют форму правильного шестигранника, обладают зеркальной поверхностью, лишенной поверхпостных дефектов, и не требуют дополнительной механической обработки.

Малые габариты датчика (база 2 вЂ” 10 .и,», диаметр 40 вЂ” 100 ли») улучшают динамические

5 свойства датчика. Эти датчики отличаются высоким сопротивлением (от 500 опт до 10 ко.»), концентрация примесей при этом соответственно будет равна 3. 10тз вЂ” 5 10т атом/с,»т.

Область рабочих температур составляет

10 вЂ 1 вЂ” +600 С, чувствительность вЂ” примерно в пределах О,б вЂ” бп п на градус. Допустимые токи для кремния 0,1 вЂ” 1,0 з»а.

Принципиально возможно получение монокристаллпчсскнх нитей диаметром до 1 .»и. т5 Сопротивление прибора может составлять несколько десят!.ОВ килоом и оолее.

П редм ет изобретения

Датчик температуры, содержащий полупро20 водниковый термочувствительный элемент н выводы, orëè÷oþùèéñÿ тем, что, с целью повышения чувствительности, воспроизводимости, стабильности, точности, а также с целью расширения температурного диапазона, термо25 чувствительный элемент датчика выполнен в виде монокристалла кремния нитевидной и игольчатой формы с концентрацией примесей

3 10» вЂ” 5 ° 10тз атом(с.»>.

Устройство для измерения разности темнератур // 342083

Способ изготовления кварцевого резонатора датчиков температуры // 340910

Способ определения приращения температуры // 336538

Чувствительный элемент датчика температуры // 336537

Устройство для измерения неэлектрических величин // 324510

Всесоюзная :л» rvntfjip^'^t^-;''?'- , ".[! !:,-:li.ishtb i'- .ns....^ .- .: ;>&][ ?йь;;ис7?:нд | // 321700

Устройство для измерения и регулирования температуры // 311151

Датчик температуры // 302624

Устройство для измерения и ре1 /лирования температуры // 300784

Датчик температуры // 2112938

Изобретение относится к устройствам для измерения температуры, а именно температуры поверхности, и может использоваться в качестве датчика температуры для измерения нагрева поверхности двигателя внутреннего сгорания

Интегральный преобразователь деформации и температуры // 2115897

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при разработке малогабаритных полупроводниковых высокочувствительных преобразователей деформации и температур

Способ терморезистивного измерения температуры // 2198384

Изобретение относится к методам электрических измерений температуры

Способ определения температуры полупроводниковым терморезистором // 2249798

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерению температур

Способ измерения температуры и устройство для его осуществления // 2255313

Изобретение относится к электрическим схемам включения с терморезистором, имеющим отрицательный температурный коэффициент

Компенсационный способ измерения температуры // 2257553

Изобретение относится к медицинской технике и может быть использовано для измерения температуры тела человека

Способ определения температуры полупроводниковым терморезистором // 2269102

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерению температуры различных объектов и сред

Способ итерационного терморезистивного измерения температуры // 2324155

Изобретение относится к медицинской технике, в частности - к методам измерения температуры, и направлено на повышение быстродействия измерения температуры

Способ итерационного терморезистивного измерения температуры // 2326354

Изобретение относится к медицинской технике, в частности к методам измерения температуры, и направлено на повышение быстродействия измерения температуры

Термостат с дискретными полупроводниковыми термоэлектрическими преобразователями // 2368877

Изобретение относится к устройствам статирования температуры