Способ дозирования диффузанта

Авторы патента:

G01F11/28 - с неподвижными измерительными камерами, имеющими постоянный объем в процессе измерения (с измерительными камерами, объем которых изменяется в процессе измерения G01F 11/02)

357479

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 09.Ч1.1971 (№ 1670618/18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 31.Х.1972. Бюллетень № 33

Дата опубликования описания 26.XII.1972

М. Кл. G 01f 11/28

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 681.121.08 (088.8) Авторы изобретения

Г. Г, Афанасьев, В. Д. Иванов, Б. В, Ремизов, Г. В. Сонов и Э. П. Сосина

3 аявитель

СПОСОБ ДОЗИРОВАНИЯ ДИФФУЗАНТА

Изобретение относится к технике дозирования количества диффузанта в его парах, получаемых в процессе его диффузии из жидкого диффузанта, в частности в полупроводниковой промышленности.

Известны способы дозирования диффузанта при диффузии, например, бора и фосфора из 3KH+KHx источников ВВгз, РС1з и РОС1з путем регулирования расхода газоносителя, проходящего через объем с жидким диффузантом, или дозирование ордоранта, путем регулирования температуры его насыщенных паров, полученных пропусканием газоносителя через объем жидкого ордоранта при повышенной температуре. Эти способы не позволяют достаточно просто осуществить точное дозирование диффузанта..По предлагаемому способу для упрощения процесса при сохранении точности дозирования регулируют количество диффузанта изменением площади поверхности испарения и

5 подбирают расход газоносителя из условия полного захвата им диффузанта из испарителя.

Предмет изобретения

10 Способ дозирования диффузанта, основанный на переносе его паров газоносителем, проходящим через испаритель, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса при сохранении точности дозирования, регулируют

15 количество диффузанта изменением площади поверхности испарения и подбирают расход газоносителя из условия полного захвата им диффузанта из испарителя.

Похожие патенты:

Дозатор жидкости // 351084

Устройство для дозирования суспензий // 324499

Дозатор жидкости•,;;:-уя•;_ча // 315044

Всесоюзная iпат^ // 310119

Воесогозная hatei'tilo- , "l:.':..;:ra-: библиотека j^a^ // 290175

Устройство для непрерывного дозирования жидкости // 288328

Дозатор индикаторной жидкости // 269562

Устройство для объемного дозирования // 263509

Счетчик молока // 261813

Устройство для мерного розлива жидкотекучихсред // 252173

Способ дозирования топлива, устройство для его осуществления, способ дозирования текучих сред и устройство для его осуществления // 2102619

Изобретение относится к управлению скорости подачи топлива в двигатель внутреннего сгорания, предпочтительно непосредственным впрыскиванием

Расходомер-дозатор ао "конверсия" // 2117259

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для дозирования жидкости и регистрации количества доз

Объемный дозатор для мучнистых продуктов // 2186344

Изобретение относится к устройствам для непрерывного дозирования порошкообразных и мелкозернистых сыпучих продуктов

Устройство для объемного порционного дозирования // 2215268

Изобретение относится к средствам дозирования и может быть использовано для объемного порционного дозирования легкого сыпучего материала, в частности вспученного перлита

Дозатор гомогенной парогазовой смеси // 2227903

Изобретение относится к средствам для образования паровой и парогазовой смеси, используемой при высокотемпературной обработке изделий в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем

Дозатор гомогенной парогазовой смеси // 2314499

Дозатор для жидкости и способ привода его в действие // 2054630

Изобретение относится к санитарной технике и может быть использовано для автоматического полива огородных культур с заданным интервалом времени; для точного дозирования жидкости, без ее перелива; для смыва унитазов в туалетах общественного пользования и т.п

Устройство контроля уровня жидкости // 2074388

Изобретение относится к средствам контроля уровня и может быть использовано, например, в сельском хозяйстве, а именно в тепличном хозяйстве, гидропонике, а также машиностроении и т.д

Устройство для дозирования жидкости // 2084835

Изобретение относится к области дозирование материалов, в частности, к устройствам объемного дозирования жидкости и может быть использовано в технологических линиях по производству строительных материалов, например, керамзитопенобетонных стеновых блоков и других изделий

Устройство для измерения количества жидкости // 2004956