Способ определения предельной растворимости примеси в твердой фазе
360596
О П И СА Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Сазетскнк
Социалистннзских
Ре".птблнк
Зависимое от авт, свидетельства М
Заявлено 14. IX.1970 (№ 1474645/26-25) с присоединением заявки М
Приоритет
Опубликовано 28.XI.1972. Бюллетень Хе 36
Дата опубликования описания 17.1.1973
N. Кл. G 01п 25/14
Комитет по делам изобретений и открытий при Соьате Мннистраз
CCCr
УДК 621.039.337(088.8) ;БИБЛИО 1
Авторы изобретения
В. Н. Лозовский, В. П. Попов, И. П. Папков и В. Н. Вигдорович
Заявитель Новочеркасский ордена Трудового Красного Знамени политехнический институт им. Серго Орджоникидзе
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРЕДЕЛЬНОЙ РАСТВОРИМОСТИ
ПРИМЕСИ В ТВЕРДОЙ ФАЗЕ
Изобретение относится к способам определения предельной растворимости примеси в твердой фазе, в особенности la полупро вод никовых кристаллах.
Известен способ определения растворимости примеси в твердой фазе с помощью метода зонной плавки с градиентом температуры.
По такому способу концентрацию примеси в равномерно легированном образце определяют электрическими, оптическими и другими методами. Чувствительность прямых методов определения концентрации примеси ограничена величиной концентрации примеси около зе атом
10" . Использование косвенных методов а из обычно позволяет определять только ту часть примеси, которая активна для данного метода; последнее объясняется политролией растворимости примеси.
Цель изобретения — разработка абсолютного способа определения предельной растворимости примеси, введенной в твердую фазу методом движущегося растворителя, который обладал бы высокой точностью к примесям различного рода.
Предлагаемый способ определения растворимости примеси в твердой фазе заключается в следующем. жидкую зону с известным начальным количеством легирующего элемента перемещают под действием градиента температуры в исследуемом веществе на такое расстояние, чтобы значительная часть легирующего элемента израсходовалась на легирова5 ние перекристаллизованных слоев. Затем с помощью простых геометрических измерений определяют массу закристаллизовавшейся зоны и объем перекристаллизованной части вещества и вычисляют предельную раствори10 мость примеси, для чего фотографируют шлиф образца. Масса закристаллизовавшейся эвтекбики пропорциональна ее геометрическим размерам, следовательно, ее можно определить по размерам и весу этой части снимка.
15 На чертеже представлена схема, иллюстрирующая предлагаемый способ.
Предельную растворимость примеси определяют следующим образом. После проведения легирования образца методом зонной пла20 вки получают кристалл с фиксированным положением зоны 1. Объем 2 части кристалла, подвергнутой легированию, определяют после травления шлифа образца и его фотографирования. Искомую предельную растворимость
25 определяют по формуле: тМ -= А.V " где т — масса легирующего компонента, из30 расходованная на легирование;
360596
Составитель Ю. Шумов
Техред Л. Богданова Корректор В. Жолудева
Редактор А. Батыгнн
Заказ 4338/1 Изд. № 1842 Тираж 406 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7К-35, Ргушская наб., д. 4J5
Типография, пр. Сапунова, 2
А — атомный вес элемента, растворимость которого исследуется, г;
N — число Авогадро;
V — объем части кристалла, подвергнутой легированию.
Предмет изобретения
Способ определения предельной растворимости примеси в твердой фазе, отличающийся тем, что, с целью ускорения измерений, на поверхность исследуемого вещества помещают образец примеси, расплавляют его, перемещают в исследуемой среде на определенное
5 расстояние, делают поперечный шлиф образца, по которому определяют перекристаллизованный объем и массу вещества, израсходованного на легирование этого объема.
