Устройство для определения парциального состава газов в вакуумной камере

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Сента Советских

Социалистических

Республич

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 22.Х11.1970 (№ 1604750, 23-26) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 07.Х11.1972. Бюллетень . тв 1 за 1973

Дата опубликования описания 13.II.1973

Ч. Кл. 6 01п 27,У62

Комитет по делам изобретений н отнрытир прн Совете Министров

СССР

УДК 621.384.8.08 (088.8) Авторы изобретения В. О, Токарев, И. И. Розе«цвейг, А. Л. Кемурджиан, Л. О. Вайсфельд, A. В. Мицкевич, Л. A. Кузиниц и В. И. Егоров

Заявитель

Всесоюзный научно-исследовательский институт транспортного машиностроения

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНОГО

СОСТАВА ГАЗОВ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в химической промышленности.

Известно устройство для определения парциального состава газов в вакуумной камере, содержащее рабочую вакуумную камеру, соединеттную через дроссельный вентиль с промежуточной вакуумной камерой, имеющей омегатроннь и анализатор.

Извсст«ое устройство не позволяет получать данные о парциальном составе газов, находящп: ся пр«давлениях от атмосферного да

10 — с лтл рт. ст.

С целью уст ранения указанных недостатков объем рабочей вакуумной камеры и внутрен«яя поверхность промежуточной вакуумной камеры выбраны такими, чтобы их отношение

V удозлет >op«;Io условию — >!61 слт, где V— объем рабочей вакуумной камеры в смз, S—

ia. утренняя поверхность промежуточной вакуумной камеры |в сл, I- а чертеже представлено предлагаемое устройство, общий вид.

Устройство состоит из прогреваемой промежуточной вакуумной камеры 1, омегатронного анализатора 2, прогреваемого дроссельного вентиля 8, вакуумных ламп 4, рабочей вакуумной камеры 5, вакуумного откачного агрегата б, вакуумного насоса 7 и прогреваемого вентиля 8.

Камера .! герметично соединяется с венти",åì 8 и с омегатранным анализатором 2. Собранный узел соединяется с рабочей вакуумной камерой 5, которая стыкуется с вакуумным откачным агрегатом б. Вакуумная камера 1, на которой устанавливаются BHK) x ì«ûe лампы 1, соединяется также с прогреваемым вентилем 8 и с вакуумным насосом 7. Объем камеры l выбирается, исходя из производитель«асти вакуумного насоса 7, размеров соедппнтельньтх элементов и омегатронного анализатора 2. После герметизации камеры 5 при

=,àêðûòîì вентиле 8 камера 1 откачивается вакуумным насосам 7 до глубокого вакулы, 20 например, 10 " лтлт рт. ст. Затем после обезгажнвания измеряют парциальный состав газов в этой камере. Открывается вентиль 8, производится напуск газов в камеру 1 до получения вакуума, например, 10 — ллт рт. ст., н амегатронным анализатором 2 измеряют парциальный состав газов. По абсолютной разнице парцпального состава газов между двумя измерениями определяется парцпальный состав —.азов в рабочей вакуумной камере 5 прн ивлетп1и, например, 760 лм рт. ст.

361437

Предмет изобретения

Составитель 10. Шульпяков

Текред T. Миронова Корректоры Л. Чуркина и А. Васильева

Редактор Е. Левина

Заказ 737/6 Изд. ¹ 2 Тираж 404 Подписное

БНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. <Патент».

Устройство для определения парциального состава газов в вакуумной камере, содержащее рабочую вакуумную камеру, соединенную через дроссельный вентиль с промежуточной вакуумной камерой, имеющей омегатронный анализатор, отличающееся тем, что, с целью получения данных парциального состава газа при давлениях от атмосферного до 10 †о ия рт. ст., объем рабочей вакуумной камеры и внутренняя поверхность промежуточной вакуумной камеры выбраны такими, чтобы их отV

5 ношение удовлетворяло условию: — - 161 ся.

S где " — — объем рабочей вакуумной камеры в с.из; S — внутренняя поверхность промежуточной вакуумной камеры в см .