Союзная
37I550
О П И СА Н И Е изоьеитиния
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Соеетскиз
Социалистическик
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
М. Кл. G 02Ь 5/28
Заявлено 15.Х.1971 (№ 1705915/18-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министрое
СССР
Опубликовано 22 11.1973, Бюллетень ¹ 12
Дата опубликования описания 10.IV.1973
УДК 535.345.67 (088.8) Авторы изобретения
Л. Б. Кацнельсон и Ш. A. Фурман
Заявитель
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЪ| СЛОЕВ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ
ОПТИЧЕСКОГО ПОКРЪП ИЯ
Известны способы кон гроля толщины слоев при изготовлении оптического покрытия, заключающиеся в определении пропускания подложки с наносимыми на нее интерференционными слоями, По предложенному способу в процессе нанесения предпоследнего слоя фиксируют при заданной длине волны максимальное ср акс и минимальное «p„», значения величины, пропорциональной пропусканию системы: покрытие — наносимый слой, и по полученному отНОШЕНИЮ (Риакс./арион. ВЫЧИСЛЯЮТ ГРС, ПрИ ДОстижении которого заканчивают напыление предпоследнего слоя, а затем наносят последний слой до получения максимального пропускания.
Такой контроль позволяет получить интерференционное покрытие с коэффициентом пропускания, близким к 100% для заданной длины волны.
Контроль осуществляют в процессе нанесения слоев на подложку путем термического испарения веществ в глубоком вакууме. С помощью фотометрического устройства определяют пропускание в монохроматическом свете подложки с наносимыми на нее интерференционными слоями. О толщине слоя судят по известной зависимости коэффициента пропускания от оптической толщины.
После того как нанесены все слои, кроме двух последних, и спектральные характеристики покрытия в зоне низкого пропускания оказываются сформированными, фотометрическое устройство настраивают на заданную длину волны Хс и напыляют предпоследний слой. В процессе осаждения слоя фиксируют максиМаЛЬНОЕ ГРмакс И МИНИМаЛЬНОЕ Гомик ЗнаЧЕНИЯ величины, получаемой на отсчетном устройстве фотометрического устройства. Эта вели10 чина пропорциональна коэффициенту пропусканиЯ Т (Xp) . ЗнаЯ Отношение Я макс./(амин., Вы чпсляют, при каком показании барр отсчетного устройства следует прекратить напыление предпоследнего слоя, чтобы вносимая им раз15 ность фаз между интерферпрующими лучами, отражающимися от его границ, была кратна
2л. Такому условию соответствует равенство
+,+4 P.=2K-., /;=0, 1,2..., где А1и Л вЂ” сдвиги фазы электрического вектора при отражении от границ предпоследнего слоя луча, иду25 щего из слоя; и — показатель преломления слоя;
dp — толщина готового слоя;
/(— порядок интерференции.
В формуле (1) величина Л, представляет
30 собой сдвиг фаз прп отражении от уже гото371550
Предмет изобретения (1 — r) (2)
1 -> 1, r — 2:r cos Л, Составитель С. Степанова
Корректор И. Божко
Техред Е. Борисова
Редактор T. Рыбалова
Заказ 933j13 Изд. М 1220 Тираж 551 Подписное
ЦНИИПИ Ко»итета по делам изобретений и открытий пои Совете Министров СССР
Мол ва, 7К-35, Раугиская иаб., д. 4/5
Типография, нр. Сапунова, 2 вого последнего слоя. Этот слой осаждают до достижения максимального пропускания при заданной длине волны.
Величину сро вычисляют по формуле где р и r — амплитудные коэффициенты отражения для лучей, падающих из предпоследнего слоя на границы с интерференционной системой, состоящей из подложки с нанесенными на нее слоями, предшествующими предпоследнему (р), и с вакуумом камеры, в кото1т — 1 рой происходит напыление (r), r=
n+1
Величину Л определяют, зная коэффициент. р = f (/»ансЛ/»ин,) отр ажения и показатели преломления веществ, образующих последний и предпоследний слои.
Способ контроля толщины слоев при изготовлении оптического покрытия, например, спектроделителя, заключающийся в определении пропускания подложки с наносимыми на нее интерференционными слоями, отличаюи1ийся тем, что, с целью получения коэффициента пропускания, близкого к 100о/о для заданной длины волны, фиксируют при этой длине волны в процессе нанесения предпо-, следнего слоя максимальное гр„а„ и минимальное гр»нн значения величины, пропорциональной пропусканию системы покрытие— наносимый слой, и по полученному отношению ср»а„./гр»в вычисляют значение грв, при достижении которого заканчивают напыление предпоследнего слоя, а затем наносят последний слой до получения максимального пропуска20 ни я.
