Устройство для испарения металлов

 

ОПИСАНИ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

1! — gJ

375323

Союз Советских

Социвлистичвских

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. С 23с 13/12

Заявлено 14.V.1969 (№ 1330061/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 23Л!!.1973. Бюллетень ¹ 16

Дата опубликования описания 20Л I.1973

Комитет по лелем изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Авторы изобретения Л. Н. Линник, К. И. Лобачев и Н. Н. Линник

Заявитель Всесоюзный научно-исследовательский и экспериментальный институт по переработке химических волокон

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ МЕТАЛЛОВ

Qi — теплопотери в единицу времени в зоне плавления металла, Яг — теплопотери в единицу времени в зоне испарения металла, с1 — удельная теплоемкость металла, где:

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известно устройство для испарения металлов, содержащее тигель с распла вленным металлом и трансформатор, первичная обмотка которого соединена с,источником питания, а вторичной я|вляется расплавленный металл.

В таком устройстве невозможно обеспечить высокую производительность процесса испарения металлов; при работе устройства велики теплопотери.

Целью данного изобретения является создание устройства, в котором возможно повышение производительности процесса испарения и уменьшение теплопотерь.

Эта цель достигается тем, что тигель имеет переменное сечение, площадь которого Si под металлизируемым материалом меньше по сравнению с площадью сечения Sp с противоположной стороны в соответствии с соотношением:

1 Qi

S2 q2 + С Ш(Т1 Т ) + c2m т — количество металла, поступающего в зону испарения в единицу времени, Ti и Т2 — соответственно тем пературы

5 кипения и плавления металла, c2 — теплота испарения металла.

Н а чертеже представлено устройство, общий |вид.

Устройство состоит из тигля 1 с распла в1р ленным металлом 2 и трансформатора 8, первичная обмотка 4 которого соединена с источником питания 5, а вторичной является расплавленный металл 2. Тигель имеет переменное сечение, площадь которого S< под

15 металлизируемым материалом б меньше по сравнению с площадью сечения S2 с противоположной стороны (см. приведенное соотношение площадей) .

Тигель, прямоугольной или другой формы, 20 из электропроводного или диэлектрического материала, имеет отверстие 7 под металлизируемым материалом б. Пары металлов проходят сквозь отверстие и оседают на металлизируемом материале, облегающем направ25 ляющий барабан 8. При подаче тока от источника 5 в первичную обмотку 4 трансформатора 8 металл плавится и распределяется как жидкость по всему тиглю. При дальнейшем увеличении тока в зоне испарения тиг30 ля под металлизирувмым материалом за счет

375323

Предмет изобретения где:

25

Составитель И. Резник

Техред 3. Тараненко

Корректор Е. Сапунова

Редактор Е. Шепелева

Заказ 1712/2 Изд. № 1445 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 повышения электросопротивления при уменьшении площади сечения тигля происходит интенсивный разогрев .и испарение металла. На место испарившегося металла по закону сообща ющихся сосудов поступают новые порции расплавленного металла.

Уменьшение площади поперечного сечения тигля под металлизируемым материалом по сравнению с площадью сечения с противо положной стороны в соответствии с приведенным соотношением приводит к тому, что электрическая мощность, затрачиваемая на испарение, подводится не ко всему металлу, находящемуся при температуре плавления, а только к части его в зоне испарения под металлизируемым материалом. В связи с этим экономно расходуется подводимая энергия и повышается производительность работы испарительного устройства. Нахождение большей части металла в тигле при температуре плавления обеспечивает малую величину теплопотерь.

Для одновременного испарения нескольких видов металлов тигель может быть разделен перегородками, параллельными боковым стенкам, на секции, заполняемые металлами, подлежащими испарению.

Устройство для иапарения металлов, содержащее тигель с расплавленным металлом и трансформатор, первичная обмотка которого соединена с исто пшком питания, а вторичной является расплавленный металл, отличаюи1ееся тем, что, с целью повышения производитель IOcTH процесса испарения и уменьшения тепло потерь, тигель имеет переменное сечение, площадь которого SI под металлизируемым материалом меньше IIQ сравнению с площадью сечения 5з с противоположной стороны в соответствии с соотношением:

S Q

> г Q, + c>m(T> — Тг) + с,m

Q i — теплопотери в единицу времени в зоне плавления металла, Q2 — теплопотери в единицу времени в зоне испарения металла, cI — удельная теплоемкость металла, т — количество металла, поступающего в зону испарения в един,ицу времени, Т,,и Т вЂ” соопветственно тем|пературы кипения и плавления металла, сз — теплота испарения металла.

Устройство для испарения металлов Устройство для испарения металлов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме
Наверх