Устройство для ориентированной резки монокристаллов

 

О П И С А Н И Е 376235

ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Саиз Советских

Сопиалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства Xп

Заявлено 14.I V.1971 (аде 1658285/29-33) с присоединением заявки М

Приоритет

Опубликовано 05.1V.1973. Бюллетень Kе 17

Дата опубликования описания 17.VII.1973

М. Кл. В 28d 5/02

Комитет по делам иэопретеиий и открытий при Совете Мииистрав

СССР

УДК 679.89.002.5 (088.8) Авторы изобретения А. Ю. Малинин, Ю. М, Украинский, Б. Н. Ушков, И. П. Коровин, В. В. Ермаков и В. П. Сверлов

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТИРОВАННОЙ РЕЗКИ

МОНОКРИ СТАЛЛОВ

Изобретение может быть использовано на предприятиях, занимающихся производством полупроводниковых структур или приборов и схем на их основе.

Известно устройство для ориентированной резки монокристаллов, содержащее основание, поворотный кронштейн со шкалой и держатель слитка.

Текстолитовая оправка предназначена для приклейки слитка и крепится в неподвижном гнезде одного из кронштейнов.

Однако такое устройство не может широко использоваться в промышленном производстве интегральных схем на структурах со «скрытым» слоем, ввиду отсутствия фиксированного поворота слитка на 90 С, что не позволяет производить резку слитка по двум взаимноперпендикулярным направлениям без дополнительной операции — переклейки слитка.

Кроме того, у этого устройства при ориентированной резке за счет введения дополнительной операции (переклейка слитка) снижается производительность. А в связи с большим числом контрольных резов при введении необходимых поправок для получения заданной точности ориентации происходит большой расход дорогостоящего материала.

Цель изобретения — обеспечить резку слитка по двум взаимно-перпендикулярным направлениям при сокращении времени обработки и уменьшить расход монокристаллов.

Это достигается тем, что держатель слитка

Б смонтирован с возможностью поворота его на

90 и фиксации с помощью фиксатора в вырезах кронштейна, который соединен с основанием посредством оси.

Сущность изобретения поясняется черте10 жом, Устройство имеет основание 1, поворотный кронштейн 2, держатель 8 слитка, стопорные винты 4, фиксатор 5 и ось б.

Поворотный кронштейн и основание имеют

1S шкалу с конусом для отсчета углов поворота пилы в диапазоне 1-10 С точностью 10 ман.

Поворот и закрепление кронштейна в требуемом положении производится стопорными винтами 4.

20 Держатель 8 слитка А состоит из спутника и поворотного основания. Спутник изготовлен из текстолита и предназначен для наклейки слитка. Он закрепляется на поворотном основании винтами. Поворотное основание имеет

25 ось для подвижного соединения с кронштейном 2 и вырезы под фиксатор б, обеспечивающие поворот слитка на 90 с точностью

+-10 мин вокруг оси Y — У. Закрепление поворотного основания в фиксированном положе30 нии производится гайкой.

376235

ЦНИИПИ

Заказ 2150/1 Чзд. ¹ 462 Тираж 676 Подписное

Типография, п р. Сапунова, 2

Предлагаемое устройство позволяет производить на стандартных станках с внутренней режущей кромкой резку монокристаллов на пластины, ориентированные по двум взаимноперпендикулярным направлениям с точностью 30 мия, и с минимальными потерями материала и времени.

Порядок выполнения операций на станке с устройством для ориентированной резки монокристаллов следующий.

Сначала проводят предварительную ориентацию слитка на рентгеновском дифрактометре с нахождением направления резки (плоскость). Затем режут слиток по базовой плоскости и проверяют ориентацию контрольного среза по отрезанной пластине. Далее корректируют положение слитка разворотом вокруг осей У вЂ” У и Z — Z и разрезают его по базовой плоскости в направлении с заданной точностью.

После этого слиток с держателем 8 разворачивают вокруг оси У вЂ” У на 90 и поворачивают его вокруг оси Х вЂ” Х для установки плоскости базового среза перпендикулярно плоскости пилы.

Затем поворачивают слиток вокруг оси

Z — Z на угол, равный углу корректировки, и устанавливают плоскость пластины реза параллельно плоскости пилы.

Определяют точность ориентации слитка в

Направлении по отрезанной пластине и вводят необходимые поправки в ориентацию слитка поворотом его вокруг осей Z — Z u

У вЂ” У.

Проводят разориентацию слитка в направлении с точностью +30 мин вращением вокруг оси Z — Z и режут его на пластины.

1О Число контрольных резов при использовании устройства для ориентированной резки сокращается (до 1 —:2) и не зависит от квалификации оператора.

Предмет изобретения

Устройство для ориентированной резки монокристаллов, содержащее основание, пово20 ротный кронштейн со шкалой и держатель слитка, отличающееся тем, что, с целью обеспечения резки слитка по двум взаимно-перпендикулярным направлениям при сокращении времени обработки и уменьшения расхода

25 монокристаллов, держатель слитка смонтирован с возможностью поворота его на 90 и фиксации с помощью фиксатора в вырезах кронштейна, который соединен с основанием посредством оси.