Патент ссср 390200

Авторы патента:

Г. В. Лагуткин , М. М. Шуберт

C23C14/50 - держатели подложек

39Î2ÎÎ

O n H C Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 08;Ц;-.1971 (№ 1618653 22-1) с присоединением заявки №вЂ”

ПриоритетвЂ”

М. Кл. С 23с 13, 08

Гасударственный комитет

Саввта Министрав СССР па делам изааретений и аткрытий

Опубликовано 11.VII.1973. Бюллетень № 30

Дата опубликования описания З.ХП.1973

УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Авторы изобретения

Г. В. Лагуткин и М. М. Шуберт

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВКИ ПОДЛОЖКИ

В ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКЕ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть применено для транспортировки подложки в вакуумной установке, Известно устройство для транспортировки подложки в вакуумной установке, содержащее поижим-фиксатор, в качестве которого используют пружины различной конструкции, что не обеспечивает регулирования усилия фиксации.

Целью изобретения является регулирование усилия фиксации. Это достигается тем, что прижим-фиксатор выполнен в виде, рычага, на котором посредством, винта подвижно укреплен груз.

На чертеже показано предлагаемое устройство.

Устройство состоит из прижима-фиксатора, выполненного в виде рычага 1, на котором посредством винта 2 подвижно укреплен пруз 8, а также, корпуса 4, в который устанавливается подложка 5. На корпусе расположен кронштейн б, в котором,на оси 7 монтируется рычаг 1. Один, конец рычага воздействует на толкатель 8, снабженный прижимом 9. Рычаг поворачивается вокруг оси 10.

Устройство работает следующим образом.

5 Движением груза 8 вверх толкатель 8 перемещается в правое положение, и подложка

5 устанавливается в гнезде корпуса 4. Затем груз 8 опускается и подводит прижим 9 к граням подложки 5; благодаря оси 10 положение подложки фиксируется. Регулировка усилия фиксации осуществляется перемещением груза 8 при помощи винта 2, перемещаемого относительно оси 7, Предмет изобретения

Устройство для транспортировки подложки в вакуумной установке, содержащее прижим20 фиксатор, отличающееся тем, что, с целью регулирования усилия фиксации, прижим-фиксатор выполнен в виде рычага, на котором посредством винта подвижно укреплен груз.

390200

Составитель Л. Анисимова

Техред E. Борисова

Редактор Н. Корченко

Корректор E. Миронова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3206/15 Изд. № 1749 Тираж 826 Подписное

IIHHHHH Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Похожие патенты:

1вдтентно-текшпег:чет.? // 382772

Устройство для непрерывной л\еталлизации цилиндрических оснований резисторов // 382770

Устройство для охлаждения гибких подложек // 380750

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 374388

Нагреватель подложек для вакуумных установок // 373330

Устройство для транспортировки и смены подложек в вакуумных установках // 370279

Устройство для нанесения ферромагнитных пленок // 365395

Всесоюзну»я пдтеш1^{]..--?«!^!;г^г'о} // 362073

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 351931

Графитовый нагреватель подложек // 347367

Устройство перемещения подложкодержателя // 2115764

Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме и направлено на снижение неравномерности толщины пленки

Левитирующее транспортное устройство для перемещения изделий внутри вакуумного объема // 2198241

Изобретение относится к вспомогательным устройствам, входящим в технологический комплекс для нанесения покрытий при производстве изделий электронной техники

Установка для нанесения покрытий // 2213159

Изобретение относится к области аппаратурного оформления технологий нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Устройство для нанесения покрытия на бутылки и транспортирующий орган для бутылок // 2259315

Изобретение относится к устройству для нанесения покрытия на бутылки и к транспортирующему средству для них

Способ нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали и устройство для его реализации (варианты) // 2450086

Изобретение относится к способу нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности деталей и устройству для его реализации

Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках // 2075136

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме

Устройство для нанесения диэлектрических покрытий на внутреннюю поверхность подложек полусферической формы // 2087587

Система охлаждения подложек в вакууме // 2089662

Изобретение относится к области технологической обработки подложек в вакууме, а более конкретно к устройствам для охлаждения подложек в вакууме

Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке // 2020190

Устройство для электронно-лучевой обработки изделий // 2023746

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для электронно-лучевых процессов обработки, в том числе полировки, изделий оптики и микроэлектроники