1вдтентно-текшпег:чет.?

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сома Советскик

Содиалнстикесккх

Республик мил, Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 24.|Х.1971 (№ 1699796/22-1) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 23.V.1973. Бюллетень ¹ 23

Дата опубликования описаш я 14Л П1.1973

;М. Кл. С 23с 15/00

Номитет по делам наобретеиий н открытий прн Совете Министров

СССР

УДК 621.793.12.06 (088.8) Авторы изобретения

К. А. Рамазанов, В. В. Воронцова, В. А. Гендин и H. П. Гусева

Ордена Ленина красногорский механический завод

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАТОДНОГО РАСПЪ|ЛЕНИЯ

Изобретение относится .к области нанесения покрытий в вакууме и может быть применено для нанесения тонкопленочных покрытий методом катодного распыления.

Известно устройство для катодного распыления, содержащее вакуумную |камеру, внутри которой укреплены подвижные катоды и лодложкодержатель, и механизм перемещения.

Однако в известном устройстве подложкодержатель монтирован непод вижно, что не позволяет наносить покрытия на оое стороны подложки в,од|ном процессе.

Цель изобретения — нанесение покрытий на обе стороны подложечки в одном процессе.

Это достигается,тем, что подложкодержатель выполнен в виде оправ, соединенных между собой скобами, связанными с механизмом .перемещения.

На чертеже представлено предлагаемое устрой|ство, общий вид.

Устройство состоит из вакуумной камеры (на чертеже не показана), внутри которой укреплены подвижные катоды 1, 2 и подложкодержатель, выполненный в виде двух металлических оправ 8, 4, представляющих собой круглые диски с посадочными местами для подложек. Оправы соединены скобами 5. Поворот подложкодержателя производится с помощью механизма, состоящего из шестерен б и 7, одна из которых монтирована на оси 8, а другая — на оси 9, соединенной с вращающимся шлифом и механизмом вращения (HB чертеже не показаны). Вакуумная камера ставится на металлическую плиту 10, соединенную с откачной системой. На плите монтировано раопылительное устройство. Высота каждой .из оправив примерно на 0,5 лтм меньше

10 половины толщины покрываемой детали. В ,одну из оправ помещается подложка, а другая ответная опра ва ставится сверху и соединяется с помощью .скоб 5, соединенных с осями 8, вставленными в пазы стоек 11. Катоды

15 шарнирно соединены со .стойками 12 и подьемными механизмами 18 (на чертеже катоды ,1, 2 показаны в нерабочем положении). При таком положении катодов производится поворот подложкодержателя с подложками для

2О нанесения покрытий на вторую поверхность.

Подготовленная к покрытию подложка помещается в одну .из оправ 8, 4. Затем сверху ставится ответная оправа и обе оправы скреп25 ляются скобами 5, и полученная таким об разом единая оправа одевается íà ось 8. После этого к одной из поверхностей детали, обращенной к катоду, подводится кремниевый катод или поочередно танталовый и кремниеЗО вый в зависимости от требуемого покрытня.

382772

Предмет изобретения

Л 5 8 яр

Составитель Л. Анисимова

Текред T. Курилко

Редактор Л. Лаврова

Корректор С. Сатагулова

Заказ 428/1267 Изд. Х е 585 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-З5, Раушская наб., д, 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

После чего наносится требуемое покрытие па эту сторону. Далее катоды 1, 2 ставятся в нерабочее положение и производится поворот оправы с подложками с помощью механизма вращения для нанесения покрытия на вторую сторону. Затем также как и при нанесении покрытия на первую сторону подводится катод (или поочередно катоды) и производится нанесение покрытия на вторую сторону. Этим процесс за канчивается, а готовая дета 7b с двусторонним покрытием снимается.

Ъ стройство для катодного распыления, содержащее вакуумную камеру, внутри которой укреплены подвижные катоды и подложкодержатель, и механизм перемещения, оТ.ãèчаюигееся тем, что, с целью нанесения покрытий на оое поверкност:t подложки в одном процессе, подложкодержатель,выполнен в ви10 де оправ, соединенных между собой скобами, связанными с механизмом перемещения.