Патент ссср 410348
AR i .
ОП ИСА НИ Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
4I0348
Союз Советских
Социалистимеских
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
М. Кл. G Olt 1/36
Заявлено 18.1.1972 (№ 1740745/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 05,1.1974. Бюллетень № 1
Дата опубликования описания 6Х.1974
Гасударственный комитет
Совета Министров СССР ао делам изобретений и открытий
УДК 621.384.6(088.8) Автор изобретения
К. А. Макаров
Заявитель
АНАЛИЗАТОР ЭНЕРГИИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ
Известны анализаторы энергии заряженных частиц, в которых частицы проходят вначале область тормозящего поля и затем входят в диспергирующий элемент с энергиями, уменьшенными на одну и ту же величину. В подобных устройствах собственно анализатор по энергии (диспергирующий элемент), основанный, например, на принципе отклонения заряженных частиц в электростатическом или магнитном поперечном поле, работает при значительно меньшей энергии заряженных частиц по сравнению с начальной. Это привод ит к повышению дисперсии анализатора по энергии, что позволяет значительно повысить общее разрешение или светосилу анализатора без увеличения его габаритов. Кроме того, появляется возможность сделать постоянной (не зависящей от энергии анализируемых частиц) абсолютную разрешающую способность анализатора в большом диапазоне начальных энергий частиц, Цель изобретения — повышение эффективности подавания вторичных электронов на выходе анализатора без использования дополнительной диафрагмы и дополнительных источников питания.
Предлагаемый анализатор отличается тем, что его выходная диафрагма установлена в области действия отклоняющего поля внутри диспергирующего элемента, На чертеже показана конструкция анализатора со схемой подачи напряжений на электроды.
Тормозящее поле в области 1 перед д испергирующим элементом и ускоряющее поле в области 2 за диспергирующим элементом образуются между двумя электродами 3 и 4. В качестве тормозящего и ускоряющего электростатических полей в областях 1 и 2 соот10 ветственно может быть использовано, например, однородное поле между двумя сетками или поле иммерсионной линзы между двумя диафрагмами с круглыми отверстиями. Диспергирующим элементом может служить, на15 пример, цилиндрический конденсатор, образованный пластинами 5 и 6 с центральным углом 180, как показано на чертеже. Выходная щелевая диафрагма 7 установлена внутри диспергирующего элемента в области минималь20 ной сферической аберрации и максимальной дисперсии анализатора по энергии. Напряжение на пластины 5 и 6 подается от источника напряжения 8 с концов делителя напряжения, составленного из двух одинаковых резисторов
25 9. Средняя точка делителя, с которой соединены электрически электрод 4, входная 10 и выходная 7 диафрагмы диспергирующего элемента, находится под напряжением относительно земли, равным разности напряжений
30 высоковольтного выпрямителя 11 и регулируе410348
4 105 6
Составитель Л. Биллим
Техред 3. Тараненко
Редактор Б. Федотов
Корректор Н. Торкина
Заказ 1275!3 Изд. № 357 Тираж 678 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 мого источника напряжения 12. С конца 13 высоковольтного выпрямителя 11 напряжение поддается на высоковольтную часть источника заряженных частиц. Электрод 3 находится под потенциалом земли. На чертеже полярность включения напряжений от источников
8, 11 и 12 указана для случая работы с отрицательными ионами или электронами.
Подлежащие анализу или сепарации по энергии заряженные частицы в пучке 14 входят в тормозящее поле между электродами 3 и 4 в область 1. Вследствие торможения в поле энергия каждой частицы, достигающей диафрагмы 10, уменьшается на величину, которая соответствует разности потенциалов между электродами 3 и 4. Из заряженных частиц, прошедших через диафрагму 10, по центральной траектории между пластинами 5 и 6 проходят частицы с энергией, определяемой геометрией анализатора и разностью потенциалов между пластинами. В области 15 анализатора происходит дополнительный поворот до 180 частиц, прошедших через выходную диафрагму 10, благодаря чему подавляются выбитые из стенок и диафрагмы анализатора вторичные электроны. B области 2 ускоряющего поля прошедший через анализатор моноэнергетический пучок заряженных частиц ускоряется до первоначальной энергии и поступает затем на коллектор 16, находящийся под потенциалом земли. Ток в цепи коллектора может быть усилен усилительным устройством
17 и записан в функции от энергии самопишущим устройством 18 при синхронном измене10 нии напряжения от источника 12. Анализатор настраивают на прохождение по центральной траектории анализируемых заряженных частиц с энергией, большей энергии вторичных электронов.
Предмет изобретения
Анализатор энергии заряженных частиц, содержащий систему из двух электродов, диспергирующий элемент и выходную диафрагму, 20 отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности подавления вторичных электронов на выходе анализатора, выходная диафрагма установлена внутри диспергирующего элемента, в области действия отклоняю25 щего поля.
