Устройство для нанесения полупроводникового слоя на аноды оксиднополупроводниковых конденсаторов

 

Т Всесоюзная

®атентио-т;=.:,,:,... )ур . ф

О ее И . А Н И Е

Союз Советских

Социалистических республик (11) 452044

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 03 .. 07,72(21) 1805174/26-9 (51) М. Кл. Н Ol g 13/00 с присоединением заявки ¹â€”

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР по делам иэооретений и открытий (32) Приоритет

Опубликовано 30.11.74, Бюллетень № 44

Дата опубликования описания 08 04.75 (53) УДК 621.319,4.002, .5 (088.8 (72) Авторы изобретения

А. В. Беспалов, В. С. Пиголицын и Е. Г. Шварцман (71) Заявитель (54} УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО

СЛОЯ НА АНОДЫ ОКСИДНО -ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

КОНДЕНСАТОРОВ

Изобретение относится к области производства радиодеталей.

Известны устройства для нанесения полупроводникового слоя на аноды оксидно-Полупроводниковых конденсаторов, содержащие основание с направляющими, на котором расположены. ванны дли подформовки анодов, ванны промывки, камеры подсушки,ванны пропитки анодов, печи пиролиэа, верти-. кальный замкнутый двухручьевый цепной транспортер с закрепленными в его звень ях штангами, снабженными подвесками для закрепления решеток с анодами ввиде штэков, снабженных роликовыми опорами, механизм вертикального перемещения подвесок, механизм вращения подвесок, снабженный расположенными на штоках звездочками, взаимодействующими с цепными переда чами, приводйой механизм и пульт управления.

Известные устройства имеют низкуюпро изводительность и не обеспечивают постоянства технологического режима, что отрицательно сказывается на качестве изделий.

Белью изобретения ивляетса повышение производительности работы устройства и качества изготавливаемых иэделий.

Это достигается тем, иго предлагаемое устройство снабжено расположенными на выходе подвесок из ванн пропитки механизмом поворота подвесок в вертикальнойплоскости, выполненным в виде зубчатых реек, соединенных с автономным приводным механизмом и снабженных упорными элементами, а каждая иэ подвесок транспортера снабжена корпусом, служащим для ее размещения, который шарнирно соединен со штангой транспортера, и подпружиненным рычагом, на свободном конце которого закреплена одна иэ роликовых опор, взаимодействующая с одним из упорных лементов механизма поворота подвесок, причем втоpas роликовая опора каждой подвески, размещенная на ее корпусе, взаимодействует с одной иэ направляющих основания, распо ложенных вдоль печей пиролиза, вдоль которых также размещены цепные передачи р5 механизма вращения подвесок.

452044

На фиг, 1 изображена структурная схема предлагаемого устройства дпя. нанесения полупроводникового споя на аноды оксидно-полулроводниковых конденсаторов; на фпг, 2 — вид по стрелке А на фиг. 1; на фиг. 3 — сечение по Б-Б на фиг. 2

Предлагаемое устройство содержит установленные попарно на основании 1 по ходу технологического процесса ванны 2 дпя подформовки анодов, ванны 3 промывки,камеры 4 подсушки, ванны 5 пропитки и печи

6 пиропиза, объединенные посредством вертикапьного замкнутого двухручьевого цепного транспортера 7 с закрепленными в

его звеньях штангами 8, снабженными подвесками 9 дпя закрепления решеток 10 с анодамп 1 1, выпо tHeHHbIMH B виде IlIToKQB„

12, подпружиненных вдоль оси пружиной

13 и снабженных роликовыми опорами 14 и 15, из которых первая — 14 размещена на свободном конце штока, а вторая — 15 на корпусе 16, снабженном втулкой 17дпя прохождения штока 12 и связанного посредством шарнира 18 со штангой 8транспортера 7.

В качестве механизма вертикального перемещения подвесок 9 используются направляющие 19, 20 и 21, установленные на основании 1 устройства над ваннами 2, 3 и 5 и взаимодействующие с роликовыми опорами 14 подвесок 9 при прохождении последних над ваннами, а в качестве механизма вращения подвесок испопьзуютсярасположенные на штоках 12 подвесок 9звездочки 22, взаимодействующие с цепными передачами 23, размещенными вдоль печей ,6 пиропиза и снабженными индивидуальными приводами (не показаны).

На выходе подвесок 9 из ванн 5 пронитки расположен механизм 24 поворота подвесок в вертикальной ппоскости, выпопненный в виде зубчатых реек 25 и 26, соединенных с автономным приводным механизмом 27. и снабженных упорными элементами 28 и 29, а каждая из подвесок 9 транспортера 7 снабжена подпружиненным пружиной 30 рычагом 31, на свободном конце которого закреплена роликовая опора 32, взаимодействующая с одним из упорных элементов 28 и 29 механизма 24 поворота подвесок и с направпяющими 33, расположенными на основании 1 устройства вдоль нечей 6 пирс пиза и спужащими дпя удержания подвесок 9 в горизонтапьном по« поженян. lies осуществления пиропитического разложения азотнокиспопо марганца в

t:реде водного пара устройство снабжено системой 34 парообразования, связанной с печью 6 пиропиза трубопроводом 35, спужащим дпя подачи пара в печь.

Общая:система управления устройством включает в себя пульт управления (не показан), электрически связанный с приводны1 механизмом устройства и служащий дпя управления работой устройства и набпюдения за режимом технологического процесса, Устройство работает следующим образом.

Предварительно собранные в решетку 10 аноды 11 навешиваются с помощьюподвесок 9 на концы штанг 8 и перемещаютсяс помощью цепного транспортера 7, при этом решетки с анодами поочередно нагружаются и вынимаются из ванн 2 дпя подформовки анодов и ванн 3 промывки анодов, а затем проходят через камеру 4 подсушки и ванну

5 пропитки, Погружение решеток с анодами в ванны осуществпяется с помошьюнаправпяющих 19, 20 и 21 в процессе их взаимс действия с роликовыми опорами 14 штоков

12 подвесок 9. На выходе из ванны 5про25 нитки роликовые опоры выходят из-под направпяющей 21 и пружиной 13. поднимают1 ся по вертикали, занимая исходное положение, после чего подвеска 9 с помощью механизма 24 поворота подвесок в вертикапьной плоскости занимает горизонтальное положение и входит в печь 6 пиропиза.

Срабатывание механизма 24 поворота подвесок в вертикальной плоскости осуществпяется с помощью автономного приводного механизма 27, перемещающего зубчатые рейки 25 и 26 в противоположных направпениях, укаэанных на фиг, 2 стрелками В, при этом упорные эпементы 28 и 29 реек

25 и 26 прижимают рычаг 31, в ступице

4О которого имеется прорезь, позволяющая ему свободно поворачиваться, после чего под воздействием пружины 30 рычаг 31 возвращается в исходное положение. На

45 своем пути упорные элементы 28 и 29 взаимодействуют с микровыкпючатепями (не показаны}, управляющими работой при» водного механизма 27, и при реверсе приводного механизма зубчатые рейки 25 и

26 начинают перемещаться в обратном направлении, указанном на фиг. 2 стрелками

Г, при этом упорные элементы 28 и 29 вступают во взаимодействие с роликовой опорой 32 рычага 31, и рычаг 31 повора55 ч вает я р зворачив я подвеску 9 в горизонтапьное положение, показанное пунктиром на фиг. 2. Удержание подвесок вгоризонтапьной плоскости производится с по452044 мощью направляюших 33, взаимодействуюших с роликовыми опорами 15 цодвесок, при этом звездочки 22 подвесок начинают взаимодействовать с цепными передачами 23, сообщающими подвескам вращательноедвижение вокруг оси, что способствует равно-. мерному распределению пропитываюшего раствора по всему телу анода и более равномерному нагреву анодов в печи в процес се пнролиза.

На выходе из печи 6 пиролиза опорный ролик 15 соскальзывает по фасонномусклизу направляющей.33, и подвеска 9 возвращается в исходное вертикальное положение, после чего процесс повторяется необходимо число раз в зависимости от принятой технологии.

Движение замкнутого двухручьевогоцепного транспортера 7 осуществляется от приводного механизма 36, а движение цепных передач 23 осуществляется от автономных приводных механизмов (не показаНЫ)Предмет изобретения

Устройство для нанесения полупроводникового слоя на аноды оксидно-полупроводниковь х конденсаторов, содержащее основание с направляющими, на котором расположены ванны для подформовки анодов,ванны промывки, камеры подсушки, ванныпропиткн, печи пиролнэа, вертикальный замкнутый двухручьевой цепной транспортер с закрепленными в его звеньях штангами,снабженными; подвесками для закрепления решеток с анодами в виде штоков, снабженных роликовыми опорами, механизм вертикального . перемещения подвесок, механизм врашения подвесок, снабженный расположенными на штоках звездочками, взаимодейсч вующими с цепными передачами, приводной механизм и пульт управления, о т л ичающееся тем, чтосцельюповышения производительности работы устройства и повышения качества изготавливаемых иэделий, оно снабжено расположенным на выходе подвесок нз ванн пропитки механизмом поворота подвесок в вертикальной плоскости, выполненным в виде зубчатых реек соединенных с автономным приводным механизмом и снабженных упорными элемен ,тами, а каждая из подвесок транспортера снабжена корпусом, служащим для ее размещении, который шарнирно соединен со штангой транспортера, и подпружиненным рычагом, на свободном конце которого закреплена . одна из роликовых опор, взаимодействующая с одним из упорныхэлементов механизма поворота подвесок, причем вторая роликовая опора каждой подвески, размешенная на ее корпусе, взаимодействует с одной из направляющих основания, расположенных вдоль печей пиролиза, вдоль которых Также размещены цепные передачи механизма вращения подвесок.

Н.Белинкова

Редактор g,KàðàóïîÌ е" ред Т Кур,ц,ко "орректор A.Bacsnaesa

:. ...= ". цццц)ц 4вд, ph /gal тираж 76О Закаэ /$A Подписыое

4Вь мюааф 4 м в у

Предприятие «Петентэ, Москва, Г.69, Бережковская наб., 24