Фотоповторитель

 

патген,,-,, о и и- - мчий.а

ИЗОБРЕТЕНИЯ (и) 457064

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 31.03.72 (21) 1764996/26-9 с присоединением заявки Хе (51) М. Кл. G 031 1/02

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 655.229.7 (088.8) Опубликовано 15.01.75. Бюллетень Ие 2

Дата опубликования описания 2б.02.75 (72) Авторы изобретения

И. М. Глазков, В. И. Довнар, В. А. Зайцев, В. И. Кужелев, Я. А. Райхман и А. П. Свидельский (71) Заявитель (54) ФОТОПОВТОРИТЕЛЬ

Госуаарствеииый комитет (32) Приоритет

Изобретение относится к устройствам для изготовления фотошаблонов в микроэлектрон,ном производстве.

Известны фотоповторители, содержащие станину с отверстием, координатный стол с основанием на аэростатических направляющих, проекционный объектив, размещенный в основании координатного стола, магазин и платформу подачи и базирования сменных промежуточных фотошаблонов, а также фотоэлектрический микроскоп, пневматический датчик автофокусировки и блок программного управления.

Известное устройство имеет относительно низкую производительность и точность изготовления фотошаблонов.

С целью повышения производительности устройства и точности изготовления фотошаблонов в предлагаемом фотоповторителе платформа подачи и базирования сменных фотошаблонов и фотоэлектрический микроскоп закреплены снизу к основанию координатного стола между осветителем и проекционным объективом, а пневматический датчик автофокусировки расположен на основании координатного стола и связан через пневмоусилитель с узлом питания аэростатических,направляющих.

На чертеже показан общий вид предлагаемого фотоповторителя.

Фотоповторитель содержит станину 1, на которой закреплен осветитель 2, магазин 3 смен.ных промежуточных фотошаблонов с приводом

4, основание 5 координатного стола б с аэростатическими направляющими. В окне основания размещен проекционный объектив 7, а снизу к основанию жестко закреплены фотоэлектрический микроскоп 8 и платформа 9 с приводами смены и базирования промежу10 точных фотошаблонов.

Между проекционным объективом и фотопластиной, помещенной в гнездо координатного стола, расположен пневматический датчик

10 автофокусировки, установленный жестко на

15 основании координатного стола сверху и связанный через пневмоусилитель 11 с питанием аэростатических направляющих.

Все узлы фотоповторителя управляются блоком 12 программного управления.

20 Работа устройства заключается в следующем.

Магазин сменных промежуточных фотошаблонов устанавливает нужный промежуточный фотошаблон в спутнике напротив платформы

25 9, привод которой извлекает этот фотошаблон из магазина и перемещает его на освещаемое поле против проекционного объектива 7. При этом каждый из трех базирующих знаков на промежуточном фотошаблоне вне рабочего

30 поля проекционного объектива 7 попадает в

457064 поле зрения соответствующего канала фотоэлектрического микроскопа 8. Затем производится точная ориентация промежуточного фотошаблона при помощи приводов базирования по сигналам рассогласования фотоэлектрического микроскопа, обеспечивающего высокую точность наведения.

После необходимого количества повторений уменьшенного изображения промежуточного фогошаблона на фотопластине, перемещаемой координатным столом 6, этот фотошаблон вводится обратно в магазин сменных промежуточных фотошаблонов, затем подается другой фотошаблон, и цикл повторяется. При наличии неплоскостности фотопластины и непараллельности ее плоскости по отношению к плоскости перемещений координатного стола

6 пневматический датчик автофокусировки через пневмоусилитель 11 воздействует на питание аэростатических направляющих координатного стола.

Предмет изобретения

Фотоповторитель, содержащий станину с осветителем, координатный стол с основанием

5 на аэростатических направляющих, проекционный объектив, размещенный в основании координатного стола, магазин и платформу подачи и базирования сменных промежуточных фотошаблонов, фотоэлектрический мик10 роскоп, пневматический датчик автофокусировки и блок программного управления, отл и ч а о шийся тем, что, с целью повышения производительности устройства и точности изготовления фотошаблонов, платформа подачи

15 и базирования сменных фотошаблонов и фотоэлектрический микроскоп закреплены снизу к основанию координатного стола между осветителем и проекционным объективом, а пневматический датчик автофокусировки располо20 жен на основании координатного стола и связан через пневмоусилитель с узлом питания аэростатических направляющих.