Стекло для спаивания с кремнием
1 ,1
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (1ц 47I3I6
Совэ Советских
Социалистических
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 08.01.74 (21) 1987516/29-33 с присоединением заявки № (23) Приоритет
Опубликовано 25.05.75, Бюллетень № 19
Дата опубликования описания 29.09.75 (51) М. Кл. С 03с 3/04
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 666.117:537.226 (088.8) (72) Авторы изобретения
А. М. Равин, А. В. Левитина и И. С. Федюшкина (71) Заявитель (54) СТЕКЛО ДЛЯ СПАИВАНИЯ С КРЕМНИЕМ
4 — 8
Изобретение относится к составам стекол для спаивания с кремнием и может быть использовано для изоляции компонентов интегральных схем, применяемых в электронной технике и также в качестве подлохкки для пленочных микросхем.
Известно стекло для спаивания с кремнием, включающее Si02, A1203, CaO, MgO, BaO, TiO2.
Однако к. л. т. р. (коэффициент линейного термического расширения) известного стекла рассогласован с к.л.т. р. кремния в интервале температур 20 — 800 С на величину (2 — 3) °
° 10 — 1/ С, что приводит к деформации спаянной конструкции.
Цель изобретения — получить согласованный спай в интервале температур 20 †8 С.
Это достигается тем, что компоненты, âõîдящие в состав стекла, взяты в следующих количествах, вес. :
%02 . 60 — 65
А120э 20 — 25
СаО 1 — 5
MgO 2 — 6
ВаО 1 — 8
TiO2 1 — 2 и, кроме того, ZnO 4 — 8
Стекло, содержащее 62 вес. % Si02, 23 вес. % A1203 вес. % СаО, 3,6 вес. %
MgO, 3,4 вес. % ВаО, 5 вес. % ZOO и 1 вес. %
TiO2, позволяет получать ненапряженные
5 спаянные KDHcTp) êöø4 стекло-кремний вследствие полного согласования к.л. т. р. стекла и кремния в интервале температур 20 — 800 С (к. л. т. р. равен 36-10 — 1/ С), а также понизить температуру спаивания на 30 С. (о Введение в состав стекла окиси цинка облегчает условия варки и выработки стекла.
Предмет изобретения
15 Стекло для спаивания с кремнием, включающее Si02, А120э, СаО, М О, ВаО, Т102, отличающееся тем, что, с целью получения согласованного спая в интервале температур 20 — 800 С, оно содержит указанные
20 компоненты в следующих количествах, вес. %:
S(O2 60 — 65 12 -13 20 — 25
СаО 1 — 5
MgO 2 — 6
25 ВаО 1 — 8
Т102 1 — 2 и, кроме того, ZnO
