Способ изготовления пьезокварцевых пластин

 

О П И С А Н И Е (11) 493896

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 07.01.74 (21) 1988250/26-21 с присоединением заявки № (51) М. Кл. Н 0311 3/04

ГосудаРственный комитет (23) Приоритет

Совета Министров СССР по делам изобретений

Опубликовано 30.11.75. Бюллетень № 44

Дата опубликования описания 13.02.76 (53) УДК 621.372.41 (088.8) н открытий (72) Авторы изобретения В. Я. Баржин, О. Г. Вербицкий, В. Б. Грузиненко, Э. Б. Крутофалов, Е, И. Фролов и Г. Г. Харитонов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЪЕЗОКВАРЦЕВЫХ

ПЛАСТИН

Предмет изобретения

Изобретение относится к области пьезотехники и может быть использовано при изготовлении пьезокварцевых пластин для кварцевых резонаторов и фильтров.

Известны способы изготовления пьезокварцевых пластин, преимущественно для пьезоэлементов кварцевых резонаторов, включающие операции шлифования, травления, полирования и отжига пьезокварцевых пластин.

Однако, частотный коэффициент, зависящий в основном от геометрических размеров пластины, в процессе изготовления практически не меняется.

Цель изобретения — повышение частотного коэффициента пьезоэлементов.

Для достижения цели отжиг пьезокварцевых пластин производят путем нагрева одной из рабочих поверхностей пластин до температуры, превышающей на 2 — 120 С температуру структурного перехода а-кварца в р-кварц в течение 1 — 2 минут.

Реализация этого способа может быть осуществлена с помощью установки, представленной на чертеже.

Пьезокварцевую пластину 1, обработанную до требуемых геометрических размеров по толщине и контуру любым известным способом, поверхностью 2 прикладывают к металлической подложке 3 так, чтобы поверхность

4 была свободна и имела непосредственный контакт с окружающей (воздушной) средой при нормальных атмосферных условиях. Подложка 3 нагревается с помощью спирали 5.

Для безопасности работы и уменьшения тепловых потерь применены изолирующие стаканы б.

При достижении температуры подложки 3 значения, на 2 — 120 С превышающего температуру перехода и-кварца в Р-кварц, температуру подложки в течение 1 — 2 минут подIo держивают постоянной, после чего спираль

5 нагревателя отключают. Происходит медленное охлаждение пластины.

При таком нагревании пластины вдоль ее толщины возникает температурный градиент, 15 который и приводит к увеличению частотного коэффициента.

20 Способ изготовления пьезокварцевых пластин, преимущественно для пьезоэлементов кварцевых резонаторов, включающий операции шлифования, травления, полирования и отжига пьезокварцевых пластин, о т л и ч а ю25 щий ся тем, что, с целью повышения частотного коэффициента пьезоэлементов, отжиг производят путем нагрева одной из рабочих поверхностей пластин до температуры, превышающей на 2 — 120 С температуру структурного перехода а-кварца в р-кварц в течение 1 — 2 минут, 493896

em>

Составитель Т. Богдалова

Техред Т. Миронова Корректор Л. Денискниа

Редактор В. Булдаков

Типография, пр, Сапунова, 2

Заказ 9б(11 Изд. № 2014 Тираж 902 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5