Интерферометр для измерения линейных перемещений

 

0 П И С А Н И Е (11) 497466

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сома Советских

Социалистических

Реооублкх (61) Допол,ппельное к авт. свил-ву (22) Заявлено 04.02.74 (21) 1995095/25-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.12.75. Бюллетень № 48 (51) М. Kë. G 01b 9/02

Гоеударетвенкых комитет

Совета Министров СССР

EIo делам изобретений и отхрытнй (53) УДК 531.715.1 (088.8) Дата опубликования описания 11.03.76 (72) Автор изобретения

В. П. Сергеев (71) Заявитель (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИ

11 ЕРЕМЕЩЕ Н И Й

Изобретение относится к области измерительной техники для точных линейных измерений и может быть использовано в целой серии измерительных приборов и делительных машин при автоматизации процессов измерений.

Известен интерферометр для измерения линейных перемещений, содержащий последовательно расположенные источник света, коллиматор и светоделительный блок, два концевых зеркала, установленных нормально к падающим пучкам, одно из которых неподвижное, а другое подвижное, и зрительную трубу. В ветвь подвижного зеркала введены неподвижные прямоугольные призмы или зеркала, обеспечивающие повышение чувствительности интерферометра путем скачкообразного изменения цепы интерференционной полосы в 2, 3 и т. д. раза. В иптерферометре такого типа пена интерференционной полосы, при линейном смещении подвижного зеркала составляет величину, равную Х источника монохромати«есхо;.o света или кратную этой величины.

Например, при наблюдении интерференции в свете спектральной лампы типа CMP-1 при л= — 546,1 нм или лазеров ЛГ-55, ОКГ-13 при

1=632,8 км, смешение интерференционной картины, на одну полосу соответствует осевому смещению концевого зеркала интерферометра на Х, т. е. на 0,2730, 0.3164 мкм.

Такое значение интерференционной полосы существенно затрудняет последующий процесс обработки данных при фотоэлектрическом счете числа пройденных интерференци5 онных полос. Упростить процесс обработки возможно, если иметь цену,интерференционной полосы, равяую 0,1; 0,25; 0,5 мкм, так, как в этом случае величину измеряемого интервала можно считывать с электронных

10 счетчиков непосредственно в . микрометрах.

Однако использование монохроматических источников света с соответствующими длинами волн не представляется возможным.

Целью изобретения является расширение

15 диапазона изменения значения интерференционной полосы при автоматизации процессов точных измерений.

Для этого интерферометр снабжен дополни20 тельным неподвижным зеркалом, установленным по ходу световых лучей за подвижным зеркалом, а подвижное зеркало расположено к оптической оси под углом, отличающимся от

45 например, 35 или 55 .

25 На чертеже представлена схема интерферометра.

Интерферометр содержит источник света 1, коллиматор 2, светоделительный блок 3, не. подвижное концевое зеркало 4, подвижное

30 концевое зеркало 5, дополнительное непод497466

Составитель Л. Лобзова

Техред Т. Курилко

Корректор Л. Котова

Редактор T. Пилипенко

Заказ 365/13 Изд. Ко 2097 Тираж 782 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5 типография, пр. Сапунова, 2 вижное зеркало 6, зрительную трубу 7. Индексом 8 обозначена оптическая ось.

Предлагаемый интерферометр работает следующим образом.

Пучок света от монохроматического источника света 1, расположенного в фокальной плоскости объектива коллиматора 2, направляется на светоделительный блок 3, где деделится на две части. Один из пучков падает на неподвижное концевое зеркало 4 и, отразившись от него, направляется обратно на блок 3. Другой, отраженный от наклонного подвижного зеркала 5, попадает на дополнительное наклонное неподвижное зеркало 6.

После автоколлимационного отражения от него по прежнему пути направляется на светоделительный блок 3, где и происходит интерференция двух пучков. Интерференционная картина наблюдается с помощью объектива зрительной трубы 7.

Интерферометр по указанной схеме обеспечивает плавное изменение цены интерференционной полосы, как в сторону ее уменьшения, так и увеличения, В первом случае подвижное зеркало 5 наклоняется по отношению к оси падающего пучка света на угол )45, например 55, а неподвижное зеркало 6 на угол, обеспечивающий автоколлимациониое отражение падающего на него пучка.

Во втором случае подвижное зеркало наклоняется на угол (45, например 35, при соот5 ветствующем развороте неподвижного.

Изменение цены интерференционной полосы прн осевом смещении зеркала 5 происходит за счет воз тикающей в ветви интерферометра разности хода при скольжении пучка света по

1р наклонному неподвижному зеркалу.

Предмет изобретения

Интерферометр для измерения линейных перемещений, содержащий последовательно

15 расположенные источник света, коллиматор и светоделительный блок, два концевых зеркала, одно из которых подвижное, а другое неподвижное, и зрительную трубу, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью расширения диапазона

20 изменения значения интереференционной полосы при автоматизации процессов точных измерений, он снабжен дополнительным неподвижным зеркалом, установленным по ходу световых лучей за подвижным зеркалом, а

25 подвижное зеркало расположено к оптической оси под углом, отличающимся от 45, например 35 или 55 .