Способ и устройство для изготовления светофильтров путем покрывания прозрачной пластины металлом методом катодного распыления

 

Класс 42Й, 34„

М 58947

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зарегистрировано в Бюро изобретений фвел.вана дри 4."НК СССР

BC . ГО 0 . . „". . -. . :.,; "I T ;3 - " -;

Т ., .:-. и;,г" ., ",=", л!

i tJ>13/ \ i J! I ан

В. П. Рождественский.

Способ и устройство для изготовлевия светофильтрсв путем покрывания прозрачной пластины металлом методом катодного распыления.

Заявлено 10 сентября 1939 года в НКВ за Л" 633.

Опубликовано 31 января 1941 года.

Предмет настоящего изобретения составляет способ изготовления светофильтров путем IIoKpbIBBBHH прозрачной пластины металлом методом катоднсго распыления.

Согласно изобретению, с целью непрерывного контроля плотности слоя металла, наносимого ча пластину, рядoM с пластичной помещают в аналогичных условиях контрольную пластину известной плотностями, прирост которой непрерывно измеряют при помощи фотсметра, например, фотоэлектрического.

На чертеже схематически изображено устройство для осуществления предлагаемого способа.

Как видно из чертежа, устройство состоит из стеклянной пластины с гнездами для опыливаемых пластин, расположенной в кожухе 8 над зеркалом 5, предназначенным отбрасывать пучок световых лучей, идущих от источника 3 света, на фотоэлемент 6.

В центральном гнезде пластины 1 на пути пучка свето|вых лучей расположена прозрачная контрольная пластина 7. Источник света 3 помещен в корпус, снабженный тремя диафрагмами, предназначенными, с одной стороны, ! для предохранения источника света ог запыления и, с другой стороны, для ограничения ширины пучка лучей соответственно размерам контрольной пластины 7. Цифрой 4 на чертеже обозначен платиновый катод. С целью осуществления возможности последовательного покрьгвэния частей опыливаемых пластин при изготовлении ступенчатых светофильтров, в устройстве

1 применен подвижный экран 2, представляющий собой металлическую решетку с укрепленными на ней наклонно лепестками слюды, закрывающими

) пластины аветофильтров. Приводной механизм экрана яа чертеже не показан. Контрольная пластина 7 экраном не закрывается и остается открытой в течение всей операции.

Действие устройства ясно из чертежа и специального описания не требует. При изготовлении неступенчатых светофильтрс в с заданной плотностью пластина 1 с гнездами и экран 2 могут быть лепко удалены.

Получение ступенчатых светофильтров производится, как обычно, путем последователыного открывания экрзном очередных участков поверхности, подлежащей опылению. Моменты передвижения экрана, обеспечивающие то или иное заданное распределение плотностей на ступенях фильтра, задаются определенными значениями плотности, последовательно получаемыми посредством контрольной пластинки. Эти значения плот ности подбираются экспериментально.

Предмет изобретения.

1. Спосо б изготовления светофильтров путем покрывания прозрачной пластины металлом методом катодного распыления, отлнчающийс я тем, что, с целью непрерывного контроля плотности слоя металла, наносимого на пластину, рядом с пластиной помещают в аналогичных условиях контрольную пластину известной плотности, прирост которой непрерывно измеряют при помощи фотометра, например, фотоэлектрического.

2. Ус1ройство,для осуществления способа по п. 1, отличающееся тем, что опыливаемые пластины помещены на стеклянной пластинке 1, под которой установлено зеркало, отбрасывающее на фотоэлемент 6 пучок с ветовых лучей, идущих от источника света 3 через контрольную пластину 7.

3. В устройстве по п. 2 при|ме н.ение подвижного экрана, предназна енного для последовательного по крытия частей опыливаемых пластин (кроме контрольной) при изготовлении ступенчатых светофильтров.

Огв, редактор П. В. Никитин Тин. „Сов. печ." М 49523. Зак. М 1525 — 450

Госпланиздат

Цена 35 коп.