Способ изготовления интерференционных фильтров
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик (11) 524153 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 09.06.72 (21) 1797556/10 (23) Приоритет — (32) 11.06.71 (31)% Ð G 023/155714 (33) ГДР (43) Опубликовано05.08,76.Бюллетень ¹ 29 (45) Дата опубликования описания 30.09.76 (51) М. Кл.
G 02 В 5/28
Государственный комитет
Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий (53) УДК 535.345„67 (088.8) (72) Авторы изобретения
Иностранцы
Гундула Рюдигер, Эберхард Шмидт, Маргарете Шмидт, Вальтер Штаде и Хайдемари Виттман (ГДР) (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕРФЕРЕН11ИОННЫХ
ФИЛЬТРОВ
Изобретение относится к способам изготовления спектральных разделителей из интерференционных слоев, преимущественно для инфракрасной области спектра.
Известен способ изготовления интерференционных фильтров путем прессования в вакууме подложки с нанесенными один на
ДруГОй СЛОЯМИ.
По предлагаемому способу слои, подлежашие прессованию, предварительно напыляют на подложку из непоглошаюшего поликристаллического материала, изготовленную прессованием, укладывают одну на другую так, что каждая система с несколькими интерференционными слоями помещена между двумя подложками, прессуют при давлении
2000 кг/см, вакууме до 1 торр> при тем1 пературе 150-300 С.
Систему с несколькими интерференционными слоями (отдельные системы) напыляот на подложку и соединяют одну с другой прессованием. В качестве подложки применяют непоглошаюший прессуюшийся поликристаллический материал. Отдельные системы имеют небольшое количество слоев и просты конструктивно, а поэтому просты в изготовлении. Так как каждая система, состояшая из нескольких слоев, выполняет только определенную, частич;-гую функцию
В ДОС тИЖЕНИИ необхоцимой СПЕктраЧЬИОЙ xGрактеристики, то и ее расчет не представляет особои трудности, Небольшое количество слоев делает отдельные системы сравните "IbHQ нечувствительными отеюсительно
1О неточности вы.".олнения толщины слоев. вследствие чегО для папы.lения слоев может быть использован более дешевый способ напыления и Отпадают больцше расходы на измерения,. и.;ьеюшие Обыч!1О местo при HBпылении вешества, из которого состоят слои, Отдельные системь1 одну с другой или соответствуюшими подлох коми соединя:от прессованием. Сптические замазки (клен) при етом не требуются. Интерференционно20 оптическое соединение отдельных систем устраняется благодаря наш-,:лению слоев на поликристаллические подложки с неравномерной структурой верхней поверхности, так как каждая Отдельная система располо25 жена между дву мя подложками„можно испОль