Интерференционное устройство для контроля оптических поверхностей

 

ОП КСАН ИЕ

ИЗОЬ ЕтЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

СОюз +vdvтских

Г . циалистимескин

Республик (») 530169 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено19.07.73 (21) 1946948/28 с присоединением заявки № (23) Приоритет(43) Опубликовано 30.09,76.Бюллетень №36 (45) Дата опубликования описания 05.11.76 (51) M. Кл. 601 В 9/02

Государственный комитет

Совотв Министроо СССР оо делам изобретений н открытий (53) УДК 53 1.7 1 5. .1(088.8) (72) Авторы изобре (71) Заяви (54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ

КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Изобретсние относится к «змерительной j технике и может быть йспользовано для контроля оптических поверхностей.

Известны интерференционные устройства для контроля поверхностей, содержащие 5 пробные стекла, контактирующее с контролируемой говерхцостью.

Однако контакт эталонной и контролируемой поверхностей может вызвать повреждения контролируемой поверхности. 10

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому изобретению является интерференциопное устройство для контроля оптических поверхностей, в котором контролируемая и эталонная поверхности i5 расположены с малым зазором относительно друг друга, а подсветка осуществляется посредством неподвижного диффузно-рассеивающего экрана, освещаемого источником квазимонохроматического света. В этом 20 устройстве контроль осуществляется по отдельныл1 зонам с помощью сфокусированного на данную зону микроскопа.

Недостатком известного устройства является невозможность наблюдения интер- 25 ференционной картины г отраженном пучке лучей сразу от всей контролируемой поверхности, Целью изобретения является обеспечение регистрации интерференционной картины одновременно по всей контролируемой позерхности при возможно минимальных размерах экрана.

Это достигается тем, что диффуз«о-рассеивающий экр; ц выполнен со щелями, уг:— тановлен между регистратором и эталонной деталью с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном к направлению щелей, и снабжен приводом для его период«ческого перемещения.

На фиг. 1 изображена схема устройств>; на фиг. 2 — диффузно-рассеивающий экран.

Контролируемая поверхность 1 и эталг>иная деталь 2 установлены с малым зазорол> одна относительно другой. Диффузно-рассеивающая сторона экрана 3 обращена к эталонной детали и к источнику 4 квазимо«оI хроматического света, например ртутной и;>.лпе. Экран Й снабжен приводом (на чертом; ° не показан) для осуществления ет о порио/

530169 дического перемешения. Диффутяо-рассеиваюший экран 3 выполнен плоским и имеет ряд щелей 5. Плоскость экрана 3, обращенная к эталонной детали 2, покрывается диффу=-ьно-рассеиваюшим вешеством, например окисью магния, противоположная плоскость зачернена.

Устройство работает следующим образом.

Источник 4 создает необходимую освешенность на диффузно-рассеивающей сторо- 16 не экрана 3, который, в свою очередь, освешает контролируемую поверхность 1 и эталонную деталь 2. При быстром перемещении экрана 3, например возвратно-поступательном движении в направлении, перпендикулярном к направлению шелей 5 экрана

3, на глаз 6 наблюдателя или регистратор

7 поступает интерференционная картина сразу от всей контролируемой поверхности.

При этом амплитуда движения должна © превышать расстояние между щелями 5, а период движения (в случае визуального наблюдения) должен быть меньше аффективного времени сохранения зрительного впечатления.

Предлагаемое устройство может найти применение для контроля оптических поверхностей деталей значительного диаметра.

Формула изо бретения

Интерференционное устройство для контроля оптических поверхностей, содержащее квазимонохроматический источник света, неподвижный диффузно-рассеиваюший экран, эталонную деталь, располагаемую с зазором относительно контролируемой поверхности, и регистратор, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью регистрации интерференционной картины одновременно по всей контролируемой поверхности при возможно минимальных размерах экрана, экран выполнен со щелями, установлен между эталонной деталью и регистратором с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном к направлению шелей, и снабжен приводом для его периодического перемещения.

UHHHIIH Заказ 5215/679

Тираж 864 Подписное

Филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4