Способ оценки качества очистки и обезгаживания электродов электровакуумных приборов

 

О П И С А Н И Е п1 535625

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Ссгетскик

Социалка-тик;.гких

Респу:лкк (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 08.10.75 (21) 2178484/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.11.76. Бюллетень № 42

Дата опубликования описания 03.12.76 (51) M. Кл 2 Н 01J 9/42

Государственный комктет

Совета Министров СССР ла делам изобретений и открытий (53) УДК 621.3.032 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. И. Козлов, В. Г. Ворожейкин, Ю. И. Набоков и В. Н. Дудкин (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОЦЕНКИ КАЧЕСТВА ОЧИСТКИ

И ОБЕЗГАЖИВАНИЯ ЭЛЕКТРОДОВ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ

ПРИБОРОВ

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к технологии изготовления электровакуумных приборов (ЭВП) с высокотемпературными, например металлопористыми, термокатодами.

Известен способ оценки качества очистки и обезгаживания электродов ЭВП, заключающийся в измерении уровня импульсного тока эмиссии с катода на исследуемый электрод. Чем больше загрязнений на электроде, чем менее он обезгажен, тем больше отравляется катод и, следовательно, тем меньше ток эмиссии. Однако при этом способе трудно установить критерии качества очистки и обезгаживания электродов, тем более что измерения только в импульсном режиме не соответствуют реальному воздействию загрязнений на катод, проявляющемуся в рабочем (непрерывном) режиме.

Известен также способ оценки качества очистки и обезгаживания электродов ЭВП с высокотемпературными, например металлопористыми, термокатодами, заключающийся в измерении катодного тока в импульсном и непрерывном режимах при разных значениях накала, но одинаковых значениях напряжения между катодом и электродом, прикладываемого в этих режимах. Оценка качества обработки электрода проводится на основании сравнения значений характеристических темиератур, вычисляемых из нелокальных характеристик, снятых, как указано выше, в импульсном и непрерывном режимах. Недостатком этого способа является его низкая точ5 ность вследствие неопределенности получаемого значения характеристической температуры.

Для повышения чувствительности определения качества обработки электродов по пред10 лагаемому способу определяют разность напряжений накала, определенных при значениях импульсного и непрерывного катодного тока, равных 0,8 — 0,9 от уровня его при рабочем режиме катода, и по этой разности су15 дят о качестве очистки и обезгаживании электродов. Способ применим к ЭВП с катодами, в которых отсутствуют эффекты электропереноса кислорода по объему эмиттирующего вещества. Такими катодами являются высокотемпе20 ратурные, в частности металлопористые катоды (МПК).

При наличии .на исследуемом электроде различного рода загрязнений они в большей степени отравляют МПК при статическом то25 коотборе с него на электрод, чем при импульсном токоотборе. Это различие в воздействии загрязнений электрода на статический и импульсный катодный ток наиболее заметно при пониженных температурах и соответственно

33 напряжениях накала МПК, а именно в опи535625

Формула изобретения

Составитель А. Киселев

Техред Е. Подурушина

Корректор Л. Брахнина

Редактор И. Шубина

Заказ 3025)15 Изд, № 1801 Тираж 963 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 сан ной переходной области. Для большинства

ЭВП с МПК эта область соответствует умень:шенйю катодного тока до 0,8 — 0,9 от величины его в области пространственного заряда.

Поэтому в предлагаемом изобретении выбирается для определения критерия качества именно эта область, тем более, что выбираемые значения токов очень близки к реальным токовым нагрузкам на электроды. В случае воздействия на катод загрязнений электрода статический ток, равный по величине импульсному току, в указанной переходной области можно отобрать только при более высоких напряжениях накала катода. И чем больше воздействие загрязнений на МПК, тем больше разность напряжений накала,,при которых в переходной области можно отобрать одинаковые по величине статический и импульсный токи. Следовательно, эту разность напряжений накала МПК можно принять за критерий качества обработки электродов ЭВП с МПК. В случае чистого электрода она равна нулю, а при наличии загрязнений отлична от нуля и по абсолютной величине тем больше, чем больше загрязнений на электроде.

Чувствительность предлагаемого способа тем выше, чем меньше загрязнения электрода будут влиять на импульсный катодный ток по сравнению с влиянием на рабочий статический ток. Условием этого является минимальная длительность и максимальная скважность импульсов прикладываемого между электродом и катодом напряжения. Рекомендуемые длительности 1 — 2 мкс, скважпости — не менее 1000.

Предлатаемый способ оценки качества обработки электродов ЭВП с МПК может быть с успехом использован на различных этапах изготовления приборов. Например, в процессе разработки технологии откачки этот способ позволяет выбрать оптимальный режим обезгаживапия электродов прибора электронной бомбардировкой. На этапе тренировки приборов этот способ может быть использован как один из методов определения критерия длительности тренировки, зависящей от степени стабилизации вакуумной чистоты того или иного электрода. Кроме того, пред10 лагаемый способ может быть непосредственно использован как чувствительный способ оценки качества очистки внутриламповых деталей ЭВП различного типа,при разработке технологии этой очистки, для чего достаточно поместить исследуемую деталь в вакуумный объем, в котором, кроме этой детали, выполняющей роль анода, должен находиться МПК, и определить описанным способом критерий качества.

Способ оценки качества очистки и обезгаживания электродов электровакуумных приборов с высокотемпературными, например металлопористыми, термокатодами, заключающийся в измерении катодного тока в импульсном и непрерывном режимах при разных значениях напряжения накала, но одинаковых значениях напряжения между катодом и электродом, прикладываемого в этих режимах, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности способа, определяют разность напряжений накала при значениях импульсного и непрерывного катодного тока, равных 0,8 — 0,9 от уровня его при рабочем режиме катода, и по этой разности судят о качестве очистки и обезгаживании электродов.