Интерференционный способ контроля плоскопараллельности концевых мер длины

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 21.08.73 (21) 1958846/28 51} 1.Кл. - б 01 В 9/02 с присоединением заявки—

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет— (43) Опубликовано 05.02.77. Бюллетень М 5

I 45) Дата опубликования описания 11.03.77 (53) УДК 531.715.2 (088.8) (72) Авторы изобретения

H. И. Гиржман и Л. Я. Густырь (71) Заявитель

Сибирский государствен институ (54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЪ|Й СПОСОБ КОНТРОЛЯ

ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНОСТИ КОНЦЕВЪ|Х МЕР ДЛИНЪ|

Изобретение относится к интерференционным измерениям и может быть использовано для контроля плоскопараллельности концевых мер длины.

Известен способ, контроля плоскопараллельности,концевых мер длины (1), сущность которого состоит в сравнении положения контролируемых поверхностей концевых мер длины с положением поверхностей интерференционных зеркал, между которыми помещается контролируемая мера и которые предварительно устанавливаются по образцовой мере.

Контроль плоскопараллельности,поверхностей концевой .меры сводится в этом случае к определению взаимного наклона полос в интерференционных картинах, полученных в результате интерференции световых пучков в зазорах между измерительными поверхностями концевых мер и поверхностями интерференционных зеркал.

Однако,для осуществления этого способа необходимо применение осуществления п редварительно аттестованных образцовых мер.

Известен интерференционный способ контроля плоскопараллельности концевых мер длины, заключающийся в том, что интерференционные зеркала устанавливают параллельно одно другому, помещают между ними меру, наблюдают интерференционные картилы и по сравнению интерференционных картип определяют величину плоскопараллельности поверхностей меры 12).

Недостатком данного способа является также необходимость применения образцо5 вых, предварительно аттестованных концевых мер.

Целью изобретения является повышение точности измерения. Для этого наблюдают пнтерференционные картины между отражаю10 щпми говерхностямп интерференционных зеркал и в зазорах между каждым из зеркал и контролируемыми поверхHостями меры и сравнивают эти интерференционпые картины.

Фиг. 1 п 2 иллюстрируют способ кон15 троля.

Пучок саста пз лазера 1 (см. фиг. 2) проходит конденсатор 2, диафрагму 8, находящуюся в фокусе ооъектива 4 и через полупрозрачную пластину 5 направляется в объектив 4. Параллельный пучок лучей, выходящий из объектива, освещает свободную поверхность интарференционных зеркал 6 и 7 и левую поверхность меры 8, а с помощью блока зеркал 9 и 10 правую поверхность меры.

После отражения все пучки света поступают в объектив 4 и полупрозрачной пластиной 5 направляются в наблюдательную систему 11, состоящую из откидывающейся отрицательной линзы и зрительной трубы небольшого

ЗО увеличения. Интерфере",:IIIoIIIIIIe зеркала б B

545854

7 со светоделительными покрытиями, нанесенными по всей площади пластин, смещены относит льно оптической оси интерферометра.

Это позволяет осветить обе измерительные поверхности меры и получить три интерференционные картины: две — в зазорах между измеярительными поверхностями мер и отражающими поверхностями интерференционных зеркал,и одну — в промежутке между интерференционными зеркалами.

Коi!Tpоль плоскопара:!. !ельности произво— дится следующим образом.

Между интерференционными зеркалами 6 и 7,помещают контролируемую меру 8. В направлении линии измерения устанавливают инте!рференционные зеркала параллельно между собой, а одну из измерительных,поверхностей контролируемой меры — пара1лельно противолежащей поверхности зеркала.

Для этого в хо!д лучей вводят отрицательную линзу и наклонами одного из зеркал,и меры совмещают наблюдаемые в поле зрения многократные изображения входных зрачков.

Отводят отрицательную линзу и в поле зрения наблюдают три с разным наклоном и шириной системы интерферснционных полос.

При контроле параллельности меры вдоль короткого ребра наклонами одного из интерфереHöèîíElûх зеркал устанавливают полосы на пластине параллельно короткому ребру меры. Затем наклонами меры устанавливают полосы на одной,из поверхностей меры параллельно короткому ребру, а по наклону полос на другой поверхности меры определяют непараллельность меры в данном направлении. Величину непараллельности определяют в долях интерференционной полосы.

По изгибу полос определяют неплоскостность контрог!и!руемых поверх:!остей концевой меры.

При контроле параллельности меры вдоль

5 длинного ребра установка полос производится параллельно длинному ребру, Таким образом, предлагаемый способ,позволяет осуществить контроль плоскопараллельности концевых мер без применения об-!

О разцовых мер, что позволяет повысить точность измерения и снизить себестоимость способа.

Формула изобретения !

Интерференционный способ, контроля плоскопараллельности концсвых мер длины, заключающийся в том, что интерференционные зеркала устанавливают параллельно одно

20 другому, помещают между ними меру,наблюдают интерференцио:!ные,картины и по сравнению иптерферснционных картин опредс1ÿE0ò величину плоскопараллельности,поверхностей меры, о тл и ч а ю щ и с я тем, что, с целью

25 повышения точност.! измерения, наблюда!от интерференционные картины между отражающими поверхностямп интсрфсренцнонных зеркал и в за",îðàõ между каждым из зеркал и ко!!трол!!руемых!и поверхпостю!и меры и

ЗО сравнивают эти интерфсренцио!!шыс картины.

Источники информации, принятые го внима!!ие п0и эKспертизе:

35 1. ogi G. М1сго1сс!!п)с, 3 .? !!., .!0 1, 1958 г.

2, Авторское с.;ндетельство М 149228;

G 01 В 9/02, 1962 г.

545854

Wnz. 7 б 8 Риг.2

Составитель А. Подобрянский

Текред Н. Сметанина 1(орректор В. Гутман

Редактор Е. Меньшова

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

Заказ 76/144 Изд. № 416 Тир а ьк 899 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5