Трибометрический способ контроля чистоты поверхности образцов
(>>) 555320
Союз Советских
Социалистических
Реслублик
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (51) Дополнительное к авт, свид-By— (22) Заявлено 4 07,75 (21) 2158537/28 (51) M. Кл.
G 01 N 3/56 с присоединением заявки №
Госудвратвенный комитет
Совета Мнннстрав СССР аа делам нвабретеннй н атнрытнй (23) Приоритет (43) Опубликовано 25.04,77, Бюллетень,№ 15 (45) Дата опубликования описания02.07.77 (53) УДК
620.179.11 (088.8) (72) Авторы изобретения
А. Е. Богатырев, В. А. Дьяконов и Т. А. Давыдова (7l) Заявитель (54) ТРИБОМЕТРИЧЕСКИЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ
ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТИ ОБРАЗЦОВ
Изобретение относится к контролю технологических процессов электронной техники, в частности, к контролю чистоты поверхности.
Известен способ контроля чистоты поверхности по величине коэффициента трения (1) . Способ позволяет отличить загрязненные органическими веществами поверхности от птстых.
Недостатком способа является интегральная оценка трения. следовательно, и загрязнения по всей поверхности.
Известен также трибометрический способ контроля чистоты поверхности образцов, по которому очищают поверхность, измеряют силу трения щупа измерительного прибора по этой поверхности и о ее чистоте судят по силе трения (2). Загрязнения на поверхности образцов резко снижают коэффициент трения Этот способ не позволяет оценивать чистоту поверхности с загрязнениями, которые незначительно уменьшают коэффициент трения, что снижает чувствительность способа.
Целью изобретения является повышение чтв ствительности контроля чистоты поверхности.
Для достижения этой цели после очистки образец помешают в атмосферу паров вещества, измс няющего коэффициент трения и способного адсорбиров аться на загрязнениях, но индифферентного к материалу поверхности, и затем испаряют следы адсорбата с незагрязнешых участков поверхности.
Для реализации способа может быть использован стащартныи трибометрический измеритель чистоты. Контролируемые детали помеп;ают в атмосферу паров вещества, способного адсорбироваться на загрязнениях. Например, для поверхностей i.ðåìíèñsûõ пластин может быть HcnoJIb10 зована капроновая кислота. Молекулы органичес ких кислот не способны проникать в координационную сферу атомов кремния. Активная адсорбция кислоты поверхностью возможна лишь по адсорбционным центрам, представляющим собой я загрязнения.
Дня создания атмосферы насьпценных паров в закрытую камеру помещают небольшое количество капроновой кислоты. Полупроводниковые пластины помещают в камеру не более, чем на 5 мин. эО Такое время гарантирует получение стабильных .результатов. После этого полупроводниковые пластины выдерживают для удаления следов адсорбента с не загрязненной повеохности. На загрязненной поверхнос и молекулы адсорбата связываются и не э5 удаляются. Затем полупроводниковую пластину
-555320 закрепляют на предметном столике, поворачивают щуп вдоль продольной оси на некоторый угол и устанавливают его на поверхность образца, постепенно увеличивают сдвигающее усилие, фиксируют момент сдвига, замеряют показания динамометра и сравнивают с показаниями динамометра для случая эталонной детали. Снижение силы трения свидетельствует о загрязнении поверхности.
Трибо метрический способ контроля чистоты поверхности образцов, по которому очищают поверхность, измеряют силу трения щупа измерительного прибора по этой поверхности и о ее чистоте
Составитель В. Поздняков
Техр ед М. Левицкая Корректор С. Шекмар
Редактор Д. Пинчук
Заказ 452/20
Тираж 1101 Подписное
ПНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП "Патент™,. г. Ужгород, ул, Проектная, 4
Формула изобретения суд от по силе трения, отличающийся тем, что, с целью повьппения чувствительности способа, после очистки образец помещают в атмосферу паров вещества, изменяющего коэффициент трения и.
5 способного адсорбироваться на загрязнениях, но индифферентного к материалу поверхности, и затем испаряют следы адсорбата с незагрязненных учас1ков поверхности.
10 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:
1. Семенов А. П. "Схватывание металлов", M., АН СССР, 1958,с. 127.
2. Авторское свидетельство СССР К 188106, М. Кл. G 01 N 3/56, 1966 (прототип) .
