Устройство для управления электронными лучами

 

ОП ИОАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

0 Ц558327

ЬФЗ Сйетских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (б1) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 28.10.75 (21) 2185085/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.05.?7. Бюллетень № 18

Дата опубликования описания 26.07.77 (51) М. Кл. Н 01J 29/50

Государственный комитет

Совета Иииистров СССР по делан изобретений и открытий (53) УДК 621.3.032.26 (088.8) (72) Авторы изобретения

И. Л. Григоришин и В. Н. Кухновец

Институт электроники АН Белорусской ССР (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОННЫМИ

ЛУЧАМИ

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в качестве диафрагм или линз преимущественно в многолучевых электронно-оптических системах для технологических целей.

Известны устройства для управления электронными лучами для электронно-оптических систем, выполненные в виде тонкого металлического листа с отверстиями или множеством отверстий.

Однако использование металлического основания не позволяет выполнить в устройстве множество электрически изолированных друг от друга электродов, что необходимо для индивидуального управления каждым электронным лучом.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство для управления электронными лучами, содержащее диэлектрическое основание с нанесенными на него электродами, образующими электродные ячейки.

Такое устройство может быть использовано как система управляющих электродов для многолучевых электронно-оптических систем.

Однако в нем не предусмотрена электрическая изоляция управляющих электродов друг от друга, что исключает применение его в многолучевых электронно-оптических системах для индивидуального управления каждым лучом. Кроме того, в этом устройстве возмо>кно взаимное влияние полей отдельных электродов, что ухудшает условия управления электронными лучами.

5 Целью изобретения является обеспечение индивидуального управления электронными лучами.

Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве на обеих сторонах диэлектрическо10 го основания нанесены общие для всех ячеек экранные электроды, а кольцевые управляющие электроды выполнены в углублениях диэлектрического основания и изолированы друг от друга.

15 На чертеже показано предлагаемое устройство. На обеих сторонах диэлектрического основания 1 с отверстиями 2 нанесены управляющие 3 и экранные 4 электроды. Экранные электроды расположены на поверхности, а уп20 равляющие электроды — в углублениях основания и изолированы друг от друга диэлектрическими полосками 5, перпендикулярными плоскостям расположения управляющих и экранных электродов. Каждый управляющий

25 электрод снабжен токоподводом 6 и контактной площадкой 7.

Расположение управляющих и экранных электродов в разных плоскостях и на обеих сторонах диэлектрического основания дает

30 возможность иметь систеы индивидуальных

558327

Формула изобретения

Составитель В. Обухов

Техред М. Семенов

Корректор 3. Тарасова

Редактор И. Шубина

Заказ 1898/15 Изд. № 456 Тираж 995 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4j5

Типография, пр. Сапунова, 2 линз, разделенных экранными электродами, каждая из которых состоит из двух электрически изолированных управляющих электродов, расположенных друг против друга на противоположных сторонах основания вокруг отверстий.

Устройство работает следующим образом.

Электронные лучи одновременно проходят через все отверстия управляющих электродов.

При необходимости «запереть» определенное число электронных лучей из общего потока на управляющие электроды, через отверстия в которых проходят лучи, подлежащие «запиранию», подается соответствующий потенциал, запирающий лучи, в то время как остальные лучи проходят беспрепятственно, Наличие экранного электрода позволяет избежать искажений электростатического поля электронно-оптической системы вблизи устройства, вызванных подачей запирающего потенциала на данный электрод.

Если сформированные на обеих сторонах диэлектрического основания управляющие электроды, находящиеся на противоположных сторонах друг против друга, не имеют галвванической связи (т. е. образуют систему линз), то в устройстве возможно производить кроме

«запирания» еще и дополнительную подфокусировку всех лучей.

5 Таким образом, предлагаемое изобретение позволяет повысить степень интеграции устройства (плотность расположения управляющих электродов на одном основании и соответственно число управляемых электронных

10 лучей) .

Устройство для управления электронными

15 лучами, содержащее диэлектрическое основание с нанесенными на него электродами, образующими электродные ячейки, о т л и ч а ющ е е ся тем, что, с целью обеспечения индивидуального управления электронными луча20 ми, на обеих сторонах диэлектрического основания нанесены общие для всех ячеек экранные электроды, а кольцевые управляющие электроды выполнены в углублениях диэлектрического основания и изолированы друг от

25 друга.