Способ нанесения покрытий
Способ нанесения покрытий путем катодного распыления металлов в вакууме на изделие, служащее анодом, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности процесса и улучшения свойств покрытий, распыление осуществляют импульсным дуговым разрядом при токе 100-200 кa, а эрозированные частицы металла направляют от катода к аноду импульсным магнитным полем, силовые линии которого направляют под углом к горизонтали, причем напряжение магнитного поля уменьшают от центра электродов к их периферии.
Похожие патенты:
Устройство для катодного распыления // 273616
Способ получения пленки нитрида алюминия // 2113537
Способ упрочнения поверхностей деталей // 2176682
Изобретение относится к области осаждения диэлектрических пленок с включениями кристаллической фазы на металлические поверхности с малым радиусом кривизны и может найти применение при изготовлении различных инструментов, в частности, для использования в медицине
Способ напыления рельефных подложек // 2229182
Изобретение относится к плазменной технологии производства изделий микроэлектроники и может быть использовано для процесса металлизации структур с субмикронными размерами элементов
Изобретение относится к области нанесения декоративных покрытий на изделия из стекла, керамики, фарфора и т.п
Изобретение относится к области металлургии, в частности к способу ремонта поверхностных дефектов деталей машин, и может найти применение при ремонте деталей машин из высоколегированных жаропрочных сталей и сплавов, имеющих эксплуатационные дефекты: забоины, раковины, локальные износы трущихся поверхностей
Установка для нанесения защитных покрытий // 2318078
Изобретение относится к установке для нанесения защитных покрытий и может найти применение для получения защитных покрытий на изделиях авиационной техники
Изобретение относится к способу очистки поверхности материала с покрытием из органического вещества
Способ вакуумно-дугового нанесения покрытий // 2361014
Изобретение относится к способу вакуумно-дугового нанесения покрытий и может быть использовано для получения газопоглотительных покрытий
Способ получения ферромагнитной пленки из нанокластеров силицидов на поверхности кремниевой подложки // 2458181
Изобретение относится к плазменной технологии, а именно к способам получения ферромагнитных пленок из нанокластеров силицидов на поверхности кремниевой подложки методом локализованного газового разряда Ar и может быть использовано при получении базовых элементов спинтроники
