Способ контроля герметичности оболочек

 

1I I1 574653

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 01.08.75 (21) 2160527128 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет ()II% б IIII ()1311110 30.09.77. Бюллетень Л 36 (51) Ч. Кл.- G 01М 3/20

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР ао делам изобретений и открытий (53) УДК 620.165.29 (088.8) Дата опубликования оп ca111151 11.10.77 (72) Авторы изобретения В. И. Иванов, И. Г. Блинов, Э. Б. Сигалов и В. Ф. Афанасович (71) Заявитель

::,".Ще r (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ОБОЛОЧЕК

Изобретение относится к технике испытаний и может быть использовано для контроля герметичности оболочек, применяемых в полупроводниковой промышленности.

Известны способы контроля герметичности с выявлением места течи, заключающиеся в том, что контролируемую оболочку заполняют индикаторным веществом в жидком или газообразном состоян1ии, а с внешней стороны па оболочку воздействуют веществом путем нанесения на поверхность индикаторного состава, ленты и т. д., вступа ощим во взаимодействие с веществом, заполняющим контролируемуюю оболочку, с ооразованием в месте течи характерного соединения, обиаруживасмого визуально по цвету.

Известен способ контроля герметичности ооолочек, заключающийся в том, что ооолочку заполняют газовой смесью, содержащей сероводород, а с внешней стороны на поверхность оболочки наносят ленту, пропитанную уксуснокислым свинцом, по изменению цвета которой обнарузкивают места течей.

Наиболее близким по технической сущности к описываемому изобретению является способ контроля герметичности, по которому оболочку заполняют газообразным хлористым водородом, взаимодействующим с аммиаком, окружающим оболочку с внешней стороны, с образованием в местах течей характерного бслого дыма, обпаруживаемого визуально.

Эти способы не позволяют с необходимой точностью определять место течи, загрязняют

5 оболочки, используемые в полупроводниковой технике, и не позволяют обнаружить внутрспние источники газовыделения.

Целью изобретс:шя является выбор простых средств, ооеспсчпвающих высокочувствитель10 ный контроль оболочек полупроводниковой техники осз загрязнения их.

Для этого оболочку заполняют смесью, содержащей моносилан, взаимодействующий с кислородом воздуха с образованием норошко15 ооразного осадка окислов кремния, и продувают нейтральным газом перед началом и по окончании контроля. Кроме того, для сокращсн1 51 времени контрî Iÿ оболочку нагревают до температуры, исключающей разложение

20 моносил",íà при данном давлении; для предотвращения самовоспламенения вводят смесь, содержание монос11лана B которой составляет 1 — 5%, а для ликвидации малых течей давление смеси при контроле циклически из25 меняют.

000 0чку предварительно продувают аргоном. Затем заполняют смесью водорода с

4% мо;1ос11лана до избыточного давления

0,2 атм. После выдержки в течение 1,5 часов

30 оболочку вновь продувают аргоном и вскры574653

Составитель А. Шалыгина

Текред Л. Гладкова Корректор И. Позниковская

Редактор Л. Чепайкина

Заказ 2130/10 Изд. № 799 Тираж 1109

IIIO Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Типограф>и», пр. Сапунова, 2 вают. При осмотре в места. течей обнаруживают слои аморфного порошка двуокиси кремния.

Интерференциопная способность окислов кремния позволяет визуально обнаруживать их появление на металлической поверхности, начиная с толщины слоя 100А, а па прозрачном кварце — с 500А .

С помощью данного способа обнаруживались течи, которые ранее не удавалось обнаружить галоидным течеискателем.

Способ позволяет также выявить газовыделения газов — окислителей, например из пористого участка нагреваемого подложкодержатсля, тигля и других элементов вакуумных и газовых систем, недоступных для обследования известными методами.

Формула изобретения

Способ контроля герметичности оболочек полупроводниковой техники, по которому оболочку заполняют индикаторной газовой смесью, взаимодействующей с газовой средой окружающей оболочку, с образованием в местах течей характерного соединения, обнаруживаемого визуально, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности

5 контроля, оболочку заполняют смесью, содержащей моносилан, взаимодействующий с кислородом воздуха с образованием поро шкообразного осадка окислов кремния, и продувают нейтральным газом перед началом и по

10 окончании контроля.

2, Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени контроля, оболочку нагревают до температуры, исключающей разложение моносилана при данном

15 давлении.

3. Способ по пп. 1 и 2, отлича1ощийся тем, что, с целью предотвращения самовоспламенения, вводят смесь, содержание моносилана в которой составляет 1 — 5%.

20 4. Способ по пп. 1, 2, 3, отличающийся тем, что, с целью ликвидации малых течей, давление смеси при контроле циклически и зменяют.