Способ контроля качеества узкополосных интерференционных фильтров

 

О Il И С А Н И И ()!)ggg4ye

ИЗОБРЕТЕН ИЯ к лют©уСк©мМ СВИ ИТИЛЬСТВМ (61) Донолинтельное к авт, свнд-ву(И) Заавлепо 03,02.76 (2l)4!102137/1Ь4.0 {5 с нриеоеднненнем ааяени ЖЩ Прнорнтет (43) Онублнновано 26.11.77, бюллетень Мк1 (46) Дата онублнкованин опнсаннн 30.11.77 (53) УДК 636.348.1 (Овей) (УЯ) АВтори нзобретеииа (Л) Занвнтель (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ УЗКОПОЛОСНЫХ

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ФИЛЬТРОВ

Изобретение относится к интерференционным покрытиям, а именно к технологии изготовления узкополосных интерференционных светофильтров н может быть использовано для контроля спектральной однородности пропускания фильтров по всей оптической рабочей пло- 5 щади.

Известен способ контроля параметров изготовлеHHhlx светофильтров путем измерения их спектральных характеристик с помощью какого-либо спектрального прибора (!).

Этим способом определяют коэффипиент пропускаиия светофильтра, длину волны в максимуме пропускяния и спектральную полуширнну.

Однако этот способ, обеспечивая точные количественные,измерения оптических характеристик, не дает полной объективной информяции О спектральной однородности светофильтра ио всей оптической рабочей площади, одH()wI из Важнейших параметров.

Извес но,что в Течение некотОГ)ого времени (О

il()(Л(!ГЗ! О) ОВГ!ЕНИЯ П!)ОИСХОГТИТ СМЕН((. НИЕ ДЛИиь(волны максим) ма проиускяния (:Ветофильт -3)()1 !и риод в(н зепи, Обы lii() ИЯзываемый

il! 1)!1(). )))Ч () 1!)(!I И)1, В (ЯВИСIГМ(К ТИ (П )431 C РИЯI< H. )! (Ьr) I (Р) !) У() Яli()BЛРII (В(Г))(j)II,1Ь1Р, УС . I(вi)и (. ) () и )i >!))в и «ии ); х!);.!!!(вин, M()жpT

2 длиться от нескольких дней до несколько месяцев, причем в одних точках поверхности фильтра этот процесс заканчивается раньше, а в других позже. Тяк как качественным может быть признан лишь тот светофильтр, который имеет однородное спектральное пропускание по всей оптической рабочей площади, очень важно при оценке качества светофильтра выявить участки, на которых или еще не закончился процесс смещения или появился по каким-либо другим причинам. Когда эти участки занимают достаточно большую площадь, об их наличии можно судить по степени искажения спектральной кривой. Но если их площадь не превышает нескольких процентов от общей площади, то искажение спектральной кривой будет столь мало, что определить наличие таких участков или их отсутствие уже невозможно. Кроме того, спектральные характеристики обычно снимаются с небольшой площади, Определяемой площадью сечения светового потока, и в эту площадь могут Hp. попасть даже достаточно большие участки, пропускаю(цие другие длины

ВОЛН.

IIPi1hK) изобретения является объективная

oIipHK3 кя ГсстВя узкО!Голосиых интер(реренциOHf1 hid СВРТ()фИЛЬ11)ОВ, ПОЗВОЛЯК)!ЦЯЯ E×(TßНОВИТЬ (. тРГГ(11ь с !и к! ()()л ь!!Г)й (2 1иор()л и()сти В(рН г)пт и ч Рекой р)!Г)О)!с!1 !Гс!()!И(1)ти.

Это достигается путем просмотра поверхности светофильтра в микроскопе в проходчШем свете, причем наблюдение производится иа длине волны, пропускаемой самим исследуемым фильтром.

На фиг. 1 показаны спектральные характенытики одного иэ светофильтров; на фиг. — поверхноств в различные периоды стареws, re а — поверхность сразу после изготовления, б †. поверхность в период, когда примерно половина площади светофильтра про. пускает первонаФальнуФ длину волны, à íà дру1О гой.половине площади длина вдлны пропускайня уже сместилась примерно на 1 мм (промежуточная стадия), в — поверхность в период, когда процесс старения почти полностью эаае шился.

15 арактерной особенностью способа является to, что наблюдение производится при ра.боте микроскопа в расфокусированном режиме. В этом случае участки, пропускающие другие длины воли, наблюдаются или в виде ок° ° ужностей нлн в виде областей неправильной ро рмы, оставшихся после слиянйя разросшихcs окружностей. Качественным признается такой фильтр, у которого при просмотре в микроскопе всей оптической рабочей площади такие участки отсутствуют, а вся пов рхн к гь имеет одно1юдную цветовую окраску.

Использование нрсдпагаемого способа совместно со спектральными измерениями обеспечивьет полный объективный контроль качественных и количественных параметров узкою>лосных интерференцнонных светофильтров, ч го полностью исключает попадание в числ готовых фильтров, фильтров имеющих нсолнор. д ное спектральное пропускание.

Формула изобрегенич

Способ контроля качества узкополосных интевференционных фильтров, основанный на про« пускании светового пучка с последующей регистрацией и анализом прошедшего излучения, отличающийся тем, что, с целью снижения трудоемкости контроля всей рабочей поверхности фильтров, поверхность фильтров дополнительно просматривают микроскоп в расфокусированном режиме, а о качестве судят по характеру цветовых неоднородностей.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

I. Тарасов К. И, Спектральные приборы.

Л., 1968, с. 18. (ги танитевь М. Ванторнн

1ехр(д О. Луговав Корректор Л. Мельииченко тираж 628 Иоаиисно.

lll l11l1lll1 1 ог уаа!к веиг(оrо комитега <.овеха Мини(т! ов (Ж:l

) («г:(: !> ио !(евам из Ггрет.ннй и открытий !!.!(),!>, М: .ква. Ж:!5, Рву гоская наГ>., д. (/5 и iiiа i ill ill 1!вы. н к, г У+ р< ч, ча 11р еь гиля 4