Источник рентгеновского излучения

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (a<) 598157

;! )) Y6

1 (51) lit. Кл.

Н 01 т 35/08 (6е) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 06,02.76(21) 2321635/18-25 с присоединением заявки Рй— (23) Приоритет (43) Опубликовано 150378. Бюллетень Эй 10 (45} дата опубликования описания 210278

Говтдвретвеввый вомвтвт

Совета Мвнввтров СССР во делам вавйрвтеввй в открытой (5З) УДК 537.621 ° 386 (088.8) М.В.Быков, Н.Н.Седов и В.Г.Дюков (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ИСТОЧНИК РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

Изобретение относится к рентгенотехнике и предназначено для получения иэображений внутренней структуры непрозрачных объектов в электронных микроскопах.

Известно устройство — источник рентгеновского излучения, состоящее из источника электронов и анода плоской формы tl). Его недостатком является размытость получаемых иэображений вследствие существенного неупругого рассеяния электронов в материале анода.

Ближайшим техническим решением к предлагаемому изобретению является источник рентгеновского излучения, содержащий источник электронов и анод, выполненный в виде иглы (21,он обеспечивает размеры пучка около 0„1 мкм, Недостатком этого устройства являются все еще большие размеры пучка, что не позволяет исследовать внутреннюю структуру нйпрозрачных объектов в электронных микроскопах.

Целью изобретения является уменьшение размеров пучка рентгеновского излучения и рассеяния. рентгеновских лучей.

Это достигается тем, что предлагаемый источник содержит подложку, 2 анод выполнен из частицы металлического порошка диаметром от 0,002 до 0,1 мкм и расположен на указанной подложке, а подложка изготовлена из материала, длина волны,характеристического рентгеновского излучения которого больше, чем у материала анода, На чертеже показано предлагаемое устройство и приняты следующие обозначения: 1 — камера микроскопа, 2— подложка, 3 - частица.мелкодисперсного порошка — анод, 4 — бериллиевое окно, 5 — исследуемый объект и 6 — система регистрации.

Устройство работает следующим образом.

Сфокусированный пучок электронов от электронной пушки микроскопа возбуждает в. частице 3 характеристическое рентгеновское излучение. Это излучение выводится через бериллиевое окно 4, непропускающее рентгеновское излучение от подложки 2, длина волнав которого больше, чем у частицы 3.

На пути рентгеновского излучения, вышедшего иэ камеры 1, установлен исследуемый непрозрачный объект 5, изображение внутренней структуры которого получают с помощью система б регистрации излучения.

598157

Формула изобретения

Составитель А.СУворов

Техред Н. Бабурка КоРРектор С.Шекмар

Редактор И.Шубина

Эа кап э 1260/45 Тираж 960 Подписчое ов СССР

ЦНИИПИ Государственного комитета Со ..та Министров ССС по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП Патент, r.Óæãoðoä, ул.Проектная, 4

Источник рентгеновского излучения, состоящий иэ источника электронов и анода, отличающийся тем, что, с целью уменьшения размеров пучка рентгеновского излучения и рассеяния рентгеновских лучей, он содержит подложку из материала, длина волны характеристического рентгеновского излучения которого больше, чем у материала анода, а последний выполнен из час1ицы металлического порошка диаметром 0,002-0,1 мкм н расположен на укаэанной подложке.

Источники информации, принятые вс внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельсгво CCCP

М 449 395, кл. Н 01 7 35/08, 1972.

2. Мюллер Э, Цонь Т. Автоионная микроскопия, иэд. Металлургия, !

О M. 1972, с. 211