Стекло для защиты полупроводниковых приборов

 

614039

Таблица1

Эбознач ние стекла

КЛТ

° l0 ельное противние

Ом см

341

99,1

Формула изобретения

68-75

2,5-5,5

6-8

2,5-6,5

1-3

2-3

2 — 3

5-7

2-3

PQ0

gil Og

ВйЪ Zl10

С>О Оя

2 еО

СО20а мпо глощемкм

0 75 30

10 5

480

10 35

Составитель И.Чернявская

Техред Н.Андрейчук Корректор С.Гарасиняк

Редактор А.Мурадян

Заказ 3611/20 Тираж 596 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытиИ

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

2 346 96,8 10"

340 100,0 10

Стекла измельчают в яшмовых бараба-.)0 нах до получения порошка с удельной поверхностью 6000 cM2/ã. На основе стеклопорошков готовят рабочие суспенэин мокрым помолом в яшмовых барабанах с яшмовыми шарами в присутствии 1,5 иэобутилового спирта. Нанесение стеклопорошка иэ суспензии на подложки иэ кремния с металлической разводкой осуществляют в центрифуге при скорости вращения ротора 3500-4000 об/мин в течение 5 минут. Термообработку полученного порошкового. слоя стекла про. водят в электропечах при температуре

460-480 С в течение 5 минут. Пленки о толщиной 1,5-2 мкм имеют черный цвет и следующие характеристики. 25

Т а бли а 2

Ожидаемый экономический эффект от внедрения данного материала в производство устройств на ПЗС 75 тыс. Рублей.

Масштабы использования изобретения в народном хозяйстве могут быть значительными.

Стекло,для защиты полупроводниковых приборов,. включающее РЪО, О, В О>, ЕпО, СиО, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью обеспечения поглощения света в видимой области спектра, оно дополнительно содержит 08, VeO, Со О и Мп 0 при следующем соотношении компонентов, вес. :

Источники информации, )ринятые во внимание при экспертизе:

1. Патент СИА Р 3888686, кл. 106-53, 1975.

2. Авторское свидетельство СССР

У 349652, кл. С 03 с 3/10, 1971.