Устройство для измерения удельного сопротивления резисторных материалов при изготовлении микросхем

 

ОП ИГРАНИ -.Е"ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик (i1)618872

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено04, 12.76 (21)2194618/18-21

2 (51} M. Кл, Н 05 К 1/04

Н 01 L 21/70 с присоединением заявки №вЂ”

Государственный комитет

Совета 1йинистров CGCP аа делам иэоаретений и открытий (23) Приоритет (43) Опубликовано05.08.78,Бюллетень №29 (53) УДК 621 896 . 6-18 1,48 (088.8 } (45} Дата опубликования описанияго.от.7<. (72) Авторы изобретения

А, А. Арешкин и А. А. Афанасьев (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО

СОПРОТИВЛЕНИЯ РЕЗИСТОР НИХ МАТЕРИАЛОВ

ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ МИКРОСХЕМ

Изобретение относится к электроизмерительной технике, преимущественно для измерения удельного сопротивления проводниковых, полупроводниковых и резистор ных материалов при изготовлении микросхем.

Известно устройство для измерения удельного сопротивления, содержащее зонды, размещенные в одной плоскости параллельно друг другу, направляющие для зондов, выполненные в оптически прозрачной пластине, установленной в поле зрения измерительного микроскопа, с оптической осью которого совмещен центр системы зондов. Направляющие определяют неизменное межзондовое расстояние. Микроскоп установлен для наблюдения области измерения сопротивления образца 11).

В этом устройстве при параллельном расположении зондов в одной плоскости межзондовое расстояние ограничивается толщиной зонда и изоляционной перегородкой между ними, что нЕ позволяет сделать данную микроголовку с межзондовым расстоянием менее 200 MKM.

Наиболее близко к предлагаемому устройство для измерения, содержащее основание с окном и держатели.с расположенными в них зондами.

2 Однако и это устройство не обеспечивает необходимой точности измерений.

Цель изобретения — повышение точности измерения — достигается тем, что устройство для измерения, преимущественно удельного сопротивления резисторных материалов при изготовлении микросхем, содержащее основание с окном для визуального наблюдения и держатели с расположенными в них зондами, снабжено координатными столиками, расположенными по периметру окна, причем один из держателей зондов закреплен на основании, остальные держатели — на дополнительных координатных столиках, а зонды в держателях установлены под углом к измеряемому объекту с возможностью перемещения вдоль своей оси и с

i5 возможностью изменения угла наклона к измеряемому объекту.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, вид сбоку; на фиг. 2 — то же, вид сверху; на фиг. 3 — расположение зондов по прямой линии с межзондовым расстоянием S.

На основании 1 из электроизоляционного материала с окном посредине закреплены неподвижный кронштейн 2 и три координатных столика 3, на которых жестко закреп6

3 лены кронштейны 4. На нем с помощью кронштейна 2 шарнирно и упруго установлен держатель 5 из электроизоляционного материала. На координатных столиках 3 с помощью кронштейнов 4 шарнирно и упруго установлены держатели 6. В каждый из держателей 5 и 6 впрессована металлическая втулка 7 с внутренней резьбой, по которой перемешается регулировочный винт 8 с головкой и гайкой 9 для подсоединения наконечников проводов измерительной схемы. На концах винтов, обращенных внутрь окна основания 1, установлены цанги 10, в которых закреплены игольчатые зонды 11.

Для регулирования в отверстия кронштейнов 2 и 4 ввернуты опорные винты 12.

Для перемещения кронштейнов по одной оси имеются регулировочные винты 13, для перемещения их по другой оси — регулировочные винты. 14. Винты 13 и 14 закрепляют фиксирующими винтами 15.

Регулировку и подготовку устройства к началу измерений удельного сопротивления выполняют следующим образом.

Установку заостренных концов на одном уровне, с соблюдением требуемых межзон довых расстояний, зависящих от размеров образца, по прямой линии или по квадрату производится при помощи регулировочш.ix винтов 8, 13, 14, опорных винтов 12 и измерительного микроскопа, обеспечивающего требуемую точность установки. Отрегулированную микроголовку закрепляют основанием в микроманипуляторе, не входягцем в комплект микроголовки. Измеряемый образец размещают на столике микроманипулятора, с помощью которого обеспечивается контактирование зондов микроголовкп с поверхностью образца. Наконечники проводов из18872 мерительной схемы с помощью l.3cK 9 подсоединяют к токовым и потснциальным зондам. Через токовые зонды пропускают ток и измеряют падение напряжения между потенциальными зондами. Объемное удельное сопротивление подсчитывают по формуле:

U.Ñ

p = — cl где U — напряжение, В; ,г — ток, Л;

С вЂ” поправочный коэффициент; сl — толщина слоя, см.

Форлу га изобретения

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Патент ГДР ¹ 73092, 21 Е 29/01, 1970.

2. Лвторское свидетельство СССР

¹ 473383, Н 01 С 17/00, 1970.

Устройство для измерения удельного сопротивления резисторных материалов при изготовлении микросхем, содержащее основание с окном для визуального наблюдения и держатели с расположенными в них зондами, 20 отгияающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено координатными столиками, расположенными по периметру окна, причем один из держателей зондов закреплен на основании, остальные держатели — на координатных столиках, а зонды в держателях установлены под углом к измеряемому объекту с возможностью перемещения вдоль своей оси и с возможностью изменения угла наклона к измеряемому объекту. ццргИПИ Заказ 4277/48 Тираж 992 Подписное

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, л. Проектная, 4