Устройство для ориентации фотошаблонов ультразвуковой многоотводной линии задержки на акустических поверхностных волнах

 

11 ., » .» ъ г -,-Я

»»

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Сеоз Соввтсктвх

Раслубпик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6)) Дополнительное к авт. свил-ву— (22) Заявлено26,11.76 (21) 2424763/18 2 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликоваио05.10.78,Бюллетень № (45) Дата опубликования описания 16.08.

3/00

Гееудеретееиивй иоиитвт

Совете Миииотрое СССР ео двеом изоеретееие и открытий

1.396. .374.55

М. А. Брук, С. С. Квринский, В. Ф. Максимов и В. И. Речицкий (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТА11ИИ ФОТОШАБЛОНОВ

УЛЬТРАЗВУКОВОЙ МНОГООТВОДНОЙ ЛИНИИ

ЗАНДЕР?ККИ HA АКУСТИЧЕСКИХ

ПОВЕРХНОСТНЫХ ВОЛНАХ ентируется необходимым образом на поверхности эвукопровода, а после нее— фотошаблоны и осушествляется экспонирование.

Такое устройство имеет недостаточно высокую точность пространственного экспонирования.

Изобретение относится к технологии изготовления ультразвуковых приборов и можетбытьиспольэовано при изготовлении ультразвуковых многоотводных линий задерж- ки (МЛЗ) на акустических поверхностных волнах

Известны устройства для ориентации фотошаблонов при изготовлении рисунка с помощью методов прямой и обратной маски 1 . С помощью известных уст- 10 ройств производится прецезионное совмещение одного или нескольких фотошвблонов с выбранным участком подложки (звчкопровода).

Однако точность совмещения оказывается недостаточной при работе МЛЗ иа высоких частотах.

Наиболее близким техническим решением к данному изобретению является устройство дла ориентации фотошаблоиной ульт- 20 развуковой многоотводной линии задержки на акустических поверхностных волнах, содержащее держатель со эвукопроводом, на поверхности которого установлена кассета с фотошабаоиаыа (2j . Кассета ори»а

Белью изобретения является повышение точности пространственного экспонирования .

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для ориентации фотошаблонов многоотводных линий задержки на акустических поверхностных Волнах, содержащем держатель со звукопроводом, на поверхности которого установлена кассета с фотошаблонамн, имеется два одинаковых фотошаблона, один фотошаблон развернут относительно другого в плоскости экспонирования на 180, при этом а изображения в каждом фотошаблоне выполнены в два рада, в одном таком раду расположено g //2 2 и зо б р а же н и и, где и число отводов линии задержки, а в другом-

627556 изменению, сдвига же между частамн импульсного отклика не происходит, так как импульсы при этом сдвигаются одновременно на ту же величину, что и с первого ао четвертый, т.е. 4

/Ъ 2 где - временный сдвиг отводов, а

4 R / 1, где .У »,скорость акустической поверхности волны.

Испытания показали, что с помощью данного устройстве обеспечивается тре1Î буемая (на частотах10 Мгц и более) точность изготовления МЛЗ. Основным результатом применения данного изобретения является возможность изготовления широкого класса МЛЗ на серийно выпускаемом

15 оборудовании с высокой точностью пространственного экспонирования. дваизображения, соответствующие крайним изображениям первого рада.

На фиг. 1 представлен общий внд устройства; на фиг. 2 - фотошаблоны, закрепленныевкассете; на фиг, 3-электрическая схема включения отводов МЛЗ н ее импульсный отклик.

Устройство содержит держатель 1 (фиг. 1) с пазами для установки звукопровода 2. На поверхности звукопровода расположена кассета 3 фотошаблонов. В кассету вложены фотошаблоны 4 н 5, расстояние между которыми по осн Х -" R.

Фотошаблон (фнг. 2) содержит идентичные иэображения преобразователей, расцоложениые в двух параллельных пространственных каналах. В одном канале дасп олагаются И /2 изображений, где

М - число отводов линии задержки, а в другом — два нзображенна преобразова-, теля, соответствующие крайним изображениям преобразователей первого канала.

Преобразователи МЛ 3 электрически соединяются по схеме, приведенной ие фиг. 3, пля случая семиотводной МП

5-й преобразователь верхнего канала

26 ввпочаетса параллельно с первым преобраэоватй ем второго канала. Преобразователи верхнего канала с первого по чет;вертый включаютса параллельно с преобразователями с четвертого по последний, 30 шестой второго канала, Устройство работает следуюшнм образо ма

В направляющие пазы держателя встав лают звукоотвод 2, верхняя рабочая поверхность которого покрыта фоторезистором. о кассету 3 вставляют фотошаблоны

4 н 5 и через них экспонируют фоторе0 знстор, нанесенный на эвукопровод.

В МЛЗ, выполненной с подобного составного фотошаблона, импульсный отклик имеет вид, нокаэанный на фиг. 3; начальнаа задержка сигнала определаетса отно-. сительным расположением преобразователей на парциальных шаблонах и сдвигом 3 (фиг. 1, 2) между шаблонами. Изменение

1 сдвига 11 приводит к соответствующему

Формула изобретениа

Устройство для ориентации фото1ыаблонов ультразвуковой многоотводной линии задерЖки иа акустических поверхностных волнах, содержашее держатель со звукопроводом, на поверхности которого установлена кассета с фотошаблоками, отличающееся тем,что,с целью повышения точности пространственного экспонирования; имеется два одинаковых фотошаблона, один фотошаблон развернут относительно дрчгого в плоскости экснонмрования на 180, при этом.изображения в каждом фотошаблоне выполнены в два ряда, в одном таком ряду расположено К /2 изображений, где g -число отводов линии задержки, а в другомдва иэображения, соответствующие крайним изображениям первого ряда.

И сточннки информации, принятые во внимание прн экспертизе:

1. Карякский С. С. Устройства обработки сигналов на ультразвуковых поверхностных волнах, l4., Сов. радио, 1975, стр. 125-128, 2. Авторское свидетельство СССР

34, 431615, кл. Н 03 Н 3/00, 1975.

627556

Фиг.,У

Составитель B. Баннов

Редактор В. Смирнгина . Текред E. Иавидоъич Корректор А. Кравченко

Заказ 5637/51 Тцраж 1087 Подписное

ИНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушскаи наб., д.. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, уд. Проектная, 4