Халькогенидное стекло

 

и 1630232 .

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ьтнез оеветских

Сениалистинескнх

Рессублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 20.06.77 (21) 2498087/29-33 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.10.78. Бюллетень № 40 (45) Дата опубликования описания 30.10.78 (51) М. Кл.е

С ОЗС 3/12

Государственнык комитет

000Р по делам изобретений и откр мтиЙ (53) УДК 666.112.9 (088.8) (72) Авторы изобретения

3. У. Борисова, А. А. Дунаев и М. Д. Михайлов (71) Заявитель

Ленинградский ордена Ленина и ордена Трудового Красного

Знамени государственный университет им. А. А. Жданова (54) ХАЛЬКОГЕНИДНОЕ СТЕКЛО

Изобретение относится к составам халькогенидных стекол и может использоваться в микроэлектронике, в оптоэлектронике и

ИК-технике.

Известно халькогенидное стекло, включающее, вес, %:

Те 44 — 64

Т1 30 — 50

As 1 — 13

Такое стекло имеет высокую кристалли- 10 зационную способность, растворимо в кислотах-окислителях и в концентрированных растворах щелочей (1).

Наиболее близким к изобретению по составу является халькогенидное стекло, со- 15 держащее, ат. %: As 20 — 60, Те 40 — 80 (2).

Указанное стекло характеризуется шириной запрещенной зоны 0,8 — 1,0 эВ, температурой размягчения 90 †1 С, легко кристаллизуется при нагревании, раство- 20 ряется в кислотах-окислителях и в растворах щелочей.

Недостаток халькогенидного стекла на основе мышьяка и теллура заключается в его высокой кристаллизационной способно- 25 сти. При нагревании стекла выше температуры стеклования оно, не переходя в размягченное состояние, кристаллизуется.

Данный недостаток не позволяет изготавливать из стекла изделия и функциональные элементы путем общепринятого для стекол прессования размягченного стекла. В результате, несмотря на положительные свойства этих стекол (малая ширина запрещенной зоны, низкая температура размягчения), процесс изготовления изделий происходит с применением трудоемких операций шлифовки и полировки стекла. Кроме того, стекло, состоящее из мышьяка и теллура, имеет недостаточно высокую химическую стойкость по отношению к азотной кислоте, которая является основным ингредиентом травителей при проведении фотолитографии.

Цель изобретения — повышение кислото-. стойкости,и снижение кристаллизационной способности стекла.

Цель достигается тем, что халькогенидное стекло, включающее As и Те, дополнительно содержит Ga при следующем соотношении компонентов, ат. %: As 5 — 35;

Те 60 — 80; Ga 5 — 15.

Халькогенидное стекло синтезируют следующим образом.

Пример 1. В тщательно вымытую кварцевую ампулу помещают 1,00 r мышьяка марки В-3; 2,87 г теллура марки В-3 и

0,13 г галлия марки Гл-00. Ампулу откачивают до давления не выше 10 — з мм рт. ст. и отпаривают, затем ее с шихтой помеща