Вакуумный натекатель

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сеюэ Советскик

Социалистических

Республик

«я641221 (61) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 26.0476 (21) 2352919/25-06 с присоединением заявки №

{23) Приоритет

Опубликовано 050179.Бюллетень №

Дата опубликования описания 100179 (51} М. Кл.

F 16 К 51/02

Государственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий (53) УДК 621.521-333.1 (088.8) (72) Авторы изобретения

А.Ф. Скляров, С. И. Гоникберг, В.M. рыбников, и М.И.Холкин (71) Заявитель (54) ВАкуу14ный нАтекАтель

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известны вакуумные натекатели, содержащие корпус с седлом и примыкаюший к седлу упругий запорный элемент, установленный в корпусе и соединенный с поиводом (1) .

Использование в натекателе пневматического привода не позволяет обеспечить высокого быстродействия натекания.

Известны также вакуумные натекатели, содержашие корпус с седлом и примыкаюший к седлу упругий запорный элемент, установленный в корпусе, закрепленный на нем одним концом и соединенный с электроприводом t2j .

Известные натекатели позволяют обеспечить импульсный напуск газов.

Однако их быстродействие ограничено разогревом запорного элемента при пропускании по нему электрического ток а.

Иелью изобретения является повыше- ние быстродействия натекателя.

Это достигается тем, что электропривод выполнен в виде пьезопреобразователя, запорный элемент — предварительно деформированным, и его второй конец соединен с пьезопреобразователем, а угол между продольной осью элемента и поверхностью седла о равен 2-8

На фиг. 1 показан предлагаемый натекатель, разрез; на йиг. 2 — вариант выполнения упругого запорного элемента.

Вакуумный натекатель содержит корпус 1 с седлом 2 и примыкающий к седлу 2 упругий запорный элемент 3, установленный в корпусе 1, закрепленный на нем одним концом и соединенный с электроприводом. Электропривод выполнен в виде пьезопреобразователя

4. Запорный элемент предварительно деформирован и em второй конец соединен с пьезопреобразователем 4, а угол А между продольной осью элемента 3 равен 2-8 . Льезопреобразователь

4 соединен с блоком питания 5, который управляется блоком управления 6. (ля обеспечения герметичности натекателя на упругий элемент может быть прикреплен резиновый уплотнитель 7.

Вакуумный натекатель работает следующим образом.

Ча пьезопреобразователь 4 от блока питания 5 подают переменное напряжение с заданной частотой, вследствие