Сорбционный вакуумный насос

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистическиа

Республик

<о646084

Г ц ф» А

Цц ". " .... .: . .т

2 (51) М. Кл.

F 04 В 37/02 (61) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 250576 (21) 2364160/25-06 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 050279.Бюллетень № 5

Дата опубликования описания 050279

Государствеииый комитет

СССР оо делам изобретения и открытий (5З) УДК 621. 527.8 (088. 8) В. В. Бакастов, Н.В. Круглов, A.È. Тарасов и Л.Я.Мур (72} Авторы изобретения

Специальное конструкторско-технологическое бюро по высоковольтной и криогенной технике Мосэнерго (73) Заявитель (5 4 ) СОР БЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к области ,вакуумной техники.

Известен сорбционный насос, содержащий корпус с сорбентом, снабженный патрубками для всасывания и нагнетания газов (lj .

Ввиду сравнительно невысокого вакуума, достигаемого при откачке воздуха с помощью одного сорбционного насоса, применяют способ ступенчатой откачки, последовательно используя несколько насосов или комбинируя сорбционную откачку с откачкой насосами других типов.

Использование многонасосных агрегатов с соответствующими коммуникациями и арматурой создает неудобства при эксплуатации, кроме того, увеличиваются вес и габариты вакуумной установки.

Известен сорбционный насос, содержащий гофрированный корпус с раэ" мещенными внутри поперечными перегородками, закрепленными на полом што2 ке PJ .

Такой насос способен самостоятельно осуществлять ступенчатую откачку газа при ступенчатом охлаждении корпуса.

Однако в этом насосе не обеспечена герметичность секций (ступеней откачки), что приводит к междуступенчатым перетечкам и ухудшает предельный вакуум.

Кроме того, частые перегородки в газовой полости насоса создают значительное сопротивление потоку газа, уменьшая скорость процессов откачки и нагнетания газов.

Целью изобретения является умень шение перетечек газа между секциями.

Указанная цель достигается тем, что перегородки герметично соединены с корпусом и штоком и в непосредственной близости от них на боковой поверхности штока выполнены отверстия, перекрытые подпружиненными поршнями, установленными внутри штока с воэмох ностью возвратно-поступательного перемещения.

Кроме того, с целью обеспечения возможности одновременного сообщения всех секций насоса с откачиваемым объемом, нижние торцы поршней снабжены толкателями, а внутрь штока герметично, например, посредством гермоввода поступательного движения, введен стержень.

646084

На чертеже изображен описываемый насос продольный разрез.

Сорбционный вакуумный насос содержит гофрированный корпус 1 с размещенными внутри поперечными пеоегоРодками 2, закрепленными на полом штоке 3.

Перегородки герметично соединены с корпусом и штоком и в непосредственной близости от них на боковой поверхности штока выполнены отверстия 4 б, перекрытые подпружиненными поршнями 7, установленными внутри штока

3 с воэможностью возвратно-поступательного перемещения.

Нижние торцы поршней 7 снабжены толкателями 8, а внутрь штока герметично, например, посредством гермоввода поступательного движения, введен стержень 9.

Насос откачивает газы при ступенчатом охлаждении корпуса, что достигается последовательным погружени- 20 ем секций насоса в хладагент. При охлаждении нижней секции в ее газовой полости создается разрежение, способствующее сдвигу поршня 7 вниз и, соответственно, освобождению от. — 25 верстий 5 и 6 для газа„ По мере насыщения сорбента и уменьшения скорости поглощения газов давление по обе стороны поршня 7 выравнивается.

При этом поршень стремится (под 30 действием усилия толкателя 8) занять первоначальное равновесное положение, обеспечивающее перекрытие сквозного прохода для газов через отверстия 5 и 6 . При охлаждении следующей секции насоса обеспечивает,ся аналогичное возвратно-поступатель ное перемещение соответствующего .поршня под действием давления газов и усилия сжатия пружины и так далее 40 от секции к секции. Междусекционные самодействующие клапаны (т.е. поршни и другие элементы запорной системы) способствуют созданию и длйтельному поддержанию значительного перепада давления внутри корпуса насоса, чем обеспечивают эффективный ступенчатый процесс сорбционной откачки газов, и препятствуют перетечке всех компонентов откачиваемой газовой смеси обратно в реципиент..Все это создает условия для повышения предельного вакуума в откачиваемом объеме при последующей откачке газов как с помощью верхней сорбционной секции предлагаемого насоса, не имеющей кла| пана, так и с помощью другого отдельного высоковакуумного сорбционного насоса.

Наличие герметичных перегородок в газовой полости насоса, снабженных самодействующими клапанами указанной конструкции, способствует уменьшению перетечек всех компонентов откачиваемой газовой смеси между секциями сорбционного блока насоса при ступенчатой откачке и повышению предельного вакуума. При откачке воздушной смесй от атмосферного давления с помощью одного насоса описанной конструкции, содержащего 1 кг активированного угля СКТ, может быть получен вакуум до 10 мм рт.ст. в герметичных объемах емкостью до 50 л и вакуум до 10 з мм рт .ст. в объемах емкостью до 100 л(в известном насосе — до 10 и 10 мм рт.ст. соответственно) при жидкоазотном охлаждении сорбента.

Формула изобретения

1 ° Сорбционный вакуумный насос, содержащий гофрированный корпус с размещенными внутри поперечными перегородками, закрепленными ".à полом штоке, отличающийся тем, что, с целью уменьшения перетечек газа между секциями, перегородки герметично соединены с коргусом и штоком и в непосредственной близости от них на боковой поверхности штока выполнены отверстия, перекрытые подпружиненными поршнями, установленными внутри штока с возможностью возвратно-поступательного перемещения.

2. Насос по и. 1, о т л и ч а— ю шийся тем,,что1 с целью обеспечения возможности одновременного сообщения всех секций насоса с откачиваемым объемом, нижние торцы поршней снабжены толкателями, а внутрь штока герметично, например, посредством гермоввода поступательного движения, введен стержень, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1 . Волчкевич А.И. Высоковакуумные адсорбционйые насосы, M., Машиностроение, 1973, с. 140-145.

2. Авторское свидетельство

Р 503041, кл. F 04 В 37/02, 1973.

646084

Редактор Г.К зьмина

Заказ 79/25

Составитель O.Тишина

Техред M.Ïåòêñ корректор A,Гриценко

Тираж 771 Подписное

ЦЯИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москва, Ж-35 Рабская наб. д. 4/5 !

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная,

Сорбционный вакуумный насос Сорбционный вакуумный насос Сорбционный вакуумный насос 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх